结构体、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置、结构体的制造方法及有机物层形成用组合物制造方法及图纸

技术编号:21175578 阅读:34 留言:0更新日期:2019-05-22 11:53
本发明专利技术提供一种耐湿性优异的结构体、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置及结构体的制造方法。并且,提供一种在所述结构体的形成中使用的有机物层形成用组合物。该结构体(100)具有:支撑体(1);隔壁(2),形成于支撑体(1)上;着色层(4),在支撑体(1)上且形成于被隔壁(2)划分的区域;及有机物层(3),在隔壁(2)与着色层(4)之间,使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。

Composition for structure, color filter, solid-state camera element, image display device, manufacturing method of structure and organic layer formation

The invention provides a structure with excellent moisture resistance, a color filter, a solid-state camera element, an image display device and a manufacturing method of the structure. Furthermore, a composition for organic layer formation used in the formation of the structure is provided. The structure (100) has: a support (1); a neighbouring (2) formed on the support (1); a coloring layer (4), formed on the support (1) and in the area divided by the neighbouring (2); and an organic layer (3), formed between the neighbouring (2) and the coloring layer (4), using a composition containing the following compounds, which have a group with an unsaturated alkene bond.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】结构体、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置、结构体的制造方法及有机物层形成用组合物
本专利技术涉及一种结构体、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置、结构体的制造方法及有机物层形成用组合物。
技术介绍
近年来,由于数码相机、带有照相机的移动电话等的普及,电荷耦合器件(CCD)图像传感器等固体摄像元件的需求大幅度增加。滤色器作为显示器或光学元件的关键器件而被使用。作为固体摄像元件的一种方式,已知有例如具备结构体的固体摄像元件等,该结构体在被支撑体上的隔壁划分的区域埋入有着色层。并且,专利文献1中记载有以下内容:在具备这种结构体的固体摄像元件中,在隔壁与着色层之间,使用环氧树脂或1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷设置密合层。以往技术文献专利文献专利文献1:日本特开2012-227478号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题本专利技术人对具备在被支撑体上的隔壁划分的区域埋入有着色层的结构体的固体摄像元件进行研究的结果,得知将具备这种结构体的固体摄像元件暴露于湿度高的环境下的情况下,在着色层与隔壁之间容易产生孔隙。若着色层与隔壁之间产生孔隙,则导致器件的灵敏度发生变化,因此希望抑制孔隙的产生。并且,根据本专利技术人的研究,如专利文献1中所记载,可知即使使用环氧树脂或1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷在隔壁与着色层之间形成密合层的情况下,在着色层与隔壁之间也容易产生孔隙。由此,本专利技术的目的在于提供一种耐湿性优异的结构体、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置及结构体的制造方法。并且,提供一种在所述结构体的形成中使用的有机物层形成用组合物。用于解决技术课题的手段本专利技术人进行深入研究的结果,发现了以下内容并完成了本专利技术。一种结构体,其具有:支撑体;隔壁,形成于支撑体上;及着色层,在支撑体上且被隔壁划分的区域形成,其中在隔壁与着色层之间设置有使用含有如下化合物的组合物形成的有机物层,由此即使将结构体暴露于湿度高的环境下,在着色层与隔壁之间也难以产生孔隙,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。即,本专利技术为如下所述。<1>一种结构体,其具有:支撑体;隔壁,形成于支撑体上;着色层,在支撑体上且形成于被隔壁划分的区域;及有机物层,在隔壁与着色层之间,使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。<2>如<1>所述的结构体,其中有机物层的厚度为30nm以下。<3>如<1>或<2>所述的结构体,其中具备具有烯属不饱和键的基团的化合物包含在侧链上具备具有烯属不饱和键的基团的树脂。<4>如<3>所述的结构体,其中树脂的酸值为10~100mgKOH/g。<5>如<3>或<4>所述的结构体,其中树脂的重均分子量为5000~20000。<6>如<1>至<5>中任一项所述的结构体,其中组合物进一步含有表面活性剂。<7>如<1>至<6>中任一项所述的结构体,其中着色层使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。<8>一种滤色器,其具有<1>至<7>中任一项所述的结构体。<9>一种固体摄像元件,其具有<1>至<7>中任一项所述的结构体。<10>一种图像显示装置,其具有<1>至<7>中任一项所述的结构体。