一种洁净室的检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种洁净室的检测方法及装置，其方法包括以下步骤:步骤1、将载有检测装置的支架移动到指定的位置；步骤2：用遥控器控制支架的伸缩部件到检测点的位置，这个位置包括水平以及垂直位置，由传感器自动检测，并控制电机完成调节；步骤3：风速数据采集，数据自动汇总到数据控制中控；步骤4:数据在服务器上，采用可视化方式来呈现，用红黄绿来标志报警、预警以及正常等指标。本发明专利技术的有益效果是：安全可靠，工作效率高。

A Test Method and Device for Clean Room

【技术实现步骤摘要】
一种洁净室的检测方法及装置
本专利技术涉及室内空气检测领域，特别是一种洁净室的检测方法及装置。
技术介绍
电子半导体、面板行业的洁净室，洁净室的洁净度是一个非常重要的指标，FFU-(FanFilterUnit)作为重要核心的空气微粒子过滤装置将成为重要的设备，因此微粒子泄漏检测是一个常规又非常重要的检测项目。在实际应用中，FFU会布满整个天花板空间。根据厂房的大小，涉及面积一般都会接近或者大大超过1万平米。而微粒子检测，需要检测到整个FFU区域。当前检测，还多采用人工方式，受限于实际情况：天花板面积大，FFU数量5000片-3万片以上(接近或者超过2万平米)，天花板距离地面高，有的甚至到6-12米高。当前采用人工检测方式，缺点很明显：1、效率低-每检测一个FFU，检测人员需要爬上检测台，检测完成再下来；2、数据采集需要人工入录。3、危险-楼层高，人工操作非常的不便利，亦极不安全。
技术实现思路
本专利技术的目的在于为克服现有技术的缺陷，是通过如下技术方案来达成的。一种洁净室的检测方法，包括以下步骤:步骤1、将载有检测装置的支架移动到指定的位置；步骤2：用遥控器控制支架的伸缩部件到检测点的位置，这个位置包括水平以及垂直位置，由传感器自动检测，并控制电机完成调节；步骤3：风速数据采集，数据自动汇总到数据控制中控；步骤4:数据在服务器上，采用可视化方式来呈现，用红黄绿来标志报警、预警以及正常等指标。优选的，检测装置包括微粒子探头和风速仪，所述微粒子探头包括多个用于收集采样空气的并排喇叭口，微粒子探头在电机的驱动下，自动沿着轨迹移动并采集数据，所述风速仪检测风速。优选的，所述支架包括可升降的自动定位高度的升降台，所述升降台可以挂载多种检测传感器。优选的，所述检测装置的导轨形状为“之”字形，微粒子探头的喇叭口探头覆盖住单个FFU区域。优选的，所述控制器包括用于显示区域的显示屏，将待检测区域分为若干区域显示在显示屏上，在每个区域显示所检测到的数据现在屏幕的对应区域。优选的，所述检测装置还包括摄像头，摄像头拍摄的视频资料通过网络传送到控制器，由控制器处理后显示在屏幕对应位置。本专利技术的有益效果是：1、成本低-整个巡检过程，都是由电机自动控制运行，数据自动进行汇总，不需要人工干预；2、效率高-整个过程，都是由数据中控自动控制，升降、数据汇总，都是全自动完成；3、安全可靠-人不需要站在升降台上，安全可靠。附图说明图1是本专利技术具体实施例中检测装置运行轨迹示意图。图2是本专利技术具体实施例中控制器的工作状态示意图。图3是本专利技术具体实施例中设备的检测装置的轨道示意图。图4是本专利技术的检测装置结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1-3所示，一种洁净室的检测方法，包括以下步骤:步骤1、将载有检测装置的支架移动到指定的位置；步骤2：用遥控器控制支架的伸缩部件到检测点的位置，这个位置包括水平以及垂直位置，由传感器自动检测，并控制电机完成调节；步骤3：风速数据采集，数据自动汇总到数据控制中控；步骤4:数据在服务器上，采用可视化方式来呈现，用红黄绿来标志报警、预警以及正常等指标。检测装置包括微粒子探头和风速仪，所述微粒子探头包括多个用于收集采样空气的并排喇叭口，微粒子探头在电机的驱动下，自动沿着轨迹移动并采集数据，所述风速仪检测风速。支架包括可升降的自动定位高度的升降台，所述升降台可以挂载多种检测传感器。检测装置的导轨形状为“之”字形，微粒子探头的喇叭口探头覆盖住导轨。所述控制器包括用于显示区域的显示屏，将待检测区域分为若干区域显示在显示屏上，在每个区域显示所检测到的数据现在屏幕的对应区域。所述检测装置还包括摄像头，摄像头拍摄的视频资料通过网络传送到控制器，由控制器处理后显示在屏幕对应位置。如图4所示，支持上述系统和方法的一种洁净室检测装置，包括支架30、设置在支架上检测平台40，与支架另一端连接的移动平台10，支架为可伸缩支架，由设置在移动平台的升降电机20驱动。检测装置的微粒子探头和风速仪50设置在检测平台上，检测平台上还可以设置摄像头等多种检测装置或辅助检测的设备。尽管已经示出和描述了本专利技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净室的检测方法，其特征在于，包括以下步骤:步骤1、将载有检测装置的支架移动到指定的位置；步骤2：用遥控器控制支架的伸缩部件到检测点的位置，这个位置包括水平以及垂直位置，由传感器自动检测，并控制电机完成调节；步骤3：风速数据采集，数据自动汇总到数据控制中控；步骤4:数据在服务器上，采用可视化方式来呈现，用红黄绿来标志报警、预警以及正常等指标。

【技术特征摘要】
1.一种洁净室的检测方法，其特征在于，包括以下步骤:步骤1、将载有检测装置的支架移动到指定的位置；步骤2：用遥控器控制支架的伸缩部件到检测点的位置，这个位置包括水平以及垂直位置，由传感器自动检测，并控制电机完成调节；步骤3：风速数据采集，数据自动汇总到数据控制中控；步骤4:数据在服务器上，采用可视化方式来呈现，用红黄绿来标志报警、预警以及正常等指标。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，检测装置包括微粒子探头和风速仪，所述微粒子探头包括多个用于收集采样空气的并排喇叭口，微粒子探头在电机的驱动下，自动沿着轨迹移动并采集数据，所述风速仪检测风速。3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述支架包括可升降的自动定位高度的升降台，所述升降台可以挂载多种检测传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宁，吴水田，夏群艳，
申请(专利权)人：深圳市净源软件技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44