水凝胶致动式微型泵制造技术

一种水凝胶致动式微型泵，是利用水凝胶胀缩效果所产生的体积变化致动微型泵的隔膜，而达到驱动流体腔室内流体的效果。包含：二流体腔室；及一流体腔室通道；及第一层板及第二层板；在所设容置空间底面各设一电极；及一中间层板，系以矽晶片利用体型微机械加工制程所制做，在靠近二端各设一腔室空间；其中间层板置于第一层板及第二层板之间并组合成微型泵本体；各层板之间并以隔膜分隔，分别形成水凝胶体及电泳液的容置空间、电泳液通道、流体腔室及流体腔室通道；第一层板对应于流体腔室开孔处设有一通孔，可供液体进出。提供了一种低操作电压、低耗电的微型泵，并增进其可携性、安全性与系统整合性。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种水凝胶致动式微型泵，其特征在于，包含有： 二流体腔室；及 一流体腔室通道，连通该二流体腔室；及 第一层板及第二层板，是在对应于该流体腔室处各设一容置空间，该二容置空间之间形成高度略为向内陷缩的鞍部，并于该容置空间的底面各设一电极；及 一中间层板，置于该第一层板及该第二层板之间，在靠近二端各设一腔室空间，该二腔室空间之间形成一分隔；及 其中该中间层板置于第一层板及第二层板之间并组合成微型泵本体，各层板之间并以隔膜分隔，该隔膜与第一层板第二层板及结构材之间形成一容置空间，该隔膜与第一层板及第二层板的鞍部之间形成电泳液通道，该隔膜与中间层板之间形成流体腔室，该隔膜与中间层板的分隔形成流体腔室通道，该第一层板对应于该流体腔室开孔处设有一通孔，可供流体进出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：庄世伟，梁佩芳，范光钱，陈威宏，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]