一种快速退火炉的反应腔体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种快速退火炉的反应腔体结构，上下侧的小孔分别对应指向硅片的上下端面，且石英托片架上均匀开设有透气孔，所述石英托片架上设置有抽气散热机构。从而做到迅速降温冷却，吹过的气体散向四周，同时抽风机工作，抽气槽内压强降低，因此，抽气孔进行抽气，周围的气体会被抽走，便于从工艺气体进气管进来吹过硅片的气体散向四周，接着被抽出，这样，抽走后压强降低，便于新的冷却用气体吹向硅片，也不容易散向金属腔本体其他位置，这样就做到了硅片一直有冷却气体冷却，先于金属腔本体其他位置降温，从而做到快速降温退火，效果更好，同时周围的热气也被抽走，便于吹向硅片后的气体散向四周，保证整体降温。

A Reaction Cavity Structure of Rapid Annealing Furnace

【技术实现步骤摘要】
一种快速退火炉的反应腔体结构
本技术涉及到退火炉反应腔体快速退火冷却领域，具体涉及到一种快速退火炉的反应腔体结构。
技术介绍
目前在国外快速退火炉设备中，炉腔大多数为对称设计，一般为圆形或六角形，因此大部分的灯排列都采用同心圆形式。这种结构的设计难点在于磁悬浮硅片旋转驱动机构的设计于平稳运动控制。硅片在加热过程中需要旋转，由于硅片是放在石英顶针上，为防止夹持出热集中或三十，硅片采取无任何夹持的自由状态，这就必需有一套精密的机构来实现以防止震动和保持水平，这对设计和加工都有一定的难度。因此，就有了不需要硅片旋转的，比如公告号为CN206379333U的“本技术涉及快速退火炉的反应腔体结构，属于金属加工设备领域，所述腔体包括金属腔体和金属腔体内部的石英腔体，金属腔体与石英腔体之间为加热灯带，所述石英腔体的后端设有工艺气体进气板，并由后法兰固定，石英腔体的前端设有废气排出管，石英腔体内设有石英托片架，所述石英托片架上固定有硅片，前法兰的中央设有工艺气体进气管，前法兰与石英腔体的接触面上设有密封圈，所述上板、下板上设有若干均匀分布的小孔，使得冷却气体通过小孔分流呈均匀状态进入金属腔体。本技术加工和装配方便，而且硅片不需要旋转，避免了复杂的旋转机构和碎片可能性，而且也是控制的单元数减少，增加系统可靠性”，但是，从工艺气体进气管吹进的气体，进入到金属腔体内，气体进入后，对硅片进行冷却，但是，冷却后的气体会在金属腔体内的随意流动，混合，然后冷却气体排出口排出，这样金属腔体的温度，是一致下降，而不是硅片处先下降，因此，冷却速度慢。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于市场上的快速退火炉的反应腔体结构冷却后的气体在金属腔体内流动，使腔体内整体温度下降，而不能使硅片处最先降温。为了实现上述目的，本技术提供的技术方案是：一种快速退火炉的反应腔体结构，包括金属腔本体，所述金属腔本体的内腔设置有石英托片架，且石英托片架的上端设置有顶针，所述顶针的上侧放置有硅片，且金属腔本体的内腔上下壁上均匀设置有连接工艺气体进气管的小孔；上下侧的小孔分别对应指向硅片的上下端面，且石英托片架上均匀开设有透气孔，所述石英托片架上设置有抽气散热机构。优选的，所述抽气散热机构包括开设在石英托片架内部的框型的抽气槽，且抽气槽的上端沿周向等间隔设置有抽气孔，所述抽气孔位于硅片的外侧，且抽气槽连接有抽气部件。优选的，所述抽气部件为设置在金属腔本体外侧的抽风机，且抽风机通过穿入金属腔本体内的导管与抽气槽连接。优选的，所述抽气槽沿周向的拐角处圆弧过渡。本技术设计，冷却时，气体从工艺气体进气管进入，经小孔吹向硅片，从而做到迅速降温冷却，吹过的气体散向四周，同时抽风机工作，抽气槽内压强降低，因此，抽气孔进行抽气，周围的气体会被抽走，便于从工艺气体进气管进来吹过硅片的气体散向四周，接着被抽出，这样，抽走后压强降低，便于新的冷却用气体吹向硅片，也不容易散向金属腔本体其他位置，这样就做到了硅片一直有冷却气体冷却，先于金属腔本体其他位置降温，从而做到快速降温退火，效果更好，同时周围的热气也被抽走，便于吹向硅片后的气体散向四周，保证整体降温。