运动台移动机构、运动台系统与光刻装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种运动台移动机构、运动台系统与光刻装置，所述的机构，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别连接所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。相较于现有技术中垂向位置不可调的机械方案，本发明专利技术可通过垂向位置的调整满足运动台垂向位置的各种需求。

【技术实现步骤摘要】
运动台移动机构、运动台系统与光刻装置
本专利技术涉及光刻领域，尤其涉及一种运动台移动机构、运动台系统与光刻系统。
技术介绍
光刻系统中，可以利用运动台运输基片。运动台在运行一段时间或遇故障时，需将运动台移出至工作位置外进行维护维修，维护维修完毕后再将运动台移入，为降低维护维修的时间，保证移入移出过程中设备的安全性以及实现移入移出流程的完全自动化，可以采用移动机构带动运动台的移动。现有的相关技术中，一套完整的移动机构可以包括：电机模块、运动模块和检测部件，电机模块根据检测部件的检测结果控制运动模块进行运动，以通过运动模块承载运动台移动。其中，运动台垂向位置可以是多样的，其垂向位置的区别量也可能较大，然而，现有的运动模块中，其垂向位移调整范围较小，例如在部分场景下，其调节范围仅为7mm左右，而随着光刻系统中气浮垫尺寸的逐渐变大，对应地，较小的垂向位移调整范围无法满足这种变化需求，可见，现有的移动机构无法满足运动台垂向位置的需求。
技术实现思路
本专利技术提供了一种运动台移动机构、运动台系统与光刻系统，以解决无法满足运动台垂向位置的需求的问题。根据本专利技术的第一方面，提供了一种运动台移动机构，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别作用于所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。可选的，所述的机构，还包括限位调节结构，所述限位调节结构用于限制所述固定件沿所述导向杆移动的位置，以及调节所述固定件与所述连接件之间的最大极限距离。可选的，所述限位调节结构包括调节杆与限位调节组件，所述调节杆沿所述第一方向设置，所述调节杆的第一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述调节杆外侧，所述限位调节组件连接所述调节杆的第二端，且位于所述固定件的与所述弹簧相背的一侧，以限制和调整所述固定件沿所述导向杆的移动位置。可选的，所述限位调节组件包括限位轴与环状的垫片，所述限位轴连接于所述调节杆的第二端，所述限位轴的直径大于所述调节杆的直径，所述垫片设于所述限位轴的端面与所述固定件之间，且所述垫片的中孔的直径与调节杆的直径匹配。可选的，所述限位调节组件包括螺母结构，所述调节杆的第二端设有与所述螺母结构匹配的螺纹结构。可选的，至少之一所述弹簧套设于所述调节杆外侧。可选的，所述的机构，还包括用于驱动所述滚轮旋转的驱动装置。可选的，所述驱动装置包括依次传动的电机和减速器组件，所述减速器组件通过一联动装置传动所述滚轮。可选的，所述驱动装置设于所述滚轮的水平向的一侧。可选的，所述驱动装置设于所述固定件与所述连接件之间，且安装于所述连接件，所述连接件设有通孔，所述驱动装置的走线穿设于所述通孔，所述联动装置穿过所述通孔进行传动。可选的，所述弹簧的初始长度L、弹簧常数K，弹簧压缩后提供的预设张力F，以及所述固定件与所述连接件之间的距离D，满足以下公式：D＝L-(F/K)；和/或：所述弹簧的初始长度L、弹簧常数K、弹簧的最大负载A，以及弹簧允许最大位移量与弹簧长度的占比B，满足以下公式：K＝A/(B*L)。可选的，所述的机构，还包括无油轴套，所述无油轴套设于所述固定件内部，且设于所述导向杆外侧。可选的，至少之一所述弹簧套设于所述导向杆外侧。根据本专利技术的第二方面，提供了一种运动台系统，包括第一方面及其可选方案所述的移动机构，所述运动台用于承载基片，并带动其运动。根据本专利技术的第三方面，提供了一种光刻系统，包括第二方面所述的系统。