药液供给装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够高精度地喷出药液的药液供给装置。药液供给装置用于将药液罐（２５）内的药液从涂覆喷嘴（２７）内喷出。药液供给装置具有将泵壳（１１）和汽缸（１２）结合为一体的合体部件（１３）。泵部件即柔性管（１５）设置在泵壳（１１）上，其内部形成为泵室（１６），外部形成为泵侧驱动室（１７）。活塞（３１）组装在汽缸（１２）内。当活塞（３１）通过电机（４９）进行往复运动时，泵室（１６）膨胀收缩。活塞（３１）和汽缸（１２）之间的空间由隔膜（６１）覆盖。隔膜（６１）的内部形成为密封空间（６２）。从而，从活塞（３１）和汽缸（１２）之间泄漏的非压缩性介质将进入到密封空间（６２）内，而不会泄漏到外部。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种药液供给装置，其特征在于，该装置包括：泵，该泵设置有用于将与液体流入口和流出口连通的泵室和驱动室隔开且可自由弹性变形的分隔膜；汽缸，该汽缸安装有用于向所述驱动室供给或从所述驱动室排出非压缩性介质的能够自由往复运动的活塞；驱动装置，该驱动装置用于使所述活塞在直线方向往复运动，并通过所述非压缩性介质使所述泵室膨胀收缩；以及隔膜，该隔膜能够自由弹性变形，且设置在所述活塞和所述汽缸之间，所述隔膜在与所述活塞的外周面和所述汽缸的内周面的滑动部分相连的同时形成封入有非压缩性介质的密封空间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：矢岛丈夫，
申请(专利权)人：株式会社小金井，
类型：发明
国别省市：JP[日本]