一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元；本发明专利技术提供的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置，通过对探针台放置cleaning unit的底座结构进行改造，做成抽屉式柱状体，来达到可以存放多个cleaning unit的目的，多个cleaning unit上可以放置不同的砂纸类型，方便随时更换进行实验对比。

A Method and Device for Improving the Efficiency of Probe Protection on the Test Probe Platform

The invention discloses a method and device for improving the protection efficiency of probes on the test probe platform. The base of the grinding needle unit is designed as a drawer-type cylinder. The outer ring of the drawer-type cylinder is fixed on three sides except the front side, which is perpendicular to the base, and the middle area is separated by a separator in the middle of the iron plate for placing the grinding needle unit on the base. A revolving iron bar is used to fix all the needle grinding units on the probe table; a method and device for improving the protection efficiency of the probe on the test probe table are provided in the present invention. Through the modification of the base structure of the cleaning unit placed on the probe table, a drawer column is made to achieve the purpose of storing multiple cleaning units, and different sands can be placed on multiple cleaning units. Paper type, easy to replace at any time for experimental comparison.

【技术实现步骤摘要】
一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置
本专利技术涉及集成电路在晶圆测试
，尤其涉及一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法及装置。
技术介绍
集成电路在晶圆测试阶段，必需要用到探针台和探针卡来进行测试，探针卡在不断的测试过程中，会沾上铝屑或是一些其他的垃圾，此时需要磨针处理，去掉针尖上的杂物，使针卡针尖保持稳定状态。在一片晶园测试过程中，磨针是比较频繁的动作，因此消耗砂纸也是比较快的，经常4～5天就可能需要更换砂纸，更换砂纸要求精度较高，需要找设备相关人员进行更换。现有技术一：一个cleaningunit只能放置一张砂纸；目前cleaningunit上只能放置一张砂纸，如果砂纸用完后，需要将砂纸撕下，重新粘贴一张新的砂纸，粘贴新的砂纸非常费时，需要慢慢的将砂纸贴平。现有技术二：更换需要专业人士进行操作；因为探针卡需要的精度非常高，整个平面要保持一致，要确保更换的砂纸不会导致探针卡损坏，所以更换砂纸的动作需要专业的设备人员进行更换，节假日期间无法第一时间更换，影响生产效率。本专利技术通过改造探针台里的放置cleaningunit的构造，使得更换砂纸更方便，并且能存放不同类型的砂纸进行实验，降低了操作难度，无需专业人士也能更换。砂纸：用于打磨探针卡针尖的设备。探针卡：晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口。探针台：晶圆测试中完成自动移动晶圆的设备，并和测试机、工作站相连组成一套测试系统。Cleaningunit：放置在探针台里的磨针单元，表面粘贴砂纸。
技术实现思路
本专利技术为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其中，具体技术方案为：将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元，当要更换磨针单元时，将铁棒转到下方，这样就可以抽出磨针单元，将最上方的磨针单元替换掉，然后再将铁棒转到上方固定所有磨针单元，更换完成后，用探针台自带的校验功能重新调整整个磨针单元的高度，即可继续测试。上述的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其中：当需要更换磨针单元时，将旋转固定棒转到下方，此时就可以通过磨针单元上的把手将磨针单元抽出，替换最上层的磨针单元，将原来的磨针单元交给设备人员，等待重新粘贴好砂纸再放入到探针台里以备下次用，替换的磨针单元可以选择同类型的砂纸，也可以选择不同类型的砂纸，来实验磨针的效果；当磨针单元替换好后，再将旋转固定棒转回到12点钟方向，即可固定住所有的磨针单元，然后再通过探针台自带的检验高度方式重新调整整个磨针单元高度，即可继续量产。