高温插板阀及连续真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种高温插板阀及连续真空镀膜装置。所述高温插板阀包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道，阀体上设有第一通孔和第二通孔，通过支撑板与密封板对第一通孔和第二通孔进行密封封堵，实现高温插板阀的密封；支撑板和密封板上设有阀板冷却水道，通过向阀板冷却水道内通入循环冷却水对支撑板与密封板进行降温，同时也是对阀体进行降温，从而使插板阀在对两个高温腔体进行密封时，仍能保证插板阀温度在适宜使用的范围内，具有良好的密封性能，实现对高温真空腔体的密封。

【技术实现步骤摘要】
高温插板阀及连续真空镀膜装置
本技术涉及真空镀膜
，尤其是涉及一种高温插板阀及连续真空镀膜装置。
技术介绍
现有的连续真空镀膜装置中多个真空腔室连续设置，通过阀门对多个真空腔室进行真空隔离，并且在运行过程中，真空腔室处于高温状态，位于两个真空腔室之间的阀门无法在高温条件下保证密封性能，导致连续真空镀膜装置无法被密闭。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高温插板阀及连续真空镀膜装置，以解决现有技术中插板阀无法在高温条件下使用，真空腔体在高温下无法密闭的技术问题。本技术提供了一种高温插板阀，包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道；所述阀体的一侧侧壁上设有第一通孔，所述阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述支撑板与所述密封板位于所述阀体内，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，且所述支撑板与所述密封板通过所述伞形连接件相连接；所述阀板冷却水道包括支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道设置于所述支撑板上，所述密封板冷却水道设置于所述密封板上。进一步地，还包括水道总管，所述水道总管包括供水管道和出水管道，所述出水管道套设在所述供水管道外；所述供水管道通过第一分水器与所述支撑板冷却水道和所述密封板冷却水道的入口端相连通；所述出水管道通过第二分水器与所述支撑板冷却水道和所述密封板冷却水道的出口端相连通。进一步地，包括内冷却水道，所述内冷却水道设置于所述阀体内，并环绕设置于所述第一通孔与所述第二通孔；所述内冷却水道的入水口和出水口位于所述阀体底部，用于通入和排出所述内冷却水道内的循环水。进一步地，所述阀体内设有加强筋，所述加强筋的数量为多个，多个所述加强筋与所述阀体连接；所述加强筋上设有通孔，所述阀体内冷却水道穿过所述通孔。进一步地，包括波纹膨胀管和气体通道；所述气体通道位于所述支撑板内，且所述支撑板上设有气体通道出口，所述波纹膨胀管的一端与所述气体通道出口相连通，所述波纹膨胀管的另一端与所述密封板相连接；所述气体通道出口和所述波纹膨胀管的数量均为多个并一一对应，多个所述波纹膨胀管均匀分布在所述支撑板与所述密封板之间。进一步地，所述伞形连接件的数量为多个；多个所述伞形连接件均匀分布于所述支撑板与所述密封板之间。进一步地，所述伞形连接件包括第一连接件、第二连接件和定位轴；所述第一连接件和所述第二连接件的一端均套设在所述定位轴上，并与所述定位轴转动连接，所述第一连接件的另一端与所述支撑板转动连接，所述第二连接件的另一端与所述密封板转动连接。进一步地，包括固定支架，多个所述伞形连接件通过所述定位轴与所述固定支架相连接。进一步地，包括弹性件，所述弹性件的一端与所述支撑板相连接，所述弹性件的另一端与所述密封板相连接，用于拉动所述密封板向所述支撑板方向移动；所述弹性件的数量为多个；多个所述弹性件均匀分布与所述支撑板与所述密封板之间。本技术还提供了一种连续真空镀膜装置，包括上述任一项所述的高温插板阀。与现有技术相比，本技术的有益效果为：本技术提供的高温插板阀包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道；阀体的一侧侧壁上设有第一通孔，阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔，物料能够从阀体的一端通过第一通孔和第二通孔穿过阀体，到达阀体的另一端，实现物料的流通；当第一通孔与第二通孔被密封封闭时，插板阀处于密封关闭状态；阀体内设有支撑板与密封板，支撑板能够密封罩设于第一通孔上，密封板能够密封罩设与第二通孔上，因此，当支撑板和密封板分别对第一通孔和第二通孔进行密封封堵，第一通孔与第二通孔之间的通路被切断，插板阀处于密封关闭状态；支撑板和密封板上设有阀板冷却水道，通过向阀板冷却水道内通入循环冷却水对支撑板与密封板进行降温，同时也是对阀体进行降温，从而使插板阀在对两个高温腔体进行密封时，仍能保证插板阀温度在适宜使用的范围内，具有良好的密封性能，实现对高温真空腔体的密封。