【技术实现步骤摘要】
一种显影槽湿润装置
本技术涉及光阻喷涂设备领域,尤其涉及一种显影槽湿润装置。
技术介绍
在对晶圆使用光阻喷涂,同时在显影槽通过离心力将晶圆表面上的光阻进行甩开,使得光阻均匀的附着在晶圆上,但是会有一部分光阻甩至显影槽的内侧面上,而附着在显影槽内侧面上的光阻在凝固后,会粘附在显影槽内壁上。因此导致显影槽内的升降装置无法升降,且需要经常对显影槽进行保养,从而保持显影槽内的洁净度,使得生产和养护的成本增加。
技术实现思路
为此,需要提供一种显影槽湿润装置,解决显影槽内容易附着光阻且生产成本较高的问题。为实现上述目的,专利技术人提供了一种显影槽湿润装置,包括显影槽、喷头和供水单元;所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽,喷头设置在环形凹槽内,喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋;所述供水单元与喷头管连接设置,供水单元用于为喷头提供水。进一步地,所述喷头为环形喷头,环形喷头嵌合设置在凹槽内。进一步地,所述供水单元包括调压阀、过滤器、供水管路和空气供应管路,所述调压阀和过滤器依次设置在供水管路上,空气供应管路与过滤器的进气口管连接设置,供水管路的出水口与喷头管连接,供水管路用于和蓄水罐管连接供水。进一步地,所述供水单元还包括快速接头,所述快速接头设置在供水管路的出水口端上。进一步地,所述供水单元还包括调压阀表头,所述调压阀表头设置在调压阀与过滤器之间的供水管路上。进一步地,所述供水单元还包括流量计,所述流量计设置在调压阀表头与过滤器之间的供水管路上。区别于现有技术,上述技术方案在显影槽内安装喷头,喷头可以朝向显影槽的内侧面进行喷淋,喷淋液通过供水单元提供,而喷淋也为超纯水,因此在进行 ...
【技术保护点】
1.一种显影槽湿润装置,其特征在于,包括显影槽、喷头和供水单元;所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽,喷头设置在环形凹槽内,喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋;所述供水单元与喷头管连接设置,供水单元用于为喷头提供水。
【技术特征摘要】
1.一种显影槽湿润装置,其特征在于,包括显影槽、喷头和供水单元;所述显影槽的内壁顶部设置有环形凹槽,喷头设置在环形凹槽内,喷头用于对显影槽的内侧面进行喷淋;所述供水单元与喷头管连接设置,供水单元用于为喷头提供水。2.根据权利要求1所述的一种显影槽湿润装置,其特征在于,所述喷头为环形喷头,环形喷头嵌合设置在凹槽内。3.根据权利要求1所述的一种显影槽湿润装置,其特征在于,所述供水单元包括调压阀、过滤器、供水管路和空气供应管路,所述调压阀和过滤器依次设置在供水管路上,空气供应管路与过...
【专利技术属性】
技术研发人员:颜书杰,许哲维,
申请(专利权)人:福建省福联集成电路有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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