基板分离装置制造方法及图纸

技术问题：提供一种能够实现装置的小型化并且能够使分离对象平顺地从基板分离的基板分离机构。解决方案：一种从分割成多个的基板分离一部分的基板分离装置，其具备：吸附部(10)，其用于吸附分离对象(Q)；按压部(20)，其用于按压分离对象(Q)的邻接位置；支撑体(30)，其支撑吸附部(10)；第一驱动部(40)，其使支撑体(30)相对于基板接近及远离；以及第二驱动部(50)，其设置于支撑体(30)并使按压部(20)相对于基板接近及远离，第二驱动部(50)使按压部(20)以如下所述的行程相对于支撑体(30)移动，该行程比吸附部(10)与基板的分离对象(Q)抵接时的支撑体(30)与吸附部(10)之间的距离长。

Substrate Separation Device

【技术实现步骤摘要】
基板分离装置
本专利技术涉及一种从分割成多个的基板分离一部分的基板分离装置。
技术介绍
作为从分割成多个的基板分离一部分的装置，例如已知有专利文献1所记载的装置。该装置具备吸附分离对象的吸附部、以及按压分离对象的周围的按压部。吸附部和按压部分别利用设置于基座部件的第一驱动部和第二驱动部而各自独立地上下移动。在用按压部按压分离对象的周围的状态下使吸附部向上方移动，从而使分离对象从基板的其它部分分离。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利公开2015-126017号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题在专利文献1的结构中，由于吸附部与按压部各自独立地移动，因此需要使吸附部和按压部分离，以避免吸附部的移动机构与按压部的移动机构相互冲突。因此，难以实现装置的小型化。鉴于所述问题，本专利技术的目的在于提供一种能够实现装置的小型化并且能够使分离对象平顺地从基板分离的基板分离机构。(二)技术方案本专利技术的主要方式涉及一种从分割成多个的基板分离一部分的基板分离装置。本方式的基板分离装置具备：吸附部，其用于吸附分离对象；按压部，其用于按压所述分离对象的邻接位置；支撑体，其支撑所述吸附部；第一驱动部，其使所述支撑体相对于所述基板接近及远离；以及第二驱动部，其设置于所述支撑体，并使所述按压部相对于所述基板接近及远离。所述第二驱动部构成为使所述按压部以如下所述的行程相对于所述支撑体移动，该行程比所述吸附部与所述基板的所述分离对象抵接时的所述支撑体与所述吸附部之间的距离长。根据该结构，由于是吸附部与按压部一体地移动的结构，因此能够使吸附部和按压部相互接近。因而，能够实现装置的小型化。另外，由于按压部以上述行程进行移动，因此，即使在吸附部吸附了基板的分离对象之后使支撑体远离基板并使吸附部移动，也能够持续地使按压部与基板抵接。因而，能够使分离对象平顺地从基板分离。在本方式的基板分离装置中，可以构成为，所述第二驱动部是气缸，在所述气缸的活塞杆连接有所述按压部。根据该结构，在向气缸施加了气压的状态下，即使支撑体远离基板，也会由于活塞杆延伸，而能够持续地使按压部以大致均匀的载荷与基板抵接。因此，当利用吸附部使分离对象分离时，能够利用按压部适当地按压分离对象的邻近位置。因而，能够更加切实地使分离对象从基板分离。在这种情况下，可以构成为，所述气缸是利用弹簧的弹性力使所述活塞杆向缩回位置移动的单作用型的气缸。根据本结构，通过解除向气缸施加的气压而能够使按压部远离基板。因而，能够比较简单地控制按压部。在本方式的基板分离装置中，可以构成为，所述吸附部与所述按压部的组设置为与排列成一排的多个所述分离对象分别对应。根据本结构，一次即能够使一排的分离对象同时分离。在这种情况下，可以构成为，所述第一驱动部能够使连接有各组的所述支撑体的共通的部件移动，而使各组的所述支撑体同时移动。由此，能够使用于使各组的支撑体移动的结构简化。在本方式的基板分离装置中，可以构成为，所述按压部在所述分离对象的周围设置有多个，所述多个按压部分别按压所述分离对象的周围的多个位置。根据本结构，通过按压分离对象的周围而能够使分离对象切实地从基板分离。(三)有益效果如以上所述，根据本专利技术，能够提供一种基板分离机构，其能够实现装置的小型化并且能够使分离对象平顺地从基板分离。通过以下所示的实施方式的说明，能够进一步明确本专利技术的效果、意义。但是，以下所示的实施方式只是实施本专利技术时的一个例示，本专利技术不受以下实施方式所记载的内容的任何限制。附图说明图1是表示应用了实施方式的基板分离装置的基板翻转装置的外观结构的立体图。图2是图1的局部放大图，是用于说明应用了实施方式的基板分离装置的基板翻转装置的联动机构的图。图3的(a)～(d)是为了说明应用了实施方式的基板分离装置的基板翻转装置的动作而示意性地示出的主视图。图4的(a)～(c)是为了说明应用了实施方式的基板分离装置的基板翻转装置的动作而示意性地示出的主视图。图5的(a)是实施方式的基板分离装置的局部放大图，是用于说明吸附部及按压部的立体图。