一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法技术

本发明专利技术公开了一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性体膜片。通过采用多个电火花头加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)，将多个电火花头通电后对弹性体做电蚀加工，形成弹性膜片。达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。

A Method of Machining Elastic Diaphragm of Pressure Sensor by EDM

【技术实现步骤摘要】
一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法
本申请涉及电蚀加工
，尤其涉及一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法。
技术介绍
现有的加工压力传感器弹性膜片(盲孔)的方法是车削或铣床铣的方法，因为压力传感器的弹性膜片很薄，有的只有0.1mm，采用车削或者铣床铣的方法，会带来很大的加工应力，而且很难消除，最终影响压力传感器的稳定性和产品质量。目前，电火花加工是利用浸在工作液中的两极间脉冲放电时产生的电蚀作用蚀除导电材料的特种加工方法，又称放电加工或电蚀加工，英文简称为EDM。但本申请专利技术人发现上述现有技术至少存在如下技术问题：现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题。
技术实现思路
本申请实施例通过提供一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，用以解决现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题，通过采用多个电火花头加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)，利用电蚀方法加工弹性膜片，达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性体膜片。优选地，所述电火花头的数量范围为5个～100个。优选地，所述电火花头的直径范围为1mm～30mm。优选地，所述电蚀深度范围为0.1mm～100mm。优选地，所述预设数量的电火花头与所述预制板固定连接，且所述预设数量的电火花头均匀排布在所述预制板上。优选地，与所述电火花头非接触电蚀加工形成的所述弹性膜片的数量多于两片。优选地，所述预制板的材料采用紫铜板制成。本申请实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：本申请实施例通过提供一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性膜片。用以解决现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题，通过采用多个电火花头加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)，将多个电火花头通电后对弹性体做电蚀加工，形成弹性膜片。达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本申请的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本申请的具体实施方式。附图说明图1为本专利技术实施例中一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法的流程图；图2为本专利技术实施例中电火花加工弹性膜片的平面示意图；图3为本专利技术实施例中电火花加工弹性膜片的结构示意图。附图标记说明：弹性体1，电火花头2，预制板3，盲孔4。具体实施方式本申请实施例提供了一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，用以解决现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题。为了解决上述技术问题，本申请提供的技术方案总体思路如下：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性膜片。用以解决现有技术中加工弹性膜片的方法均会形成较大的加工应力，造成弹性膜片的质量差，压力传感器的稳定性低的技术问题，达到了提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度的目的，能够更加精确地控制压力传感器的输出灵敏度，减小劳动强度，提高生产效率的技术效果。下面通过附图以及具体实施例对本申请技术方案做详细的说明，应当理解本申请实施例以及实施例中的具体特征是对本申请技术方案的详细说明，而不是对本申请技术方案的限定，在不冲突的情况下，本申请实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。实施例一本专利技术实施例提供了一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，请参考图1至图3，所述方法包括S110～S140：S110：选取预设数量的电火花头2集成在一预制板3的一侧面上；进一步的，所述电火花头2的数量范围为5个～100个。进一步的，所述预设数量的电火花头与所述预制板固定连接，且所述预设数量的电火花头均匀排布在所述预制板上。进一步的，所述预制板的材料采用紫铜板制成。具体而言，本申请实施例中采用电火花加工压力传感器弹性膜片(盲孔)的方法，通过采用多个电火花头2加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)4，将多个电火花头2通电后对弹性体1做电蚀加工，由于电蚀后形成弹性膜片1的厚度较小，通过电火花非接触加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)1，可以减小应变力，提高压力传感器的一致性、稳定性和测量精度。首先，将选取预设数量的电火花头2一个一个的固定安装在预制板3的一侧面上，且所述预设数量的电火花头均匀排布在所述预制板上，便于后续加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)4。其中，在所述预制板3的一侧面上预先钻取安装电火花头2的孔。所述电火花头2的数量可以依据压力传感器上的弹性膜片(盲孔)的数量来制定，一般可选取所述电火花头2的数量范围为5个～100个。所述预制板的材料采用紫铜板制成，由于紫铜板有良好的机械性能，热态下塑性良好，冷态下塑性尚可，可切削性好，易纤焊和焊接，耐蚀，因此可以用作安装所述电火花头2的预制板。S120：将带有所述电火花头2的预制板3与压力传感器的弹性体1保持一预定距离；S130：将所述电火花头2通电，将通电的所述电火花头2与所述弹性体1非接触进行电蚀加工；进一步的，所述电蚀深度范围为0.1mm～100mm。进一步的，所述电火花头2的直径范围为1mm～30mm。具体而言，在加工压力传感器的弹性膜片(盲孔)4时，首先将带有所述电火花头2的预制板3与压力传感器的弹性体1保持一预定距离，距离范围为10cm～25cm，避免所述电火花头2通电对所述弹性体1产生影响。其次，将所述电火花头2通电，安装在所述预制板上的所述电火花头2同时工作，将通电的所述电火花头2与所述弹性体1非接触进行电蚀加工。其中，电火花加工是利用浸在工作液中的两极间脉冲放电时产生的电蚀作用蚀除导电材料的特种加工方法，又称放电加工或电蚀加工。其中，所谓电蚀是指电流在旋转中的轴承的滚道轮和滚动体的接触部分流动时，通过薄薄的润滑油膜发出火花，其表面出现局部的地熔融和凹凸现象。电蚀指的是两种不同的金属在一种腐蚀性电解液中耦合时所产生的损害。出现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，其特征在于，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性膜片。

【技术特征摘要】
1.一种电火花加工压力传感器弹性膜片的方法，其特征在于，所述方法包括：选取预设数量的电火花头集成在一预制板的一侧面上；将带有所述电火花头的预制板与压力传感器的弹性体保持一预定距离；将所述电火花头通电，将通电的所述电火花头与所述弹性体非接触进行电蚀加工；当所述电火花头全部将所述弹性体电蚀到预定电蚀深度后停止，获得弹性膜片。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电火花头的数量范围为5个～100个。3.如权利要求1所述的方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭和平，谷荣祥，
申请(专利权)人：西安中星测控有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61