一种改善后的蚀刻水膜铺设系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，包括铺设设备本体以及设置在铺设设备本体底部的多个花洒式喷嘴和一个预铺喷嘴；多个花洒式喷嘴均匀间隔排列分布，且预铺喷嘴设置位于在多个花洒式喷嘴的前端。本实用新型专利技术提供的改善后的蚀刻水膜铺设系统，其结构设计合理，铺设水膜量均匀，铺设效果更显著，保证后续蚀刻工艺的操作可靠性以及安全性。

An improved etching water film laying system

The utility model discloses an improved etching water film laying system, which comprises a laying device body, a plurality of flower spraying nozzles and a pre-spraying nozzle arranged at the bottom of the laying device body, a plurality of flower spraying nozzles arranged and distributed evenly at intervals, and the pre-spraying nozzles are arranged at the front end of a plurality of flower spraying nozzles. The improved etching water film laying system provided by the utility model has reasonable structure design, uniform amount of water film laying, more remarkable laying effect, and ensures the operational reliability and safety of subsequent etching process.

【技术实现步骤摘要】
一种改善后的蚀刻水膜铺设系统
本技术涉及蚀刻水膜铺设设备
，尤其涉及一种改善后的蚀刻水膜铺设系统。
技术介绍
目前，在太阳能硅电池片生产制造过程中，在蚀刻前需要将水膜均匀铺设在硅片表面。在现有技术中水膜铺设过程中，主要利用多个管式喷嘴(即依次排列的15个针管式喷嘴实施)喷射出水(即蚀刻水)形成覆盖在硅片表面上的水膜层(如图1所示)；但是研发发现现有技术中蚀刻水膜铺设装置其各个管式喷嘴出水量差异较大，铺设效果不佳，即喷射出水量差异大，水膜铺设不均匀，有时候会导致无法铺满硅片，有时候又会导致过刻隐患。同时在整体水膜铺设量过大时，水膜跌进入刻蚀槽内，稀释药液，变相增加化学品消耗量，造成浪费，加大生产成本等问题。综上，如何克服现有技术中的上述技术缺陷是本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，以解决上述问题。为了达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：本技术还提供了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，包括铺设设备本体以及设置在铺设设备本体底部的多个花洒式喷嘴和一个预铺喷嘴；多个所述花洒式喷嘴均匀间隔排列分布，且所述预铺喷嘴设置位于在多个所述花洒式喷嘴的前端。优选的，作为一种可实施方案；多个所述花洒式喷嘴和一个所述预铺喷嘴分别与所述铺设设备本体可拆卸连接。优选的，作为一种可实施方案；所述花洒式喷嘴的具体数量为三个。优选的，作为一种可实施方案；三个所述花洒式喷嘴的横向覆盖长度范围为12-13cm，且每个所述花洒式喷嘴的喷射覆盖面为圆形面。优选的，作为一种可实施方案；所述花洒式喷嘴的喷射工作直径为5cm。优选的，作为一种可实施方案；所述预铺喷嘴的喷射覆盖面为圆形面。优选的，作为一种可实施方案；所述预铺喷嘴的喷射工作直径为直径16cm。与现有技术相比，本技术实施例的优点在于：本技术提供的一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，分析上述改善后的蚀刻水膜铺设系统的主要结构可知：上述改善后的蚀刻水膜铺设系统，其主要由铺设设备本体以及设置在铺设设备本体底部的多个花洒式喷嘴和一个预铺喷嘴等结构构成；多个所述花洒式喷嘴均匀间隔排列分布，且所述预铺喷嘴设置位于在多个所述花洒式喷嘴的前端。本技术提供的一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，其取消了针管式喷头，同时采用了花洒式喷头进行代替，代替的同时还增加了一个预铺喷嘴的设计；上述花洒式喷头构成主水膜铺设部分，该预铺喷嘴可以构成预铺水膜部分；在具体操作过程中，该预铺水膜与主水膜铺设时间可以同时进行，只是预铺水膜是工作在主水膜工作硅片的前一排硅片，工作时长可以控制在1s内。