弹性波滤波器、弹性波器件、分波器以及通信装置制造方法及图纸

SAW滤波器具有压电基板、串联臂和并联谐振部。串联臂包含位于压电基板上的一个以上的串联谐振部。并联谐振部位于压电基板上，和串联臂构成梯子型滤波器。并联谐振部具有并联谐振器和电容元件。并联谐振器包含位于压电基板上的IDT电极以及位于其两侧的一对反射器。电容元件与并联谐振器并联连接。电容元件的电容是并联谐振器的IDT电极的电容的0.8倍以上。并联谐振部的反谐振频率与谐振频率之差小于并联谐振器的反谐振频率与谐振频率之差。

Elastic Wave Filter, Elastic Wave Device, Wave Divider and Communication Device

The SAW filter has a piezoelectric substrate, a series arm and a parallel resonant part. The series arm consists of more than one series resonant part located on the piezoelectric substrate. The parallel resonant part is on the piezoelectric substrate, and a ladder filter is composed of a series arm. Parallel resonator has parallel resonator and capacitor element. Parallel resonators consist of IDT electrodes on a piezoelectric substrate and a pair of reflectors on both sides. The capacitive element is connected in parallel with the parallel resonator. The capacitance of the capacitor element is more than 0.8 times that of the IDT electrode of the parallel resonator. The difference between the antiresonance frequency and the resonance frequency of the parallel resonator is smaller than that of the antiresonance frequency and the resonance frequency of the parallel resonator.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波滤波器、弹性波器件、分波器以及通信装置
本公开涉及利用弹性波对信号进行滤波的弹性波滤波器、包含该弹性波滤波器的弹性波器件、分波器以及通信装置。弹性波例如是声表面波(SAW：surfaceacousticwave)。
技术介绍
作为弹性波滤波器，已知将多个弹性波谐振器连接为梯子型的梯子型滤波器(专利文献1)。在专利文献1中，对弹性波谐振器并联连接电容部。此外，在专利文献1中提到，通过设置这样的电容部，能够在不使谐振频率变化的情况下，将反谐振频率接近于谐振频率，减小谐振频率与反谐振频率之差Δf。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2001-345675号公报
技术实现思路
本公开的一方式所涉及的弹性波滤波器具有：压电基板、串联臂和一个以上的并联谐振部。所述串联臂包含位于所述压电基板上的一个以上的串联谐振部。所述一个以上的并联谐振部位于所述压电基板上，与所述串联臂构成梯子型滤波器。所述一个以上的串联谐振部以及所述一个以上的并联谐振部之中的任意一个即第1谐振部具有第1谐振器和第1电容部。所述第1谐振器包含位于所述压电基板上的IDT电极以及位于其两侧的一对反射器。所述第1电容部与所述第1谐振器并联连接。所述第1电容部的电容是所述第1谐振器的IDT电极的电容的0.8倍以上。所述第1谐振部的反谐振频率与谐振频率之差小于所述第1谐振器的反谐振频率与谐振频率之差。本公开的一方式所涉及的弹性波器件具有：上述的弹性波滤波器、安装有所述弹性波滤波器的安装基板。所述安装基板具有：与所述多个基准电位端子接合的多个焊盘；与所述多个焊盘连接的多个布线；和经由所述多个布线而与所述多个焊盘连接的多个外部端子。所述多个焊盘包含从该多个焊盘到所述多个外部端子未相互短路的两个焊盘。所述两个基准电位端子的一方与所述两个焊盘的一方连接。所述两个基准电位端子的另一方与所述两个焊盘的另一方连接。本公开的一方式所涉及的分波器具有：天线端子；对发送信号进行滤波并输出到所述天线端子的发送滤波器；和对来自所述天线端子的接收信号进行滤波的接收滤波器。所述发送滤波器以及所述接收滤波器的至少一方包含上述的弹性波滤波器。本公开的一方式所涉及的通信装置具有：天线；在所述天线连接所述天线端子的上述的分波器；和连接于所述发送滤波器以及所述接收滤波器的IC。附图说明图1是表示SAW谐振器的结构的俯视图。图2是示意性地表示包含图1的SAW谐振器的SAW滤波器的结构的俯视图。图3的(a)是示意性地表示包含图2的SAW滤波器的分波器的剖视图，图3的(b)是示意性地表示分波器的电路的一部分的图。图4是表示包含图3的分波器的通信装置的示意图。图5的(a)、图5的(b)、图5的(c)以及图5的(d)是表示模拟计算结果的图。图6是SAW滤波器的变形例的示意图。图7是表示图2的SAW滤波器与另一变形例的SAW滤波器的频率特性的模拟计算结果的图。具体实施方式以下，参照附图来对本公开的实施方式进行说明。另外，以下的说明中使用的附图是示意性的，附图上的尺寸比率等不必与现实的一致。针对相同或者类似的结构，如“第1梳齿电极11A”、“第2梳齿电极11B”那样，可能对相同名称赋予相互不同的字母来称呼，此外，在这种情况下，也可能简称为“梳齿电极11”并不区分这些。