附图说明图1为对比资料的结构示意图；图2为本技术的结构示意图；图3为本技术的石英托片架的结构示意图；图4为本技术的俯视图。图中：1金属腔本体、11石英托片架、12硅片、13工艺气体进气管、14小孔、2透气孔、21抽气槽、22抽气孔、23抽风机、24导管。具体实施方式在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“设有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通，“设有”可以指固定，也可以指卡拆卸的固定。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图2至3所示，一种快速退火炉的反应腔体结构，包括金属腔本体1，金属腔本体1的内腔设置有石英托片架11，且石英托片架11的上端设置有顶针，顶针的上侧放置有硅片12，且金属腔本体1的内腔上下壁上均匀设置有连接工艺气体进气管13的小孔14，金属腔本体1采用对比资料中CN206379333U的金属腔体，以及连接在金属腔体上的灯带、高温计、废气排出管等，对比资料中已经公开，不再详述。上下侧的小孔14分别对应指向硅片12的上下端面，且石英托片架11上均匀开设有透气孔2，石英托片架11上设置有抽气散热机构，抽气散热机构包括开设在石英托片架11内部的框型的抽气槽21，且抽气槽21的上端沿周向等间隔设置有抽气孔22，抽气孔22位于硅片12的外侧，且抽气槽21连接有抽气部件，抽气部件经抽气孔22抽走热气，压强降低，吹向石英托片架11的气会流向四周，从而加速散热，抽气部件为设置在金属腔本体1外侧的抽风机23，且抽风机23通过穿入金属腔本体1内的导管24与抽气槽22连接，冷却时抽风机23通电工作，将热气抽走，抽气槽22沿周向的拐角处圆弧过渡，减小抽气阻力，加速抽气。工作原理：冷却时，气体从工艺气体进气管13进入，经小孔14吹向硅片12，从而做到迅速降温冷却，吹过的气体散向四周，同时抽风机23工作，抽气槽21内压强降低，因此，抽气孔22进行抽气，周围的气体会被抽走，便于从工艺气体进气管13进来吹过硅片12的气体散向四周，接着被抽出，这样，抽走后压强降低，便于新的冷却用气体吹向硅片12，也不容易散向金属腔本体1其他位置，这样就做到了硅片2一直有冷却气体冷却，先于金属腔本体1其他位置降温，从而做到快速降温退火，效果更好，同时周围的热气也被抽走，便于吹向硅片12后的气体散向四周，保证整体降温。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种快速退火炉的反应腔体结构，包括金属腔本体（1），所述金属腔本体（1）的内腔设置有石英托片架（11），且石英托片架（11）的上端设置有顶针，所述顶针的上侧放置有硅片（12），且金属腔本体（1）的内腔上下壁上均匀设置有连接工艺气体进气管（13）的小孔（14）；其特征在于：上下侧的小孔（14）分别对应指向硅片（12）的上下端面，且石英托片架（11）上均匀开设有透气孔（2），所述石英托片架（11）上设置有抽气散热机构。

【技术特征摘要】
1.一种快速退火炉的反应腔体结构，包括金属腔本体（1），所述金属腔本体（1）的内腔设置有石英托片架（11），且石英托片架（11）的上端设置有顶针，所述顶针的上侧放置有硅片（12），且金属腔本体（1）的内腔上下壁上均匀设置有连接工艺气体进气管（13）的小孔（14）；其特征在于：上下侧的小孔（14）分别对应指向硅片（12）的上下端面，且石英托片架（11）上均匀开设有透气孔（2），所述石英托片架（11）上设置有抽气散热机构。2.根据权利要求1所述快速退火炉的反应腔体结构，其特征在于：所述抽气...

【专利技术属性】
技术研发人员：高红波，高好朋，程田厚，杨杰，金红波，张月丽，胡天逸，
申请(专利权)人：洛阳欣珑陶瓷有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41