【技术实现步骤摘要】
一种芯片倒装开封方法
本专利技术主要涉及半导体领域,尤其涉及一种芯片倒装开封方法。
技术介绍
现有产品大部分采用芯片倒装结构,芯片表面上方被胶水和基板覆盖,完全开封时,在时间和温度的共同作用下,胶水和芯片表面的PIQ层被完全融化,芯片和基板分离,可以得到干净的芯片表面,但是孔开盖进行时,由于时间较短,温度也无法达到,胶水和芯片表面的PIQ无法完全融化,残留在芯片表面,影响样品的观察。已公开中国专利技术专利:半导体硅平板芯片台面旋转腐蚀酸及台面旋转腐蚀工艺,申请号:CN201410538163.5,申请日:20141013,公开了一种半导体硅平板芯片台面旋转腐蚀酸及台面旋转腐蚀工艺,旋转腐蚀酸由发烟硝酸、氢氟酸、冰乙酸按比例混合而成,工艺使用旋转腐蚀机进行旋转腐蚀。本专利技术成功取得了一种半导体硅平板功率芯片台面旋转腐蚀工艺技术,运用该技术具有较好的环保等社会效益及良好的经济效益。由于发烟硝酸和胶水及PIQ的反应比较慢,短暂的滴酸无法干净地腐蚀胶水和PIQ,但是又不能长时间进行,因为发烟硝酸和芯片下方EMC的反应非常快,EMC完全腐蚀后镊子会碰到样品表面,造成人为损伤。
技术实现思路
本专利技术提供一种芯片倒装开封方法,针对现有技术的上述缺陷,提供一种芯片倒装开封方法,其特征是所述的开封方法包括如下步骤:(1)用X射线检查器件正面和侧面结构,得到芯片及芯片焊点版图,并测量基板厚度;(2)用打磨的方式去除基板材料,露出胶水层;(3)将产品加热至90~100℃;(4)用滴管吸取发烟硝酸滴在基板表面,刻蚀掉芯片表面的胶水及PIQ;(5)清水冲洗芯片后再次重复多次上述步 ...
【技术保护点】
1.一种芯片倒装开封方法,其特征是:所述的开封方法包括如下步骤:(1)用X射线检查器件正面和侧面结构,得到芯片及芯片焊点版图,并测量基板厚度;(2)用打磨的方式去除基板材料,露出胶水层;(3)将产品加热至90~100℃;(4)用滴管吸取发烟硝酸滴在基板表面,刻蚀掉芯片表面的胶水及PIQ;(5)清水冲洗芯片后再次重复多次上述步骤;(6)用滴管吸取氢氟酸滴在芯片表面,反应10~15S,反应结束后用清水冲洗;(7)芯片表面进行干燥。
【技术特征摘要】
1.一种芯片倒装开封方法,其特征是:所述的开封方法包括如下步骤:(1)用X射线检查器件正面和侧面结构,得到芯片及芯片焊点版图,并测量基板厚度;(2)用打磨的方式去除基板材料,露出胶水层;(3)将产品加热至90~100℃;(4)用滴管吸取发烟硝酸滴在基板表面,刻蚀掉芯片表面的胶水及PIQ;(5)清水冲洗芯片后再次重复多次上述步骤;(6)用滴管吸取氢氟酸滴在芯片表面,反应10~15S,反应结束后用清水冲洗;(7)芯片表面进行干燥。2.根据权利要求1所述的一种芯片倒装开封方法,其特征在于:所述产品加热至90℃。3....
【专利技术属性】
技术研发人员:汤剑波,张伟,王意,
申请(专利权)人:海太半导体无锡有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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