【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
高速透平真空泵,包括自控柜(2),主抽真空管路(1),抽中、低压真空单元和抽高真空单元,其特征在于:抽中、低压真空单元,包括高速透平风机(3)和风机驱动电机(4);抽高真空单元,包括容积式真空机(5)和真空机驱动电机(6);主抽真空管路(1)上装设有真空压力传感器(A)和(B),主抽真空管路(1)通过支管(8)与高速透平风机(3)的入气口连接,在支管(8)上装设有电磁阀(C),主抽真空管路(1)通过支管(9)与容积式真空机(5)的入气口连接,在支管(9)上装设有电磁阀(D)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:韩杰,
申请(专利权)人:沈阳市耐蚀合金泵厂,
类型:发明
国别省市:89[中国|沈阳]
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