其中上述预铺水膜的作用是将整个硅片表面先喷洒一遍水膜，然后再利用主水膜部分的花洒式喷头实施补充喷射，多个花洒式喷头的均匀分布可以保证铺设的蚀刻水膜均匀覆盖整个硅片表面，消除水膜铺不满的现象，降低过刻的风险；同时节省了水膜的铺设量，减少刻蚀槽水膜滑落量而稀释药液，降低化学品耗量，节约成本。综上，本技术提供的一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，其结构设计合理，铺设水膜量均匀，铺设效果更显著，保证后续蚀刻工艺的操作可靠性以及安全性。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术中的针管式铺设系统的工作效果结构示意图；图2为本技术实施例一提供了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统其工作效果结构示意图；图3为本技术实施例一提供了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统中主水膜铺设效果示意图；图4为本技术实施例一提供了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统中预铺水膜铺设效果示意图。标号：铺设设备本体1；花洒式喷嘴2；预铺喷嘴3；硅片A。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，某些指示的方位或位置关系的词语，其仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面通过具体的实施例子并结合附图对本技术做进一步的详细描述。实施例一参见图2、图3以及图4，本技术实施例一提供了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，包括铺设设备本体1以及设置在铺设设备本体1底部的多个花洒式喷嘴2和一个预铺喷嘴3；多个所述花洒式喷嘴2均匀间隔排列分布，且所述预铺喷嘴3设置位于在多个所述花洒式喷嘴2的前端。分析上述改善后的蚀刻水膜铺设系统的主要结构可知：上述改善后的蚀刻水膜铺设系统，其主要由铺设设备本体以及设置在铺设设备本体底部的多个花洒式喷嘴和一个预铺喷嘴等结构构成；多个所述花洒式喷嘴均匀间隔排列分布，且所述预铺喷嘴设置位于在多个所述花洒式喷嘴的前端。上述改善后的蚀刻水膜铺设系统，其取消了针管式喷头，同时采用了花洒式喷头进行代替，代替的同时还增加了一个预铺喷嘴的设计；上述花洒式喷头构成主水膜铺设部分，该预铺喷嘴可以构成预铺水膜部分；在具体操作过程中，该预铺水膜与主水膜铺设时间可以同时进行，只是预铺水膜是工作在主水膜工作硅片A的前一排硅片A，工作时长可以控制在1s内。其中上述预铺水膜的作用是将整个硅片表面先喷洒一遍水膜，然后再利用主水膜部分的花洒式喷头实施补充喷射，多个花洒式喷头的均匀分布可以保证铺设的蚀刻水膜均匀覆盖整个硅片表面，消除水膜铺不满的现象，降低过刻的风险(即预铺水膜可以使水膜快速的扩展整个硅片表面，使硅片表面各个位置的水膜量更加均匀)；同时节省了水膜的铺设量，减少刻蚀槽水膜滑落量而稀释药液，降低化学品耗量，节约成本。水膜可以均匀覆盖整个硅片表面，消除水膜铺不满的现象，降低过刻的风险；综上，本技术提供的一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，其结构设计合理，铺设水膜量均匀，铺设效果更显著，保证后续蚀刻工艺的操作可靠性以及安全性。下面对本技术实施例一提供了一种改善后的蚀刻水膜铺设系统的具体结构以及具体技术效果做一下详细说明：优选的，作为一种可实施方案；多个所述花洒式喷嘴2和一个所述预铺喷嘴3分别与所述铺设设备本体1可拆卸连接。需要说明的是，上述铺设设备本体是主要的结构设备，其可以通过花洒式喷嘴以及预铺喷嘴实施蚀刻水膜的铺设；为了便于上述花洒式喷嘴以及预铺喷嘴进行维修以及安装拆卸方便，可以将花洒式喷嘴和预铺喷嘴与铺设设备本体的连接关系，调整为可拆卸连接。优选的，作为一种可实施方案；所述花洒式喷嘴2的具体数量为三本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，其特征在于，包括铺设设备本体以及设置在铺设设备本体底部的多个花洒式喷嘴和一个预铺喷嘴；多个所述花洒式喷嘴均匀间隔排列分布，且所述预铺喷嘴设置位于在多个所述花洒式喷嘴的前端。

【技术特征摘要】
1.一种改善后的蚀刻水膜铺设系统，其特征在于，包括铺设设备本体以及设置在铺设设备本体底部的多个花洒式喷嘴和一个预铺喷嘴；多个所述花洒式喷嘴均匀间隔排列分布，且所述预铺喷嘴设置位于在多个所述花洒式喷嘴的前端。2.如权利要求1所述的改善后的蚀刻水膜铺设系统，其特征在于，多个所述花洒式喷嘴和一个所述预铺喷嘴分别与所述铺设设备本体可拆卸连接。3.如权利要求1所述的改善后的蚀刻水膜铺设系统，其特征在于，所述花洒式喷嘴的具体数量为三个。4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱纹哲，张彬，徐帅，费正洪，
申请(专利权)人：盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32