一种用于盘形分子泵的抽气圆盘制造技术

一种盘形分子泵中圆盘上抽气沟槽的改进，该抽气圆盘的一侧或两侧盘面上开有若干个呈放射状的沿圆周均匀分布的圆弧线形抽气沟槽，即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形。弧长Ｓ由公式Ｓ＝Ｒｙθ来确定。每条弧线对应的圆心位于半径为Ｒｘ的圆周上。当Ｒｘ，Ｒｙ，取成无穷大，θ为π时，圆弧线形槽便成为直线形槽。（*该技术在1997年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本技术涉及盘形分子泵中圆盘上抽气沟槽的改进。目前盘形分子泵或含有盘形结构的复合分子泵中的盘形结构部分的每一级通常由一旋转的平板圆盘和一片在盘面上开有抽气沟槽的静止抽气圆盘构成。尽管盘形分子泵由盘形分子泵构成的复合分子泵具有较广泛的应用前景，但由于现有的抽气圆盘其盘面上所开抽气沟槽的线形是阿基米德螺线形抽气沟槽或中国专利技术专利号GK85105304提出的对数线形抽气沟槽，使得加工工艺复杂而不易实现，因此限制了这类泵的发展。本技术的任务是在不降低现有的抽气圆盘性能的条件下，提出了一种加工工艺简单，便于实现的抽气圆盘。这种抽气圆盘盘面上开有若干个抽气沟槽，每个抽气沟槽的槽壁线形为圆弧线形。本技术提出的带有圆弧线形抽气沟槽的抽气圆盘是通过下述技术方案实现的。本技术提出的抽气圆盘为环状，在其一侧或两侧盘面上开有若干个沿盘面圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽，即抽气沟槽的槽壁线形为圆弧线形。圆弧线形槽壁的两端分别位于环形抽气圆盘的内外圆周上。圆弧线形槽壁的弧长S由等式S＝Ryθ来确定。Ry为该圆弧线所对应的曲率半径，θ是弧长为S，曲率半径为Ry的圆弧线形槽壁对应的张角。同一侧面上所开的所有圆弧线形抽气沟槽的圆弧线形槽壁的弧长S都相同，并且所有圆弧线形槽壁所对应的圆心都在与抽气圆盘同心半径为Rx的圆周上。如果两侧盘面上都开有圆弧线形抽气沟槽，其线形走向根据泵的设计要求可以相同也可以相反。两侧盘面上抽气沟槽的数目和槽的深度根据泵的设计要求也可以相同或不同。而且两侧盘面上确定圆弧线形槽壁的参数Ry、Rx、θ可以相同也可以不同。当θ等于π，Rx、Ry为无穷大时，圆弧线形抽气沟槽就变成直线形抽气沟槽。本技术提出的抽气圆盘，其盘面上所开的圆弧线形抽气沟槽的横截面形状根据设计的要求可以是矩形，阶梯矩形或一直角边与盘面重合的直角三角形。附图说明图1是本专利技术提出的两侧盘面上开有圆弧线形抽气沟槽的抽气圆盘视图和剖视图。 图2是几种不同横截面形状抽气沟槽的横截面展开剖面图。附图说明1.抽气圆盘内圆周2.抽气圆盘外圆周3.圆弧线形抽气沟槽4.抽气沟槽的圆弧线形槽壁A.横截面为一直角边与盘面重合的直角三角形的抽气沟槽横截面展开剖面图B.横截面为矩形的抽气沟槽横截面展开剖面图C.横截面为阶梯矩形的抽气沟槽横截面展开剖面图下面结合附图对本技术提出的抽气圆盘的结构进行详细说明。 参照图1，抽气圆盘的内圆周［1］和外圆周［2］分别由R1和R2确定，圆弧线形抽气沟槽［3］的圆弧线形槽壁［4］的弧长S由等式S＝Ryθ来确定。所有圆弧线形槽壁［4］对应的圆心都位于由Rx确定的圆周上。圆弧线形槽壁［4］的两端分别位于抽气圆盘的内圆周［1］和外圆周［2］上。圆弧线形抽气沟槽［3］的深度d由泵的设计参数确定。 实施例本技术提出的带有圆弧线形抽气沟槽的抽气圆盘曾被用在抽速为450升／秒的带有盘形结构的复合分子泵中，以代替原泵中带有对数螺线形抽气沟槽的抽气圆盘。采用本技术提出的抽气圆盘组成的带有盘形结构的复合分子泵，其各项抽气性能指标均不低于原有泵的抽气性能指标，即抽速仍能达到450升／秒，并且有所提高，对氮气的压缩比仍可以达到108。本文档来自技高网...

【技术保护点】
本实用新型提出了一种可用于盘形分子泵的抽气圆盘，其特征在于抽气圆盘的一侧或两侧面上开有沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽，即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形或直线形。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.本实用新型提出了一种可用于盘形分子泵的抽气圆盘，其特征在于抽气圆盘的一侧或两侧面上开有沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽，即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形或直线形。2.权利要求1所述的抽气圆盘，其特征在于抽气沟槽的圆弧线形槽壁的弧长S由S＝Ryθ来确定，而盘面上所有圆弧线形...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孝珍，朱岳，竺长新，
申请(专利权)人：中国科学院北京真空物理实验室，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]