【技术实现步骤摘要】
PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构
本技术涉及PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构,应用于传导活塞环PVD真空镀中阴极所需的电流。
技术介绍
活塞环PVD真空镀设备中阴极偏压电流传导机构为弹簧压紧接触式,它由铜棒、支撑块、对折弯导电片、耐高温弹簧、压块组成。铜棒、支撑块、对折弯导电片、压块均为紫铜材料。铜棒与支撑块下表面相垂直并通过螺丝紧固;对折弯导电片一端贴在支撑块上表面并用螺丝紧固。高温弹簧位于对折弯导电片内,两端分别抵在对折弯导电片弯折前后两部分上。压块上表面与工装架底板下表面通过螺丝紧固,压块下表面抵在对折弯导电片另一端上表面。使用时,进入镀室内的工装架(底板)下移至升降台控制的高度,依靠自重将高温弹簧压缩,使对折弯导电片下部与支撑块紧密接触,上部与压块紧密接触,将铜棒与压块之间的电流接通。工作时,电流由铜棒经支撑块、对折弯导电片、压块传导至工装架底板(阴极)。工作结束,升降台升起,工装架底板恢复到原高度,电路切断,工装架底板自由移出到炉外。这种传导结构导电好坏很大部分取决于对折弯导电片与支撑块、压块的接触状态。高温弹簧需在450℃的环境中连续工作20小时,长时间处在高温环境中,弹簧易出现疲劳,长度逐渐变短,弹力逐步减弱,弹力不足,直接影响着对折弯导电片与支撑块、压块间的接触状况,造成发热,出现电压不稳或对折弯导电片熔化的现象。实际使用过程中还会因此问题造成整炉报废,带来经济上的损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种电流传导稳定的,避免出现发热熔化现象的PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构。本技术的目的可以通过下述技术方案来达到:PVD真空镀设 ...
【技术保护点】
1.PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构,包括铜棒(5)和工装架底板(1),其特征是还包括单直角铜排、双直角长铜排;单直角铜排前段(7)与工装架底板(1)下表面通过螺栓紧固;单直角铜排后段(12)与双直角长铜排前段(11)通过锁紧螺栓(10)连接;双直角长铜排后段(8)与铜棒(5)上端侧部铣面通过螺丝紧固;双直角长铜排中段(9)处于水平面内。
【技术特征摘要】
1.PVD真空镀设备阴极偏压电流传导机构,包括铜棒(5)和工装架底板(1),其特征是还包括单直角铜排、双直角长铜排;单直角铜排前段(7)与工装架底板(1)下表面通过螺栓紧固...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐其华,
申请(专利权)人:华闽南配集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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