等静压圆柱形靶材螺纹加工方法技术

本发明专利技术涉及靶材加工领域，特别是涉及一种等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，本发明专利技术包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。本发明专利技术通过上述加工方法，实现加工简单、产品质量好、工作效率高等目的。

Processing Method of Isostatic Cylindrical Target Thread

The invention relates to the target material processing field, in particular to an isostatic cylindrical target thread processing method. The invention includes the following steps: providing the target material thread and copper sleeve, the target material outer circle and the thread mask have 0.5-2 mm processing allowance; turning the target material, the target material turning on a lathe. End face, and finish turning the inner diameter of the target; put the copper sleeve on the oven to heat and bake, and put the copper sleeve on the target, using isostatic pressing technology to make the copper sleeve and the target tightly matched; drill pin holes on the drilling machine and hit pins on the target; further turning the target on the lathe, on one side of the target. Turning threads, and turning target reference size. The invention realizes the purposes of simple processing, good product quality and high work efficiency by the above processing method.

【技术实现步骤摘要】
等静压圆柱形靶材螺纹加工方法
本专利技术涉及靶材加工领域，特别是涉及一种等静压圆柱形靶材螺纹加工方法。
技术介绍
溅射技术是半导体制造领域的常用工艺之一，随着溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。具有严格的成分配比、细腻的组织结构、高纯度、高密度、大尺寸的靶材是现代高端的光、电器件制造业，如显示器及太阳能薄膜电池等行业的基本要求。这也给传统的靶材生产制备技术和设备提出了更高的要求。现有的靶材加工方法工序复杂，产品质量不满足用户要求，工作效率低下，进而造成成本增加，实用性差。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提供一种加工简单、产品质量好、工作效率高的等静压圆柱形靶材螺纹加工方法。本专利技术采用如下技术方案：等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，包括以下加工步骤，S1，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；S2，对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；S3，将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；S4，在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；S5，对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。对上述技术方案的进一步改进为，所述靶材的材料为铬、钛或铝中的一种。对上述技术方案的进一步改进为，S1步骤中，所述靶材外圆与螺纹面具有2mm的加工余量。对上述技术方案的进一步改进为，在步骤S1中，所述靶材的内径尺寸大于铜套的内径尺寸0.1～0.15mm。对上述技术方案的进一步改进为，在S3步骤中，所述加热温度为250℃，所述铜套的膨胀系数为17.2～17.9。对上述技术方案的进一步改进为，在S3步骤中，当铜套在膨胀到其内径尺寸大于靶材的外圆尺寸时，迅速将铜套套入靶材上，并用木头压在靶材上，同时使用铁锤用力敲打。对上述技术方案的进一步改进为，膨胀后的所述铜套的内径尺寸大于靶材的外圆尺寸0.05～1mm。对上述技术方案的进一步改进为，所述车削加工过程中，均在靶材和铜套均垫设有铝片。本专利技术的有益效果为：1、本专利技术包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸，通过本专利技术的加工方法，工序有效简化，保证产品质量，进一步提高工作效率。2、靶材的材料为铬、钛或铝中的一种，可对多种金属靶材进行加工，工艺的适用范围广，有效提高工作效率，节省成本。3、S1步骤中，靶材外圆与螺纹面具有2mm的加工余量，便于对靶材进行车削加工，提高工作效率，节省成本，提高实用性。4、在步骤S1中，靶材的内径尺寸大于铜套的内径尺寸0.1～0.15mm，在此范围下，需要对铜套进行加工，使铜套尺寸可套合于靶材上，而当铜套没有变形的情况下，可不需对铜套交给你其内径尺寸，铜套的内径尺寸为基准，车削靶材的尺寸与铜套尺寸内径匹配，有效节省加工时间，提高加工效率，实用性强。5、在S3步骤中，加热温度为250℃，所述铜套的膨胀系数为17.2～17.9，在此温度和铜套的膨胀系数下，铜套可有效膨胀到与靶材的尺寸相配合，进一步提高工作效率，实用性强。6、在S3步骤中，当铜套在膨胀到其内径尺寸大于靶材的外圆尺寸时，迅速将铜套套入靶材上，并用木头压在靶材上，同时使用铁锤用力敲打，有效将铜套和靶材进一步紧配在一起，有效提高工作效率。7、膨胀后的铜套的内径尺寸大于靶材的外圆尺寸0.05～1mm，在此范围下，有效将铜套和靶材紧配，进一步提高工作效率，实用性强。8、车削加工过程中，均在靶材和铜套均垫设有铝片，有效防止靶材和铜套被车床上的夹具夹伤，保护效果好，进一步提高产品质量，实用性强。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本专利技术包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。靶材的材料为铬、钛或铝中的一种，可对多种金属靶材进行加工，工艺的适用范围广，有效提高工作效率，节省成本。S1步骤中，靶材外圆与螺纹面具有2mm的加工余量，便于对靶材进行车削加工，提高工作效率，节省成本，提高实用性。在步骤S1中，靶材的内径尺寸大于铜套的内径尺寸0.1～0.15mm，在此范围下，需要对铜套进行加工，使铜套尺寸可套合于靶材上，而当铜套没有变形的情况下，可不需对铜套交给你其内径尺寸，铜套的内径尺寸为基准，车削靶材的尺寸与铜套尺寸内径匹配，有效节省加工时间，提高加工效率，实用性强。在S3步骤中，加热温度为250℃，所述铜套的膨胀系数为17.2～17.9，在此温度和铜套的膨胀系数下，铜套可有效膨胀到与靶材的尺寸相配合，进一步提高工作效率，实用性强。在S3步骤中，当铜套在膨胀到其内径尺寸大于靶材的外圆尺寸时，迅速将铜套套入靶材上，并用木头压在靶材上，同时使用铁锤用力敲打，有效将铜套和靶材进一步紧配在一起，有效提高工作效率。膨胀后的铜套的内径尺寸大于靶材的外圆尺寸0.05～1mm，在此范围下，有效将铜套和靶材紧配，进一步提高工作效率，实用性强。车削加工过程中，均在靶材和铜套均垫设有铝片，有效防止靶材和铜套被车床上的夹具夹伤，保护效果好，进一步提高产品质量，实用性强。本专利技术包括以下步骤，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸，通过本专利技术的加工方法，工序有效简化，保证产品质量，进一步提高工作效率。以上所述实施例仅表达了本专利技术的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利技术专利的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术构思的前提下。因此，本专利技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，其特征在于：包括以下加工步骤，S1，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；S2，对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；S3，将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；S4，在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；S5，对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。

【技术特征摘要】
1.等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，其特征在于：包括以下加工步骤，S1，提供靶材的螺纹以及铜套，所述靶材外圆与螺纹面具有0.5～2mm的加工余量；S2，对靶材进行车削加工，所述靶材在车床上车削一个端面，并精车削靶材的内径；S3，将铜套放在烤炉上加热烘烤，并将铜套套入靶材上，采用等静压技术使铜套和靶材紧配在一起；S4，在钻床上对靶材进行钻销钉孔加工，并打上销钉；S5，对靶材在车床上进一步车削加工，在所述靶材一面车削螺纹，并车削靶材的基准尺寸。2.根据权利要求1所述的等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，其特征在于：所述靶材的材料为铬、钛或铝中的一种。3.根据权利要求1所述的等静压圆柱形靶材螺纹加工方法，其特征在于：S1步骤中，所述靶材外圆与螺纹面具有2mm的加工余量。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张益，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44