一种显影槽湿润装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种显影槽湿润装置，包括显影槽、喷头和供水单元，显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽，喷头设置在环形凹槽内，喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋，供水单元与喷头管连接设置，供水单元用于为喷头提供水。在显影槽内安装喷头，喷头可以朝向显影槽的内侧面进行喷淋，喷淋液通过供水单元提供，而喷淋也为超纯水，因此在进行光阻喷涂时，使得甩至显影槽侧壁上的光阻不会粘附在侧壁上，避免显影槽附着光阻，提高显影槽内的洁净度，降低喷涂光阻的生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种显影槽湿润装置
本技术涉及光阻喷涂设备领域，尤其涉及一种显影槽湿润装置。
技术介绍
在对晶圆使用光阻喷涂，同时在显影槽通过离心力将晶圆表面上的光阻进行甩开，使得光阻均匀的附着在晶圆上，但是会有一部分光阻甩至显影槽的内侧面上，而附着在显影槽内侧面上的光阻在凝固后，会粘附在显影槽内壁上。因此导致显影槽内的升降装置无法升降，且需要经常对显影槽进行保养，从而保持显影槽内的洁净度，使得生产和养护的成本增加。
技术实现思路
为此，需要提供一种显影槽湿润装置，解决显影槽内容易附着光阻且生产成本较高的问题。为实现上述目的，专利技术人提供了一种显影槽湿润装置，包括显影槽、喷头和供水单元；所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽，喷头设置在环形凹槽内，喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋；所述供水单元与喷头管连接设置，供水单元用于为喷头提供水。进一步地，所述喷头为环形喷头，环形喷头嵌合设置在凹槽内。进一步地，所述供水单元包括调压阀、过滤器、供水管路和空气供应管路，所述调压阀和过滤器依次设置在供水管路上，空气供应管路与过滤器的进气口管连接设置，供水管路的出水口与喷头管连接，供水管路用于和蓄水罐管连接供水。进一步地，所述供水单元还包括快速接头，所述快速接头设置在供水管路的出水口端上。进一步地，所述供水单元还包括调压阀表头，所述调压阀表头设置在调压阀与过滤器之间的供水管路上。进一步地，所述供水单元还包括流量计，所述流量计设置在调压阀表头与过滤器之间的供水管路上。区别于现有技术，上述技术方案在显影槽内安装喷头，喷头可以朝向显影槽的内侧面进行喷淋，喷淋液通过供水单元提供，而喷淋也为超纯水，因此在进行光阻喷涂时，使得甩至显影槽侧壁上的光阻不会粘附在侧壁上，避免显影槽附着光阻，提高显影槽内的洁净度，降低喷涂光阻的生产成本。附图说明图1为具体实施方式所述的显影槽湿润装置的显影槽结构图；图2为具体实施方式所述的显影槽湿润装置的示意图。附图标记说明：10、显影槽；101、环形凹槽；20、喷头；30、供水单元；301、调压阀；302、过滤器；303、供水管路；304、空气供应管路；305、快速接头；306、调压阀表头；307、包括流量计；具体实施方式为详细说明技术方案的
技术实现思路
、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。请参阅图1和图2，本实施例提供一种显影槽湿润装置，包括显影槽10、喷头20和供水单元30；所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽101，喷头设置在环形凹槽内，喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋；所述供水单元与喷头管连接设置，供水单元用于为喷头提供水。本实施例中在显影槽内开设一个环形凹槽，环形凹槽位于显影槽的顶部，因此使得安装在环形凹槽内的喷头可以朝向显影槽的内侧面进行喷淋，将显影槽的内侧面全面的喷湿。而喷淋液则通过供水单元进行提供，而喷淋液为超纯水，通过超纯水可以极大的层度上保证显影槽内的洁净度。因此在进行光阻喷涂时，晶圆在离心力的作用将光阻均匀的甩开，导致具有部分光阻甩在显影槽侧壁上，由于侧壁上具有超纯水喷淋，因此防止光阻吸附在显影槽内，使得晶圆在进行喷涂时效率较高，降低喷涂光阻的生产成本。本实施例中所述喷头为环形喷头，环形喷头嵌合设置在凹槽内。通过使用环形喷头便于对显影槽的内侧壁进行喷淋，提高了显影槽湿润装置的实用性。本实施例中所述供水单元包括调压阀301、过滤器302、供水管路303和空气供应管路304，所述调压阀和过滤器依次设置在供水管路上，空气供应管路与过滤器的进气口管连接设置，供水管路的出水口与喷头管连接，供水管路用于和蓄水罐管连接供水。所述供水单元还包括快速接头305、调压阀表头306和包括流量计307，所述快速接头设置在供水管路的出水口端上。所述调压阀表头设置在调压阀与过滤器之间的供水管路上。所述流量计设置在调压阀表头与过滤器之间的供水管路上。具体的，供水单元通过供水管路与主供水的管道连接，也可以直接与出水罐进行管连接供水。使用调压阀对供水管路的压力进行调节，人们可以通过调压阀表头上的指针了解供水管路的水压，进而调节到需要的供水水压。使用过滤器将供水管路中的杂质进行过滤，并通过空气供应管路供应空气，协助调压阀调节供水管路中的压力，使得供水管路供水顺畅。而供水管路与喷头之间可以采用快速接头进行连接，便于人们安装连接供水管路。同时为了便于人们了解供水管路的流量，可以通过流量计进行定期的统计，进而可以提前预备下一个周期所需要的超纯水，提高了显影槽湿润装置的实用性。需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本技术的专利保护范围。因此，基于本技术的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的
，均包括在本技术专利的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显影槽湿润装置，其特征在于，包括显影槽、喷头和供水单元；所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽，喷头设置在环形凹槽内，喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋；所述供水单元与喷头管连接设置，供水单元用于为喷头提供水。

【技术特征摘要】
1.一种显影槽湿润装置，其特征在于，包括显影槽、喷头和供水单元；所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽，喷头设置在环形凹槽内，喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋；所述供水单元与喷头管连接设置，供水单元用于为喷头提供水。2.根据权利要求1所述的一种显影槽湿润装置，其特征在于，所述喷头为环形喷头，环形喷头嵌合设置在凹槽内。3.根据权利要求1所述的一种显影槽湿润装置，其特征在于，所述供水单元包括调压阀、过滤器、供水管路和空气供应管路，所述调压阀和过滤器依次设置在供水管路上，空气供应管路与过...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜书杰，许哲维，
申请(专利权)人：福建省福联集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35