图5的(b)是实施方式的基板分离装置的局部放大图，是为了说明吸附部及按压部而从Z轴负侧观察图5的(a)的立体图。图6是用于说明实施方式的基板分离装置的支撑体、吸附部以及按压部的配置的图，是从Z轴负侧观察的俯视图。图7的(a)～(e)是为了说明实施方式的基板分离装置的动作而示意性地示出的主视图。图8是表示应用了实施方式的基板分离装置的基板翻转装置的结构的框图。图9是应用了实施方式的基板分离装置的基板翻转装置的动作的流程图。附图标记说明1-基板翻转装置；2-基板载置部；2a、2b-基板载置部；2c、2d-载置面；10-吸附部；20-按压部；30-支撑体；40-第一驱动部；50-第二驱动部(气缸)；51-活塞杆；52-弹簧；100-基板分离装置；200-基板运出装置；P-基板；Q-分离对象；R-端材。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。此外，在各图中为了方便而标注有相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是垂直方向。Z轴正侧是上方，Z轴负侧是下方。＜实施方式＞玻璃基板及陶瓷基板等脆性材料基板、PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯树脂)基板以及聚酰亚胺树脂基板等树脂基板等(以下简称为“基板”)经过各种处理而成为最终产品。作为这样的处理，例如有时对由玻璃基板等脆性材料制成的母基板进行划线工序和断裂工序而分割成规定大小的基板。当向这些工序供给时，母基板被适当正反翻转。例如，在贴合两张玻璃基板而构成母基板的情况下，在母基板的两面形成划分线。在这种情况下，在一面形成有划线之后，使母基板正反翻转并在另一面形成划分线。除此之外，也有时使形成有划分线的母基板正反翻转并向断裂工序供给。在断裂工序中，会在分割成多个的基板彼此之间、母基板的周围产生端材。上述那样的端材在最终产品的基板中是不需要的。因此，在基板的运出过程中，需要使基板与端材分离而仅运出基板。实施方式的基板分离装置是使这样的作为运出对象的基板即分离对象与端材分离的装置。在此，如果在经过断裂工序之后且使基板正反翻转之前，从分割的基板分离出端材，则能够平顺地向之后的工序运出。因此，将实施方式的基板分离装置100作为应用于基板翻转装置1的装置进行说明，而该基板翻转装置1用于使基板正反翻转。基板的种类例如有聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂、PET等聚酯树脂、聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃树脂、聚苯乙烯、聚氯乙烯等聚乙烯树脂等的树脂基板等有机基板(也包括膜、片。以下相同)、以及玻璃基板、陶瓷基板等脆性材料基板等无机基板，通过实施方式的基板翻转装置1进行翻转的基板P是树脂基板。树脂基板可以层叠有不同的基板，例如是从下层起按照顺序层叠有PET、聚酰亚胺树脂、PET的基板。运入基板翻转装置1的基板P是在规定方向上分割成多个的状态。基板P可以在规定方向上分割，再相对于规定方向垂直地分割。这样进行了分割的基板P呈网格状。在实施方式中，“规定方向”是X轴正方向，与基板P的分割要素向基板翻转装置1运入的方向一致。此外，在这之后，有些“吸附基板P”、或者“对基板P进行正反翻转”等“基板P”的记载，这表示实施方式的基板翻转装置1通过一次的动作进行正反翻转的规定数量的分割要素。[本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板分离装置，其从分割成多个的基板分离一部分，其特征在于，具备：吸附部，其用于吸附分离对象；按压部，其用于按压所述分离对象的邻接位置；支撑体，其支撑所述吸附部；第一驱动部，其使所述支撑体相对于所述基板接近及远离；以及第二驱动部，其设置于所述支撑体，并使所述按压部相对于所述基板接近及远离，所述第二驱动部使所述按压部以如下所述的行程相对于所述支撑体移动，该行程比所述吸附部与所述基板的所述分离对象抵接时的所述支撑体与所述吸附部之间的距离长。

【技术特征摘要】
2017.12.27 JP 2017-2522981.一种基板分离装置，其从分割成多个的基板分离一部分，其特征在于，具备：吸附部，其用于吸附分离对象；按压部，其用于按压所述分离对象的邻接位置；支撑体，其支撑所述吸附部；第一驱动部，其使所述支撑体相对于所述基板接近及远离；以及第二驱动部，其设置于所述支撑体，并使所述按压部相对于所述基板接近及远离，所述第二驱动部使所述按压部以如下所述的行程相对于所述支撑体移动，该行程比所述吸附部与所述基板的所述分离对象抵接时的所述支撑体与所述吸附部之间的距离长。2.根据权利要求1所述的基板分离装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾仁孝，高松生芳，上野勉，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP