一种动态复合图形制造技术

一种动态复合图形，动态复合图形包含主图形和衍生图形，主图形位于复合图层，复合图层具有共用参数；共用参数用于设置衍生图形的图层、设置主图形与衍生图形之间的关系，共用参数为所有动态复合图形的公共参数；动态复合图形具有私有参数，私有参数为每个动态图形的个性参数。本发明专利技术是利用动态复合图形同时绘制金属及通孔互连，以更加提升版图设计效率。且本发明专利技术提供的动态复合图形具有很好的工艺移植性。

A Kind of Dynamic Composite Graphics

A dynamic composite graphics includes the main graphics and derivative graphics. The main graphics are located in the composite layer, and the composite layer has common parameters. The common parameters are used to set the layer of the derivative graphics, to set the relationship between the main graphics and the derivative graphics, and the common parameters are the common parameters of all dynamic composite graphics. The dynamic composite graphics have private parameters. Individuality parameters of each dynamic graph. The invention utilizes dynamic composite graphics to draw metal and through-hole interconnections at the same time to improve layout design efficiency. The dynamic composite graphics provided by the invention have good process portability.

【技术实现步骤摘要】
一种动态复合图形
本专利技术涉及集成电路版图设计领域，特别用于版图设计中复合图形的绘制。
技术介绍
在现有的集成电路版图绘制中，金属互连的绘制仅是单层绘制。如果存在两层版图图形重叠且使用通孔互连的情况时，设计者通常是在绘制完第一层版图图形后，在其上再绘制通孔，之后再绘制第二层版图图形。这种版图绘制方式效率差、可能会出现品质问题等问题。为提高版图绘制效率，在绘制器件或阵列孔等重复结构时，会使用工艺厂商提供的工艺数据包（ProcessDesignKit，PDK）进行参数化单元绘制。PDK是工艺厂商基于工艺开发的一套包括器件信息、工艺信息和验证文件的设计数据包。PDK库中包含了多种类型的参数化单元（ParameterizedCell，Pcell），例如晶体管、电阻、孔单元等Pcell单元。Pcell单元内部的各个版图层次满足工艺规则的要求，仅仅修改Pcell参数，就可以生成不同尺寸的器件或阵列孔，以加快绘制版图。图1a中为使用EDA工具Cadence软件添加Pcell阵列孔结构时的用户界面，界面中参数说明在当前版图中添加2行2列的M1_M2孔单元，孔宽度为0.5um，长度为0.5um，在X方向和Y方向的孔中心间距均为0.95um。由此可见，使用参数化单元在Cadence软件中，只能添加阵列形式的孔。图1b中，阵列孔11和12是使用现有的PDK库生成的阵列孔，包含金属二层120,121，金属一层110,111，连接孔130,131。然而，现有的孔单元和阵列孔无法绘制带有拐点的阵列连接孔。例如，图2a中，带有拐点的金属一层的等宽线（Path）210，其上存在相同形状的金属二层，且金属一层与金属二层之间存在连接孔时，现有的Pcell无法直接绘制。对于有经验的工程师，可能会首先创建几个单行或单列的Pcell单元进行拼接。图2b中，在绘制带有拐点的双层金属互连211时，用三段1行4列的阵列孔211a,211b,211c进行拼接。对类似211结构的多层互连时，通过修改参数或孔单元拼接的方式进行绘制，这种方式的优点是拼接出来的单元满足DRC规则，缺点是步骤繁琐，技术要求较高。在版图设计中，存在大量的“复合图形”，如GuardRing结构、两层金属之间的阵列孔等。在EDA软件中绘制这些图形时很麻烦。以GuardRing为例，先要画出金属线，然后要画通孔，再绘制注入层等。这些图形都需要遵循设计规则。由于版图工程师的经验参差不齐，绘制出来的GuardRing品质也不一致。对于有经验的工程师，可能会首先创建几个相应的Pcell单元，对不同形状的GuardRing，通过修改参数或单元拼接的方式进行绘制，这种方式的优点是拼接出来的单元满足DRC规则，缺点是步骤繁琐，技术要求较高。对于不规则的GuardRing及类似结构只能通过单元拼接实现，绘制不灵活。PDK库中的Pcell单元是跟固定工艺绑定的。例如，某厂商的0.5um工艺的PDK库，其中的Pcell内部的间距、宽度等仅满足0.5um工艺规则的要求。当芯片进行升级改用0.35um工艺时，则需要重新设置0.18工艺的PDK库，制作新的Pcell单元。由此可见Pcell单元不能随工艺进行变迁。工艺发生变化时，需要重新制定Pcell。无论是芯片正向设计还是反向设计都存在这些问题。在绘制互连线孔时，PDK库会给定可以绘制阵列孔的孔单元，用户不能自行设置层次进行pcell阵列孔的开发。PDK库中的阵列孔，也仅能设置X*Y行的阵列孔形式。对于单行孔的L型互连、U型互连、口型互连、非阵列形式互连等多使用Path线绘制的图形，需要使用Pcell的阵列孔单元进行拼接，影响版图设计速度。现有版图绘制方法，也无法满足各层均为path线形式的复合图形。同时，阵列孔与固定工艺结合，不同的工艺无法重复使用。
技术实现思路
本专利技术提供一种动态复合图形，可以加速绘制金属互连。本专利技术提供一种动态复合图形，在绘制Path线和矩形的同时产生其他衍生图形，加快版图绘制。本专利技术提供的一种动态复合图形，不与工艺绑定，相同的复合图形可用于不同的工艺，只需要修改复合图层参数即可。本专利技术提供一种动态复合图形，通过复合图层参数的修改可以使复合图形应用于不同工艺。本专利技术提供一种动态复合图形用于解决多层关系图层的绘制，在绘制Path线、矩形、多边形这些主图形的同时，可以动态生成与其存在关系的衍生图形，这些衍生图形可以满足设计规则的要求。本专利技术所提供的动态复合图形中，每个动态复合图形存在复合图层参数，复合图层参数可以对主图形所在版图层和衍生图形所在的版图层之间的关系进行设置。通过修改复合图层参数使动态复合图形应用于不同的工艺。每个动态复合图形可以存在私有参数，私有参数可以对单个动态复合图形进行个性设置。本专利技术提供的一种动态复合图形，对主图形进行编辑操作后，衍生图形依据主图形的变化而变化。附图说明图1a为现有技术中一种创建阵列孔的用户界面；图1b为使用现有技术创建的阵列孔；图2a为版图中一种Path线的图形示意图；图2b为使用现有技术拼接的阵列孔；图3a为本专利技术的一种动态复合图形中的主图形；图3b为本专利技术的一种动态复合图形中的衍生图形；图4为本专利技术的复合图层的参数表；图5a为本专利技术的一种动态复合图形中的主图形；图5b为本专利技术的一种动态复合图形中的衍生图形一；图5c为本专利技术的一种动态复合图形中的衍生图形二；图6a为本专利技术的使用两种复合图层绘制的两种衍生图形；图6b为本专利技术的一种复合图层参数表；图6c为本专利技术的另一种复合图层的参数表；图6d为本专利技术的一种复合图层的共有参数表；图7a为本专利技术的具有不同私有参数的动态复合图形；图7b为本专利技术的一种复合图层的私有参数表；图8a为本专利技术设置私有参数后的衍生图形一；图8b为本专利技术设置私有参数后的衍生图形二；图9为本专利技术动态复合图形的私有参数属性页；图10a为本专利技术的一种矩形复合图形中的主图形；图10b为本专利技术的一种矩形复合图形中的衍生图形；图11为本专利技术的一种动态复合图形的生成方法；图12为本专利技术的另一种动态复合图形的生成方法。具体实施方式本专利技术使用动态复合图形（DynamicCompositeShapes，简称DCS）用于表示这些具有规律和相互关系的多层图形。动态复合图形包括主图形和衍生图形，复合图层用于创建主图形，衍生图层用于创建衍生图形。主图形主要用于产生衍生图形，主图形可以为虚拟图形，并不用于实际生产制作，因此在绘制动态复合图形的时候存在两种显示形式。一种显示形式是在执行主图形的选中、拉伸等编辑操作时，提示主图形的全部或部分边界；另一种显示形式是为使得版图界面简洁清晰，可以不显示主图形，只显示衍生图形；其中主图形通常会与部分衍生图形中心对齐。每一个DCS都有一个“主图形”和至少一个“衍生图形”。DCS的“衍生图形”可以根据“主图形”自动生成出来。例如，一个GuardRing的主图形是一个Path线，而GuardRing上的孔和金属线可以根据这个Path线自动生成出来。每一个DCS都是用一个Tcl程序或者其他程序自动绘制出来。这个程序存放在技术文件库中的一个Pcell或Hcell单元或其他形式的参数化单元中。Hcell是一种类似Pcell的单元。用户首先在界面中输入复合图层的参数：如图层层号、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种动态复合图形，其特征在于，动态复合图形包含主图形和衍生图形，主图形位于复合图层，衍生图形位于衍生图层，依据主图形轨迹动态形成衍生图形，所述动态复合图形中包含至少一个衍生图形。

