一种无油涡旋真空泵制造技术

本实用新型专利技术属于真空泵领域，具体地说是一种无油涡旋真空泵，包括第一、二定子涡旋盘、双侧转子涡旋盘、电机及曲轴，第一、二定子涡旋盘及双侧转子涡旋盘安装于曲轴上，电机与曲轴相连接；第一、二定子涡旋盘分别位于双侧转子涡旋盘的两侧、与双侧转子涡旋盘相连接；转、定子涡旋盘的型线相同，采用圆渐开线型线，分别以π角度交错组合，涡旋盘的径向为间隙密封，端面以摩擦形式相对运动，组合后形成多个月牙形封闭腔，随转子涡旋盘转动，这些密闭的容积腔相应的扩大和缩小，由此实现气体的连续吸入、压缩和排气。本实用新型专利技术是无油真空泵，体积小，噪音低，清洁度高，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种无油涡旋真空泵，具有吸、排气口，其特征在于：包括第一、二定子涡旋盘（８、３）、双侧转子涡旋盘（６）、电机（１０）及曲轴（１４），第一、二定子涡旋盘（８、３）及双侧转子涡旋盘（６）安装于曲轴（１４）上，电机（１０）与曲轴（１４）相连接；第一、二定子涡旋盘（８、３）分别位于双侧转子涡旋盘（６）的两侧、与双侧转子涡旋盘（６）相连接；第一、二定子涡旋盘（８、３）与双侧转子涡旋盘（６）的型线相同，分别以π角度交错组合，转、定子涡旋盘的径向为间隙密封，端面以摩擦形式相对运动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张振厚，王光玉，刘在行，孔祥玲，
申请(专利权)人：中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，
类型：实用新型
国别省市：89[中国|沈阳]