<11>一种结构体的制造方法,其包括:在支撑体上形成隔壁的工序;在隔壁的表面,使用含有如下化合物的有机物层形成用组合物来形成有机物层的工序,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团;及在支撑体上且在被表面形成有有机物层的隔壁划分的区域形成着色层的工序。<12>如<11>所述的结构体的制造方法,其中具备具有烯属不饱和键的基团的化合物包含在侧链上具备具有烯属不饱和键的基团的树脂。<13>如<11>或<12>所述的结构体的制造方法,其中有机物层形成用组合物进一步含有表面活性剂。<14>如<11>至<13>中任一项所述的结构体的制造方法,其中有机物层形成用组合物含有99~99.99质量%的溶剂。<15>如<11>至<14>中任一项所述的结构体的制造方法,其中使用含有如下化合物的着色组合物来形成所述着色层,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。<16>一种有机物层形成用组合物,其用于形成结构体的有机物层,该结构体具有支撑体、形成于支撑体上的隔壁、在支撑体上且形成于被隔壁划分的区域的着色层、及形成于隔壁与着色层之间的有机物层,其中所述有机物层形成用组合物含有具备具有烯属不饱和键的基团的化合物。<17>如<16>所述的有机物层形成用组合物,其中具备具有烯属不饱和键的基团的化合物包含在侧链上具备具有烯属不饱和键的基团的树脂。<18>如<16>或<17>所述的有机物层形成用组合物,其进一步含有表面活性剂。<19>如<16>至<18>中任一项所述的有机物层形成用组合物,其含有99~99.99质量%的溶剂。专利技术效果根据本专利技术,能够提供一种耐湿性优异的结构体、滤色器、固体摄像元件、图像显示装置、结构体的制造方法。并且,能够提供一种在所述结构体的形成中使用的有机物层形成用组合物。附图说明图1为表示本专利技术的结构体的一实施方式的侧剖面图。图2为从本专利技术的结构体中的支撑体的正上方观察的俯视图。具体实施方式以下,对本专利技术的内容进行详细说明。本说明书中的基团(原子团)的标记中,未标有取代及未取代的标记一同包含不具有取代基的基团(原子团)和具有取代基的基团(原子团)。例如,“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未取代烷基),还包含具有取代基的烷基(取代烷基)。本说明书中“曝光”,除非另有指明,不仅指利用光的曝光,而且利用电子束、离子束等粒子束来进行的描绘也包含于曝光中。并且,作为使用于曝光中的光,通常,可以举出以汞灯的明线光谱、准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(EUV光)、X射线、电子束等光化射线或放射线。本说明书中,用“~”表示的数值范围是指将记载于“~”前后的数值作为下限值及上限值而包括的范围。本说明书,总固体成分是指从组合物的所有成分中除去溶剂的成分的总质量。本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯的两种或任一种,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸的两种或任一种,“(甲基)烯丙基”表示烯丙基及甲代烯丙基的两种或任一种,“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基的两种或任一种。本说明书中,“工序”这一词不仅包含独立的工序,而且即使无法与其他工序明确区别的情况下,只要可以实现该工序的预期作用,则也包含于本术语中。本说明书中,重均分子量(Mw)及数量平均分子量(Mn)被定义为通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定的聚苯乙烯换算值。<结构体>关于本专利技术的结构体,利用附图进行说明。图1为表示本专利技术的结构体的一实施方式的侧剖面图,图2是从本专利技术的结构体中的支撑体的正上方观察的俯视图。如图1、2所示,本专利技术的结构体100的特征为,具有:支撑体1;隔壁2,形成于支撑体1上;着色层4,在支撑体1上且被隔壁2划分的区域形成;及有机物层3,在隔壁2与着色层4之间,使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。根据本专利技术的结构体,即使在暴露于湿度高的环境下的情况下,在着色层与隔壁之间也不易产生孔隙,并耐湿性优异。作为可以获得这种效果的理由,认为是使用含有如下化合物的组合物而形成的有机物层的吸湿性适度低本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种结构体,其具有:支撑体;隔壁,形成于所述支撑体上;着色层,在所述支撑体上且形成于被所述隔壁划分的区域;及有机物层,在所述隔壁与所述着色层之间,使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.30 JP 2016-1925641.一种结构体,其具有:支撑体;隔壁,形成于所述支撑体上;着色层,在所述支撑体上且形成于被所述隔壁划分的区域;及有机物层,在所述隔壁与所述着色层之间,使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。2.根据权利要求1所述的结构体,其中,所述有机物层的厚度为30nm以下。3.根据权利要求1或2所述的结构体,其中,所述具备具有烯属不饱和键的基团的化合物包含在侧链上具备具有烯属不饱和键的基团的树脂。4.根据权利要求3所述的结构体,其中,所述树脂的酸值为10mgKOH/g~100mgKOH/g。5.根据权利要求3或4所述的结构体,其中,所述树脂的重均分子量为5000~20000。6.根据权利要求1至5中任一项所述的结构体,其中,所述组合物进一步含有表面活性剂。7.根据权利要求1至6中任一项所述的结构体,其中,所述着色层使用含有如下化合物的组合物而形成,所述化合物具备具有烯属不饱和键的基团。8.一种滤色器,其具有权利要求1至7中任一项所述的结构体。9.一种固体摄像元件,其具有权利要求1至7中任一项所述的结构体。10.一种图像显示装置,其具有权利要求1至7中任一项所述的结构体。11.一种结构体的制造方法,其包括:在支撑体上形成隔壁的工序;在所述隔壁的表面,使用含有如下化合物的有机物层形成用组合物来形成有机物层的工序...

【专利技术属性】
技术研发人员:尾田和也青柳薰
申请(专利权)人:富士胶片株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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