上述的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法中应用的装置，具体为：抽屉式柱状体设置4层结构，用3块隔板隔开，底座和3块隔板上各放置了一个磨针单元，每个磨针单元上有一张砂纸，不同颜色代表不同的砂纸类型，每个磨针单元前方有个小把手，用于抽出磨针单元，在底座上固定了一个可旋转的铁棒，当需要更换磨针单元时将铁棒转到下方，抽出磨针单元，替换掉最上层的磨针单元，然后将铁棒转到上方来固定所有磨针单元。本专利技术相对于现有技术具有如下有益效果：本专利技术就是为了解决更换砂纸效率低并且需要专业性强的人来更换的问题。通过对探针台放置cleaningunit的底座结构进行改造，做成抽屉式柱状体，来达到可以存放多个cleaningunit的目的，多个cleaningunit上可以放置不同的砂纸类型，方便随时更换进行实验对比，更换时只需将最上层的cleaningunit去掉，将下面新的cleaningunit替换上去即可，再使用探针台已有的调整高度功能就可以使用了，也不需要非常专业的人士去进行更换，节假日期间操作工就可自行进行更换。附图说明图1为现有cleaningunit和底座的结构示意图。图2为本专利技术的cleaningunit和底座的结构示意图。图3为将铁棒旋转到下方，可抽出cleaningunit的图示。图中：1砂纸2磨针单元3底座4把手一5把手二6把手三7把手四8旋转固定棒9磨针单元一10砂纸一11隔板一12磨针单元二13砂纸二14隔板二15磨针单元三16砂纸三17隔板三具体实施方式当需要更换cleaningunit时，将旋转固定棒转到下方，此时就可以通过cleaningunit上的把手将cleaningunit抽出，替换最上层的cleaningunit，将原来的cleaningunit交给设备人员，等待重新粘贴好砂纸再放入到探针台里以备下次用，替换的cleaningunit可以选择同类型的砂纸，也可以选择不同类型的砂纸，来实验磨针的效果；当cleaningunit替换好后，再将旋转固定棒转回到12点钟方向，即可固定住所有的cleaningunit，然后再通过探针台自带的检验高度方式重新调整整个cleaningunit高度，即可继续量产。本专利技术通过改造探针台里cleaningunit这块的构造，操作工能自己更换砂纸，不必等待设备专业人员进行更换，这样在节假日或晚上需要更换时，可节省大量时间，等机器空余时，再将用完的砂纸替换掉，将cleaningunit放入到空余的隔板里，以备下次用。本申请方案中，底座3上设置4个磨针单元，分别是磨针单元2、磨针单元一9、磨针单元二12、磨针单元三15，每个磨针单元之间设置隔板，分别是隔板一11、隔板二14、隔板三17；每个磨针单元上设置砂纸；图1为现有cleaningunit和底座的构造，cleaningunit是靠底座上的吸力固定在底座上的，在cleaningunit表面粘贴了砂纸；图2为本专利技术的cleaningunit和底座的构造，图例为4层结构，用3块隔板隔开，底座和3块隔板上各放置了一个cleaningunit，每个cleaningunit上有一张砂纸，不同颜色代表不同的砂纸类型，每个cleaningunit前方有个小把手，用于抽出cleaningunit，在底座上固定了一个可旋转的铁棒，当需要更换cleaningunit时将铁棒转到下方，抽出cleaningunit，替换掉最上层的cleaningunit，然后将铁棒转到上方来固定所有cleaningunit；图3为将铁棒旋转到下方，可抽出cleaningunit的图示。将放置cleaningunit的底座改成抽屉式柱状体，最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置cleaningunit，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有cleaningunit，当要更换cleaningunit时，将铁棒转到下方，这样就可以抽出cleaningunit，将最上方的cleaningunit替换掉，然后再将铁棒转到上方固定所有cleaningunit。更换完成后，用探针台自带的校验功能重新调整整个cleaningunit的高度，即可继续测试。虽然本专利技术已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本专利技术，任何本领域技术人员，在不脱离本专利技术的精神和范围内，当可作些许的修改和完善，因此本专利技术的保护范围当以权利要求书所界定的为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其特征在于：将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元，当要更换磨针单元时，将铁棒转到下方，这样就可以抽出磨针单元，将最上方的磨针单元替换掉，然后再将铁棒转到上方固定所有磨针单元，更换完成后，用探针台自带的校验功能重新调整整个磨针单元的高度，即可继续测试。

【技术特征摘要】
1.一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其特征在于：将放置磨针单元的底座设计成抽屉式柱状体，抽屉式柱状体最外圈除了正前方那面，其余三面用铁板固定起来，垂直于底座，在铁板中间用隔板将中间区域等分出来，用于放置磨针单元，在底座上用一个可旋转的铁棒来固定所有磨针单元，当要更换磨针单元时，将铁棒转到下方，这样就可以抽出磨针单元，将最上方的磨针单元替换掉，然后再将铁棒转到上方固定所有磨针单元，更换完成后，用探针台自带的校验功能重新调整整个磨针单元的高度，即可继续测试。2.如权利要求1所述的一种提高在测试探针台上对探针保护效率的方法，其特征在于：当需要更换磨针单元时，将旋转固定棒转到下方，此时就可以通过磨针单元上的把手将磨针单元抽出，替换最上层的磨针单元，将原来的磨针单元交给设备人员，等待重新...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉龙，王华，凌俭波，马健，王锦，叶建明，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31