【技术特征摘要】
1.一种动态复合图形，其特征在于，动态复合图形包含主图形和衍生图形，主图形位于复合图层，衍生图形位于衍生图层，依据主图形轨迹动态形成衍生图形，所述动态复合图形中包含至少一个衍生图形。2.根据权利要求1所述的动态复合图形，所述复合图层具有复合图层参数。3.根据权利要求2所述的动态复合图形，所述复合图层参数用于设置衍生图形的版图层信息或主图形与衍生图形之间的关系，其中，复合图层参数为所有动态复合图形的公共参数。4.一种动态复合图形，其特征在于，动态复合图形包含主图形和衍生图形，主图形位于复合图层，衍生图形位于衍生图层，依据主图形轨迹动态形成衍生图形，所述动态复合图形中包含至少一个衍生图形，所述复合图层具有共用参数。5.根据权利要求4所述的动态复合图形，所述共用参数用于设置衍生图形的版图层信息或主图形与衍生图形之间的关系，其中，共用参数为所有动态复合图形的公共参数。6.根据权利要求5所述的动态复合图形，所述动态复合图形具有私有参数，所述私有参数为每个动态复合图形的个性参数。7.根据权利要求6所述的动态复合图形，所述私有参数用于设置每个动态复合图形的信息，所述私有参数...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁柯，邢彦杰，熊伟，
申请(专利权)人：北京芯愿景软件技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11