The embodiment of the present invention provides a 2.5D interdigital electrode fabrication method and an interdigital electrode. On a silicon wafer with an electron beam evaporating Cr/Au seed layer, the rotary pin is exposed and developed on the photoresist of the seed layer to form the required electrode pattern. Then the pulse electroplating is carried out in the gold plating bath, and the thickness of the interdigital electrode is controlled by adjusting the plating time as needed. The purpose is to increase the thickness of the electrode, and then fix the object to be measured between the electrodes, so that the electric field completely covers the object to be measured, and the arc electric field formed by the edge effect between the electrodes changes into parallel electric field, which makes the detection signal more stable and ultimately improves the detection limit of the detection electrode. On the other hand, because of the increase of the thickness of the electrode, the side wall of the electrode can be used as a channel for microfluidic control. Microfluidic control system combines with automation of detection.
【技术实现步骤摘要】
一种2.5D叉指电极制作方法和叉指电极
本专利技术实施例涉及化学传感
,更具体地,涉及一种2.5D叉指电极制作方法和叉指电极。
技术介绍
平面电极作为电化学传感器件,因其灵敏度高、易于小型化等特点被广泛关注。而且,电化学响应可以实现实时检测。而叉指电极指指状或者梳妆的平面内有周期性图案的电极,作为最广泛应用的平面电极之一,其有着平面电极传感的优秀特性,在非破坏性测试、电子通讯、化学测试等广泛应用。随着健康观念的提升,人们越来越重视食品安全,环境问题以及医学的发展。目前食品安全检测以及环境水样等常规的分析方法有色谱法、质谱法等传统方法。虽然这些方法测定结果准确可靠,但存在着仪器昂贵、操作复杂、分析费用高等不足。而电化学传感器作为生物传感器的一种亦可广泛应用在上述的三个领域当中。微叉指电极阻抗生物传感器将微叉指电极作为信号转换器,是一种应用广泛的两电极结构形式,具有自身阻抗较低,检测耗时短,响应迅速,成本较低,操作简单,可实现自动化等突出优势,广泛应用于电化学阻抗生物传感器研究。微叉指电极传感器工作的原理是:在两电极两端加小振幅正弦激励信号,产生穿过被测物的电场来改变传感器的阻抗,从而得到被测物浓度与阻抗大小变化的关系进而完成分析。阻抗变化来自电极表面的待测物变化,如抗体、抗原结合;受体与DNA、蛋白质结合;细菌、细胞增殖以及信号标记活性酶因其的介质离子浓度变化;重金属离子的固定引起的离子浓度变化。目前在检测中所用的叉指电极,大部分制备方法是用曝光光刻胶产生电极图形,然后用电子束蒸发沉积金电极部分,最终用剥离的方法完成全部制作。这样传统的微纳加工方法,的 ...
【技术保护点】
1.一种2.5D叉指电极制作方法,其特征在于,包括:在硅衬底表面沉积种子层,在所述种子层表面旋涂厚度大于1μm的光刻胶,并进行曝光,得到包含叉指电极图案的硅片;对所述硅片显影后进行脉冲电镀,得到500nm~2μm厚度的叉指电极;去除光刻胶,并将叉指电极外的种子层去除。
【技术特征摘要】
1.一种2.5D叉指电极制作方法,其特征在于,包括:在硅衬底表面沉积种子层,在所述种子层表面旋涂厚度大于1μm的光刻胶,并进行曝光,得到包含叉指电极图案的硅片;对所述硅片显影后进行脉冲电镀,得到500nm~2μm厚度的叉指电极;去除光刻胶,并将叉指电极外的种子层去除。2.根据权利要求1所述的2.5D叉指电极制作方法,其特征在于,在硅衬底表面沉积种子层,具体包括:通过电子束蒸发方法在所述硅衬底上沉积3nm厚的Cr种子层和10nm厚的Au种子层。3.根据权利要求1所述的2.5D叉指电极制作方法,其特征在于,在所述种子层表面旋涂厚度大于1μm的光刻胶,具体包括:将沉积种子层后的硅片放入匀胶机中,在所述种子层表面旋涂厚度大于1μm的紫外光刻胶;随后置于恒温热板上进行前烘。4.根据权利要求3所述的2.5D叉指电极制作方法,其特征在于,并进行曝光,具体包括:用紫外曝光机进行曝光,并将曝光后的硅片置于恒温热板上进行后烘。5.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:孟庆一,魏淑华,朱效立,张静,
申请(专利权)人:北方工业大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
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