一种晶圆匣制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆匣，包括主体框架，所述主体框架内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨固定安装于所述主体框架的外框内侧壁上的放置架，所述放置架一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆，所述U型杆的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架端侧的两个插入孔内，所述U型杆的横杆上设置有对位点。本实用新型专利技术的目的晶圆匣方便放置晶片，且效率高。

A kind of wafer box

The utility model discloses a wafer box, which comprises a main frame, in which a multi-layer placing area is arranged. The placing area includes a placing frame fixed on the inner wall of the outer frame of the main frame by sliding rails, and a counterpoint device is arranged on one side of the placing frame. The counterpoint device includes a U-shaped bar, and the two vertical rods of the U-shaped bar are pulled and pulled together to the placing. In the two insertion holes at the end side of the rack, a pair of locations are arranged on the cross bar of the U-shaped bar. The purpose of the utility model is that the wafer box is convenient to place wafers and has high efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆匣
本技术涉及一种晶圆匣。
技术介绍
现有的常规8英寸wafercassette在装取过程中wafer容易发生碰撞，使用方便，降低工作效率，浪费时间，增加人工成本。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种晶圆匣，方便放置晶片。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种晶圆匣，包括主体框架，所述主体框架内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨固定安装于所述主体框架的外框内侧壁上的放置架，所述放置架一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆，所述U型杆的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架端侧的两个插入孔内，所述U型杆的横杆上设置有对位点。进一步的，所述主体框架内设置有15层放置区。进一步的，所述主体框架内等间距设置有15层放置区。进一步的，所述主体框架的每层的外框内侧壁上设置有凹槽，所述滑轨契合于所述凹槽内。进一步的，每层的所述滑轨延伸长度一致。进一步的，所述滑轨由螺钉固定。进一步的，所述滑轨上沿抽拉方向的末端设置有卡扣以确保滑轨在延伸至一定长度后无法继续延伸。进一步的，所述放置架包括分别对称安装于滑轨上的弧形架。进一步的，所述滑轨包括滑动配合的第一滑轨和第二滑轨，为本领域常见结构，如抽屉上实现抽拉所用的滑轨。与现有技术相比，本技术的有益技术效果：1、装有滑轨可以节省装载wafer时间，减少操作者调整时间；2、装有滑轨可消除装载wafer时发生磕碰的可能性；3、自带Notch对位装置，可抽动，不会影响机械手取片。附图说明下面结合附图说明对本技术作进一步说明。图1为本技术晶圆的的结构示意图；图2为放置区的结构示意图。附图标记说明：1、框架主体；2、外框；3、放置架；4、滑轨；5、定位点；6、U型杆。具体实施方式如图1和2所示，一种晶圆匣，包括主体框架1，所述主体框架1内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨4固定安装于所述主体框架1的外框2内侧壁上的放置架3，所述放置架3一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆6，所述U型杆6的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架3端侧的两个插入孔内，所述U型杆6的横杆上设置有对位点5。根据需要，所述主体框架1内等间距设置有15层放置区。本实施例中，所述主体框架1的每层的外框2内侧壁上设置有凹槽，所述滑轨4契合于所述凹槽内并由螺钉固定，所述滑轨上沿抽拉方向的末端设置有卡扣以确保滑轨在延伸至一定长度后无法继续延伸，且每层的所述滑轨延伸长度一致；所述滑轨4包括滑动配合的第一滑轨和第二滑轨，为本领域常见结构，如抽屉上实现抽拉所用的滑轨。所述放置架3包括分别对称安装于滑轨4上的两个弧形架。本技术的放置区一侧为可抽拉U型杆状的定位装置，U型杆6的横杆上带有Notch对位点5，用于固定wafer位置。固定好wafer位置后，可将U型杆6向外抽出，不会影响机械手取片，并且通过装有滑轨可以节省装载wafer时间，减少操作者调整时间并且可以消除装载wafer时发生磕碰的可能性。以上所述的实施例仅是对本技术的优选方式进行描述，并非对本技术的范围进行限定，在不脱离本技术设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本技术的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本技术权利要求书确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆匣，其特征在于：包括主体框架，所述主体框架内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨固定安装于所述主体框架的外框内侧壁上的放置架，所述放置架一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆，所述U型杆的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架端侧的两个插入孔内，所述U型杆的横杆上设置有对位点。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆匣，其特征在于：包括主体框架，所述主体框架内设置有多层放置区，所述放置区包括通过滑轨固定安装于所述主体框架的外框内侧壁上的放置架，所述放置架一侧设置有对位装置，所述对位装置包括U型杆，所述U型杆的两个竖杆抽拉式配合于所述放置架端侧的两个插入孔内，所述U型杆的横杆上设置有对位点。2.根据权利要求1所述的晶圆匣，其特征在于：所述主体框架内设置有15层放置区。3.根据权利要求1所述的晶圆匣，其特征在于：所述主体框架内等间距设置有15层放置区。4.根据权利要求1所述的晶圆匣，其特征在于：所述主...

【专利技术属性】
技术研发人员：褚天舒，
申请(专利权)人：湖畔光电科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32