(SAW谐振器的结构)图1是表示实施方式所涉及的SAW滤波器51(图2)中使用的SAW谐振器1的结构的俯视图。SAW谐振器1(SAW滤波器51)可以将任意方向设为上方或者下方，但在以下的说明中，为了方便，定义包含D1轴、D2轴以及D3轴的正交坐标系，将D3轴的正侧(图1的纸面近前侧)作为上方，使用上表面等的用语。另外，D1轴被定义为与沿着后述的压电基板3的上表面(纸面近前侧的面。通常是最宽的面(主面)。)传播的SAW的传播方向平行，D2轴被定义为与压电基板3的上表面平行并且与D1轴正交，D3轴被定义为与压电基板3的上表面正交。SAW谐振器1构成所谓的1端口SAW谐振器，例如，若从示意性地表示的第1端子31A以及第2端子31B的一方输入规定频率的电信号则产生谐振，则将产生了该谐振的信号从第1端子31A以及第2端子31B另一方输出。作为这样的1端口SAW谐振器的SAW谐振器1例如具有压电基板3、和被设置在压电基板3上的谐振器电极部5。谐振器电极部5具有IDT电极7、和位于IDT电极7的两侧的一对反射器9。压电基板3例如包含具有压电性的单晶。单晶例如是铌酸锂(LiNbO3)单晶或者钽酸锂(LiTaO3)单晶。切割角可以根据利用的SAW的种类等来适当地设定。例如，压电基板3是旋转Y切割X传播。即，X轴与压电基板3的上表面(D1轴)平行，Y轴相对于压电基板3的上表面的法线以规定的角度倾斜。另外，压电基板3也可以较薄地形成，在背面(D3轴负侧的面)贴合包含无机材料或者有机材料的支承基板。IDT电极7以及反射器9由被设置在压电基板3上的层状导体构成。IDT电极7以及反射器9例如以相互相同的材料以及厚度构成。构成这些的层状导体例如是金属。金属例如是Al或者以Al为主成分的合金(Al合金)。Al合金例如是A1-Cu合金。层状导体也可以包含多个金属层。层状导体的厚度可根据SAW谐振器1所要求的电特性等来适当地设定。作为一个例子，层状导体的厚度是50nm～600nm。IDT电极7具有第1梳齿电极11A(为了提高可视性的方便而赋予阴影)以及第2梳齿电极11B。各梳齿电极11具有：汇流条13、从汇流条13相互并列地延伸的多个电极指15、和在多个电极指15之间从汇流条13突出的多个虚设电极17。一对梳齿电极11被配置为多个电极指15相互咬合(交叉)。即，一对梳齿电极11的两根汇流条13被相互对置配置，第1梳齿电极11A的电极指15与第2梳齿电极11B的电极指15在其宽度方向基本交替地排列。此外，一方梳齿电极11的多个虚设电极的前端与另一方梳齿电极11的电极指15的前端对置。汇流条13例如形成为以大体恒定的宽度在SAW的传播方向(D1轴方向)直线状地延伸的长条状。并且，一对汇流条13在与SAW的传播方向正交的方向(D2轴方向)相互对置。另外，汇流条13也可以宽度变化，或者相对于SAW的传播方向倾斜。各电极指15例如形成为以大体恒定的宽度在与SAW的传播方向正交的方向(D2轴方向)直线状地延伸的长条状。多个电极指15例如在SAW的传播方向排列，此外，是相互同等的长度。另外，IDT电极7也可以被实施多个电极指15的长度(在另外观点中为交叉宽度)根据传播方向的位置而变化的所谓的变迹。电极指15的根数可以根据SAW谐振器1所要求的电特性等而适当地设定。另外，图1等是示意图，因此电极指15的根数被较少地表示。实际上，可以排列比图示多(例如100根以上)的电极指15。针对后述的反射器9的带状电极21也是同样的。多个电极指15的间距p(电极指间距)例如遍及IDT电极7整体地被设为大体恒定。另外，间距p例如是相邻的两根电极指15(或者后述的带状电极21)的中心间距离。间距p基本上被设为具有与在压电基板3上传播的SAW之中希望谐振的频率同等的频率的SAW的波长λ的一半(p＝λ/2)。多个虚设电极17例如形成为以大体恒定的宽度在与SAW的传播方向正交的方向(D2轴方向)直线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波滤波器，具有：压电基板；串联臂，包含位于所述压电基板上的一个以上的串联谐振部；和一个以上的并联谐振部，位于所述压电基板上，与所述串联臂构成梯子型滤波器，所述一个以上的串联谐振部以及所述一个以上的并联谐振部之中的任意一个即第1谐振部具有：第1谐振器，包含位于所述压电基板上的IDT电极以及位于其两侧的一对反射器；和第1电容部，与所述第1谐振器并联连接，所述第1电容部的电容为所述第1谐振器的IDT电极的电容的0.8倍以上，所述第1谐振部的反谐振频率与谐振频率之差小于所述第1谐振器的反谐振频率与谐振频率之差。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.10.28 JP 2016-211840;2016.12.15 JP 2016-243161.一种弹性波滤波器，具有：压电基板；串联臂，包含位于所述压电基板上的一个以上的串联谐振部；和一个以上的并联谐振部，位于所述压电基板上，与所述串联臂构成梯子型滤波器，所述一个以上的串联谐振部以及所述一个以上的并联谐振部之中的任意一个即第1谐振部具有：第1谐振器，包含位于所述压电基板上的IDT电极以及位于其两侧的一对反射器；和第1电容部，与所述第1谐振器并联连接，所述第1电容部的电容为所述第1谐振器的IDT电极的电容的0.8倍以上，所述第1谐振部的反谐振频率与谐振频率之差小于所述第1谐振器的反谐振频率与谐振频率之差。2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器，其中，所述第1谐振部是所述一个以上的并联谐振部的一个。3.根据权利要求2所述的弹性波滤波器，其中，所述第1电容部包含位于所述压电基板上且电极指间距比所述第1谐振器的IDT电极的电极指间距小的IDT电极。4.根据权利要求2或者3所述的弹性波滤波器，其中，所述一个以上的串联谐振部之中的一个即第2谐振部具有：第2谐振器，包含位于所述压电基板上的IDT电极以及位于其两侧的一对反射器；和第2电容部，与所述第2谐振器并联连接，所述第2电容部的电容相对于所述第2谐振器的IDT电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤干，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP