The invention provides a method for manufacturing a high quality film with high uniformity of film thickness and the like. The manufacturing method of the film is that the material containing the film forming and the raw material solution containing the solvent are supplied to the substrate, and the film is formed on the substrate by drying the solvent. A coating scraper is used to keep the raw material solution on the substrate. The coating scraper has at least one side opposite to the surface of the substrate and in contact with the raw material solution around the opposite side. The solvent of the raw material solution dries in a specific direction to form a film.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】膜的制造方法
本专利技术是涉及一种基于涂布法的膜的制造方法,尤其涉及一种使用了有机半导体材料、晶体材料及取向材料等的膜的制造方法。
技术介绍
当前,作为用于可挠性器件等的半导体材料期待有机半导体。有机半导体与硅等无机半导体相比,其特征之一为能够形成低温涂布。提出各种使用了有机半导体的有机半导体膜的制造方法。专利文献1中,记载有使用了有机半导体材料的基于涂布法的有机半导体膜的制造方法。专利文献1的有机半导体膜的制造方法中,在接触面与基板的表面之间设有楔状的间隙,当形成液滴保持状态时,原料溶液的液滴保持在基板的表面与接触面之间。在该状态下,以与接触面接触的方式供给原料溶液。在通过接触面而保持液滴的状态下进行干燥步骤,从而使液滴中的溶剂蒸发。与溶剂的蒸发一起进展有机半导体材料的晶体化,朝向接触面的封闭侧进行晶体的生长,逐渐形成有机半导体膜。专利文献2中,记载有半导体膜的制造方法。专利文献2中,示出涂布于形成在栅极电极上的栅极绝缘膜的表面的边缘流延法。边缘流延法中,在栅极绝缘膜上配置有喷嘴及刮板。从喷嘴向刮板的对置于栅极绝缘膜表面的边缘部分供给涂布液。喷嘴及基板保持在溶剂蒸发的温度。一边继续供给涂布液一边将基板向一方向移动,以使保持在边缘部分的涂布液的量变得恒定。从喷嘴供给的涂布液随着溶剂蒸发,有机半导体材料进行晶体化。以往技术文献专利文献专利文献1:日本专利第5397921号公报专利文献2:国际公开第2016/031968号上述专利文献1的有机半导体膜的制造方法及专利文献2的半导体膜的制造方法中的任一方法均能够形成有机半导体膜。然而,关于有机半导体膜,现状是要求 ...
【技术保护点】
1.一种膜的制造方法,将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上,通过使所述溶剂干燥而将所述膜形成在所述基板上,所述膜的制造方法的特征在于,使用在所述基板上保持所述原料溶液的涂布刮板,所述涂布刮板具有:对置面,与所述基板的表面相对置;及至少1个侧面,设在所述对置面的周围,且与所述原料溶液接触,使所述原料溶液的所述溶剂沿着特定方向干燥而形成所述膜。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.27 JP 2016-1879181.一种膜的制造方法,将包含形成膜的材料及溶剂的原料溶液供给到基板上,通过使所述溶剂干燥而将所述膜形成在所述基板上,所述膜的制造方法的特征在于,使用在所述基板上保持所述原料溶液的涂布刮板,所述涂布刮板具有:对置面,与所述基板的表面相对置;及至少1个侧面,设在所述对置面的周围,且与所述原料溶液接触,使所述原料溶液的所述溶剂沿着特定方向干燥而形成所述膜。2.根据权利要求1所述的膜的制造方法,其中,至少所述涂布刮板的所述对置面及2个所述侧面这3面与所述原料溶液接触。3.根据权利要求1或2所述的膜的制造方法,其中,由所述涂布刮板的至少1个面确定干燥所述原料溶液的所述特定方向,该至少1个面是所述涂布刮板的所述对置面及至少2个所述侧面中的至少1个面。4.根据权利要求1~3中任1项所述的膜的制造方法,其中,仅由所述涂布刮板的1个面确定干燥所述原料溶液的所述特定方向,该1个面是所述涂布刮板的所述对置面及至少2个所述侧面中的1个面。5.根据权利要求4所述的膜的制造方法,其中,仅由所述涂布刮板的所述对置面,确定干燥所述原料溶液的所述特定方向。6.根据权利要求1~5中任1项所述的膜的制造方法,其中,所述涂布刮板具有2个侧面,2个所述侧面分别与所述基板的表面垂直,且...
【专利技术属性】
技术研发人员:中村诚吾,八重樫裕之,
申请(专利权)人:富士胶片株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。