本技术还提供了一种连续真空镀膜装置，包括所述的高温插板阀；连续真空镀膜装置包括多个真空腔体，相邻的两个真空腔体之间均设有高温插板阀，通过高温插板阀实现相邻两个真空腔体的密封与连通。由于连续真空镀膜装置包括高温插板阀，因而所述连续真空镀膜装置也具有能够在高温下使用的良好的密封性能的有益效果。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的高温插板阀的结构示意图；图2为图1中C-C处剖面图；图3为图1中B-B处剖面图；图4为图3中A处放大图；图5为本技术实施例提供的连续真空镀膜装置的结构示意图。附图标记：1-阀体，11-第一通孔，12-第二通孔，2-支撑板，3-密封板，31-弹性件，4-伞形连接件，41-第一连接件，42-第二连接件，43-定位轴，44-固定支架，5-阀板冷却水道，51-支撑板冷却水道，52-密封板冷却水道，6-水道总管，7-内冷却水道，8-加强筋。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和显示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。下面参照图1至图5描述根据本技术一些实施例的高温插板阀及连续真空镀膜装置。本申请提供了一种高温插板阀，如图2和图3所示，包括阀体1、支撑板2、密封板3、伞形连接件4和阀板冷却水道5；阀体1的一侧侧壁上设有第一通孔11，阀体1的另一侧侧壁上设有第二通孔12，第一通孔11与第二通孔12相对设置；支撑板2与密封板3位于阀体1内，支撑板2用于封堵第一通孔11，密封板3用于封堵第二通孔12，且支撑板2与密封板3通过伞形连接件4相连接；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温插板阀，其特征在于，包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道；所述阀体的一侧侧壁上设有第一通孔，所述阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述支撑板与所述密封板位于所述阀体内，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，且所述支撑板与所述密封板通过所述伞形连接件相连接；所述阀板冷却水道包括支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道设置于所述支撑板上，所述密封板冷却水道设置于所述密封板上。

【技术特征摘要】
1.一种高温插板阀，其特征在于，包括阀体、支撑板、密封板、伞形连接件和阀板冷却水道；所述阀体的一侧侧壁上设有第一通孔，所述阀体的另一侧侧壁上设有第二通孔，所述第一通孔与所述第二通孔相对设置；所述支撑板与所述密封板位于所述阀体内，所述支撑板用于封堵所述第一通孔，所述密封板用于封堵所述第二通孔，且所述支撑板与所述密封板通过所述伞形连接件相连接；所述阀板冷却水道包括支撑板冷却水道和密封板冷却水道，所述支撑板冷却水道设置于所述支撑板上，所述密封板冷却水道设置于所述密封板上。2.根据权利要求1所述的高温插板阀，其特征在于，还包括水道总管，所述水道总管包括供水管道和出水管道，所述出水管道套设在所述供水管道外；所述供水管道通过第一分水器与所述支撑板冷却水道和所述密封板冷却水道的入口端相连通；所述出水管道通过第二分水器与所述支撑板冷却水道和所述密封板冷却水道的出口端相连通。3.根据权利要求1所述的高温插板阀，其特征在于，包括内冷却水道，所述内冷却水道设置于所述阀体内，并环绕设置于所述第一通孔与所述第二通孔；所述内冷却水道的入水口和出水口位于所述阀体底部，用于通入和排出所述内冷却水道内的循环水。4.根据权利要求3所述的高温插板阀，其特征在于，所述阀体内设有加强筋，所述加强筋的数量为多个，多个所述加强筋与所述阀体连接；所述加强筋上设有通孔，所述阀体内冷却水道穿过所述通孔。5.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭爱云，汪友林，王君，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21