光路校准方法及校准装置制造方法及图纸

本申请公开一种光路校准方法及校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；对所述待测产品进行光路校准。本申请提供一种光路校准方法及校准装置，旨在解决现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。

【技术实现步骤摘要】
光路校准方法及校准装置
本申请涉及光学测量
，尤其涉及一种光路校准方法及校准装置。
技术介绍
在对高精度的光学产品进行光学测量时，通常是采用采集单元拍摄产品的目标图像，并对图像进行计算后得到检测结果，由于光学测量对光学系统的精度要求较高，因此光学系统的光路校准精度是保证光学测量精度的前提。现有的光学系统校准，通常是采用标准样品，对采集单元的光轴中心和标准样品的投影图像中心对准的方式对光路进行校准，但是这种校准方式会受制于标准样品的加工精度影响，当标准样品的加工精度低，无法满足光学测量系统的测量精度要求时，光学系统测量即无法达到要求的测量精度。
技术实现思路
本申请提供一种光路校准方法及校准装置，旨在解决现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。为实现上述目的，本申请提出了一种光路校准方法，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；对所述待测产品进行光路校准。可选地，所述调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准，包括：沿所述第一采集单元的信号采集方向调整所述第一探针的位置；根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准。可选地，所述根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准，包括：移动所述第一探针至第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；调整所述第一采集单元，使所述第一探针的针尖与所述第一采集单元成像显示的第一目标位置重合；调整所述第一探针至第二校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述第一采集单元位于同一直线；获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置；当所述第一探针的针尖与第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元位置的校准。可选地，所述获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置，之后还包括：当所述第一探针的针尖与第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针位于第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像的步骤。可选地，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，包括：当所述第一采集单元校准完成时，将所述第一探针移动至第三校准位置；移动所述第二探针，使所述第二探针的针尖与所述第一探针的针尖抵接；根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置。可选地，所述根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：移除所述第一探针与所述第二探针。可选地，所述固定装置与待测产品固定连接时，所述待测产品的出瞳中心与所述第二探针的针尖位置重合。可选地，所述采集单元还包括第二采集单元，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信息采集方向相同；所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，之后还包括：控制所述第一探针，对所述第二采集单元进行校准；当所述第二采集单元校准完成时，根据所述第一探针，确定所述固定装置的第二测试位置；将所述固定装置移动至所述第二测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接。为实现上述目的，本申请提出一种光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置、探针以及控制器，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，其中，所述第一探针用于对所述第一采集单元进行校准，并在所述第一采集单元完成校准时，用于确定所述固定装置的所述自由端的第一测试位置；所述固定装置的所述自由端与待测产品连接，用于调整所述待测产品的位置进行光路校准；所述控制器与所述第一采集单元、所述固定装置以及所述探针通信连接，并执行权利要求1-8所述的光路校准方法，进行光路校准。可选地，所述采集单元还包括第二采集单元，所述控制器与所述第二采集单元通信连接，所述第二采集单元与所述第一采集单元的信号采集方向相同。可选地，所述第一探针的针尖高度与所述第一采集单元以及所述第二采集单元的中心高度相同。可选地，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述第一探针与所述第二探针相对设置。可选地，所述光路校准装置还包括调整台，所述调整台与所述采集单元连接，所述调整台用于调整所述采集单元的位置与角度。可选地，所述光路校准装置还包括操作平台，其中，所述探针、所述调整台均设于所述操作平台上，所述固定装置还包括固定端，所述固定端与所述操作平台固定连接。本申请提出的技术方案中，所述光路校准方法应用于光路校准装置，其中，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端。在光路校准过程中，首先通过调整所述第一探针的位置对所述第一采集单元进行校准，当所述第一采集单元完成校准时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，然后将待测产品与所述自由端固定连接，将所述自由端移动至所述第一测试位置，并对所述待测产品进行光路校准。通过采用探针与固定装置结合的方式代替标准样品进行光路校准，从而避免了现有技术中光学测量系统受制于标准样品，测量精度不高的问题。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1是本申请光路校准方法一实施例的流程示意图；图2是本申请光路校准方法又一实施例的流程示意图；图3为本申请光路校准方法又一实施例的流程示意图；图4是本申请光路校准方法又一实施例的流程示意图；图5是本申请光路校准装置的俯视图；图6是本申请光路校准装置固定装置与探针的侧视图。附图标号说明：本申请目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。需要说明，本申请实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本申请中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光路校准方法，其特征在于，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；对所述待测产品进行光路校准。

【技术特征摘要】
1.一种光路校准方法，其特征在于，所述光路校准方法应用于光路校准装置，所述光路校准装置包括采集单元、固定装置与探针，所述探针包括第一探针，所述采集单元包括第一采集单元，所述固定装置包括自由端，所述光路校准方法包括：调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准；当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置；将所述固定装置移动至所述第一测试位置，将所述固定装置与待测产品固定连接；对所述待测产品进行光路校准。2.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，所述调整所述第一探针位置，对所述第一采集单元进行校准，包括：沿所述第一采集单元的信号采集方向调整所述第一探针的位置；根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准。3.如权利要求2所述的光路校准方法，其特征在于，所述根据所述第一探针的位置调整所述第一采集单元的位置或角度，完成所述第一采集单元的校准，包括：移动所述第一探针至第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；调整所述第一采集单元，使所述第一探针的针尖与所述第一采集单元成像显示的第一目标位置重合；调整所述第一探针至第二校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像；其中，所述第二校准位置与所述第一校准位置不重合，并且所述第一校准位置、所述第二校准位置以及所述第一采集单元位于同一直线；获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置；当所述第一探针的针尖与第一目标位置重合时，完成所述第一采集单元位置的校准。4.如权利要求3所述的光路校准方法，其特征在于，获取所述第一探针的针尖在所述第一采集单元中显示的位置，之后还包括：当所述第一探针的针尖与第一目标位置不重合时，执行所述移动所述第一探针位于第一校准位置，调整所述第一采集单元，使所述第一采集单元接收到清晰的像的步骤。5.如权利要求1所述的光路校准方法，其特征在于，所述探针还包括第二探针，所述固定装置的所述自由端与所述第二探针连接，所述当所述第一采集单元校准完成时，根据所述第一探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置，包括：当所述第一采集单元校准完成时，将所述第一探针移动至第三校准位置；移动所述第二探针，使所述第二探针的针尖与所述第一探针的针尖抵接；根据所述第二探针的位置，确定所述自由端的第一测试位置。6....

【专利技术属性】
技术研发人员：董会，姚威，
申请(专利权)人：歌尔股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东,37