【技术实现步骤摘要】
图案描绘装置及基板处理装置本申请是申请日为2016年9月27日,申请号为201680056753.1,专利技术名称为“图案描绘装置及图案描绘方法”的专利申请的分案申请。
本专利技术是关于一种扫描照射至被照射体上的聚焦光而描绘图案的图案描绘装置及图案描绘方法。
技术介绍
作为使用旋转多角镜的描绘装置,例如已知电子照片方式的图像形成装置,其是如日本特开2009-20489号公报揭示般,利用多角镜使来自激光二极体(LD)的射束反复偏向,并使偏向后的射束经由fθ透镜于感光体上扫描。日本特开2009-20489号公报所揭示的图像形成装置中,根据激光二极体(LD)的驱动电流的变化而预测包含激光二极体(LD)、旋转多角镜、及fθ透镜等的写入单元内的温度变化。而且,为了修正因温度变化而产生的fθ透镜的倍率误差(射束的主扫描方向的倍率误差),而变更响应图像信号对激光二极体(LD)进行点亮控制时成为基准的写入用的时脉信号的频率。然而,于应描绘的图像的图案为用于电子元件的图案的情形时,即便如日本特开2009-20489号公报般,仅藉由时脉信号的频率变更来修正倍率误差,亦无法细致地应对高精度的倍率修正。
技术实现思路
本专利技术的第1态样是一种图案描绘装置,其是一面将来自光源的射束根据图案信息进行强度调变,一面将上述射束投射至基板上而于主扫描方向进行扫描,藉此于上述基板上形成图案者,且具备:扫描装置,其为了上述射束于上述主扫描方向上的扫描,将包含使来自上述光源的上述射束偏向的偏向构件的多个扫描单元以投射至上述基板上的上述射束的扫描轨迹相互错开的方式配置;及电光偏向装置,其能够为了将来 ...
【技术保护点】
1.一种图案描绘装置,其藉由一面对应图案对来自脉冲光源部的脉冲射束的聚焦光进行强度调变,一面在基板上沿主扫描方向使上述聚焦光相对地扫描,在上述基板上描绘上述图案,且具备:描绘数据存储部,其藉由对应上述聚焦光的尺寸而设定的尺寸Pxy的像素将上述图案分割,并将多个上述像素的各个作为以与上述图案对应的逻辑信息表示的描绘数据而存储;时脉产生部,其具有在将上述聚焦光的扫描速度设为Vs、N设为2以上的整数时以Pxy/(N×Vs)决定的基准周期,并在上述聚焦光的扫描中对每个上述尺寸Pxy产生N个时脉脉冲;光源控制部,其以响应上述时脉脉冲产生上述脉冲射束的方式控制上述脉冲光源部,并根据自上述描绘数据存储部依序送出的上述描绘数据的每个上述像素的上述逻辑信息调变上述脉冲射束的上述聚焦光的强度;修正像素指定部,其在沿上述主扫描方向排列的多个上述像素之中,指定配置在特定的位置的至少1个上述像素作为修正像素;及送出时点切换部,其以在上述聚焦光扫描上述修正像素以外的非修正像素的时点,上述时脉脉冲的N个对应1像素,在上述聚焦光扫描上述修正像素的时点,上述时脉脉冲的N±m个(m为具有m<N的关系的1以上的整数)对应1 ...
【技术特征摘要】
2015.09.28 JP 2015-1894961.一种图案描绘装置,其藉由一面对应图案对来自脉冲光源部的脉冲射束的聚焦光进行强度调变,一面在基板上沿主扫描方向使上述聚焦光相对地扫描,在上述基板上描绘上述图案,且具备:描绘数据存储部,其藉由对应上述聚焦光的尺寸而设定的尺寸Pxy的像素将上述图案分割,并将多个上述像素的各个作为以与上述图案对应的逻辑信息表示的描绘数据而存储;时脉产生部,其具有在将上述聚焦光的扫描速度设为Vs、N设为2以上的整数时以Pxy/(N×Vs)决定的基准周期,并在上述聚焦光的扫描中对每个上述尺寸Pxy产生N个时脉脉冲;光源控制部,其以响应上述时脉脉冲产生上述脉冲射束的方式控制上述脉冲光源部,并根据自上述描绘数据存储部依序送出的上述描绘数据的每个上述像素的上述逻辑信息调变上述脉冲射束的上述聚焦光的强度;修正像素指定部,其在沿上述主扫描方向排列的多个上述像素之中,指定配置在特定的位置的至少1个上述像素作为修正像素;及送出时点切换部,其以在上述聚焦光扫描上述修正像素以外的非修正像素的时点,上述时脉脉冲的N个对应1像素,在上述聚焦光扫描上述修正像素的时点,上述时脉脉冲的N±m个(m为具有m<N的关系的1以上的整数)对应1像素的方式,切换上述像素的上述逻辑信息的从上述描绘数据存储部的送出时点。2.如权利要求1所述的图案描绘装置,其中具备多个扫描单元,该扫描单元具有为了上述聚焦光的往上述主扫描方向的扫描而使上述脉冲射束一维地偏向的多角镜、及供以上述多角镜偏向后的上述脉冲射束射入并作为上述聚焦光聚光在上述基板上的光学透镜构件;藉由从多个上述扫描单元的各个投射的上述聚焦光在上述基板上描绘上述图案。3.如权利要求2所述的图案描绘装置,其具备:多角镜驱动控制部,其以上述多个扫描单元的各个的上述多角镜的旋转角度位置成为既定的相位关系的方式使上述多角镜的各个同步旋转;及射束切换部,其将来自上述脉冲光源部的上述脉冲射束以对应上述多角镜的旋转角度位置而依序引导至上述多个扫描单元中的任一个的方式进行切换。4.如权利要求3所述的图案描绘装置,其具备修正信息存储部,其将用以指定位在沿上述主扫描方向上的多个上述像素之中,成为修正对象的上述修正像素的修正信息存储在上述多个扫描单元的每一个;上述修正像素指定部根据与藉由上述射束切换部而上述脉冲射束被引导的上述扫描单元对应的上述修正信息,指定位在上述脉冲射束被引导的上述扫描单元的描绘范围中的上述修正像素。5.如权利要求4所述的图案描绘装置,其中上述修正信息包含用以对应在上述描绘范围内描绘的图案的描绘倍率而对沿上述主扫描方向上的离散的多个位置的各个指定上述修正像素的修正位置信息;上述修正像素指定部根据上述修正位置信息指定离散分布的多个上述修正像素;上述送出时点切换部以N±m个上述...
【专利技术属性】
技术研发人员:加藤正纪,中山修一,
申请(专利权)人:株式会社尼康,
类型:发明
国别省市:日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。