本专利技术提供的运动台移动机构、运动台系统与光刻系统，通过所述导向杆的一端连接所述连接件、所述固定件套设于所述导向杆外侧、所述滚轮连接于所述连接件，以及所述固定件用于固定连接所述运动台的框架，可以使得固定连接框架的固定件能够实现垂向位置的调整，相较于现有技术中垂向位置较小调整范围的机械方案，本专利技术中根据不同的调整范围可以选择所需的导向杆，故而，本专利技术可实现多样的调整范围，包括较大范围的调整范围，从而通过垂向位置的调整满足运动台垂向位置的各种需求。同时，本专利技术还通过所述弹簧两端分别作用于所述连接件与所述固定件，使得连接于连接件的滚轮对地面始终保持所需的压力，进而达到移动所需的摩擦力，保障运动台的有效移动。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一运动台移动机构的正面结构示意图；图2是本专利技术一运动台移动机构中弹簧压缩量最小时的结构示意图；图3是本专利技术一运动台移动机构中弹簧压缩量最大时的结构示意图；图4是本专利技术一运动台移动机构中弹簧选型结果的示意图；图5是本专利技术一运动台移动机构的立体结构示意图；图6是本专利技术一运动台移动机构的固定件的结构示意图；图7是本专利技术一运动台移动机构的装配结构示意图；图8是本专利技术又一运动台移动机构的正面结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面以具体地实施例对本专利技术的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。图1是本专利技术一运动台移动机构的正面结构示意图；图5是本专利技术一运动台移动机构的立体结构示意图；图7是本专利技术一运动台移动机构的装配结构示意图；图8是本专利技术又一运动台移动机构的正面结构示意图。请参考图1、图5、图7和图8，提供了一种运动台移动机构，包括：滚轮1、固定件4、弹簧5、导向杆3和连接件2；所述弹簧5和所述导向杆3均沿第一方向设置，所述导向杆3的一端连接所述连接件2，所述固定件4套设于所述导向杆3外侧，所述弹簧5两端分别作用于所述连接件2与所述固定件4，所述滚轮1连接于所述连接件2，所述固定件4用于固定连接所述运动台的框架13。第一方向，可以理解为垂向，即竖直方向。其中，除了固定件4结构相对于运动台框架位置不变，弹簧5会被压缩。其他结构中，例如滚轮1、连接件2、导向杆3、以及后文提到的调节杆6、驱动装置等，都会和框架13产生垂向的相对位移。相较于现有技术中垂向位置调节范围较小的机械方案，以上方案可根据不同的调整范围选择所需的导向杆，故而，可实现多样的调整范围，包括较大范围的调整范围，从而通过垂向位置的调整满足运动台垂向位置的各种需求。具体的，由于固定件4连接框架13，所以，通过固定件4沿导向杆3的导向移动，可以实现垂向位置的调节。以上方案还通过所述弹簧5两端分别作用于所述连接件2与所述固定件4，使得连接于连接件2的滚轮1对地面始终保持所需的压力，进而达到移动所需的摩擦力，保障运动台的有效移动。其中弹簧5两端可分别接触于所述连接件2与所述固定件4，也可分别固定连接所述连接件2与所述固定件4，只要可以实现压缩产生的力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种运动台移动机构，其特征在于，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别作用于所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。

【技术特征摘要】
1.一种运动台移动机构，其特征在于，包括：滚轮、固定件、弹簧、导向杆和连接件；所述弹簧和所述导向杆均沿第一方向设置，所述导向杆的一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述导向杆外侧，所述弹簧两端分别作用于所述连接件与所述固定件，所述滚轮连接于所述连接件，所述固定件用于固定连接所述运动台的框架。2.根据权利要求1所述的运动台移动机构，其特征在于，还包括限位调节结构，所述限位调节结构用于限制所述固定件沿所述导向杆移动的位置，以及调节所述固定件与所述连接件之间的最大极限距离。3.根据权利要求2所述的运动台移动机构，其特征在于，所述限位调节结构包括调节杆与限位调节组件，所述调节杆沿所述第一方向设置，所述调节杆的第一端连接所述连接件，所述固定件套设于所述调节杆外侧，所述限位调节组件连接所述调节杆的第二端，且位于所述固定件的与所述弹簧相背的一侧，以限制和调整所述固定件沿所述导向杆的移动位置。4.根据权利要求3所述的运动台移动机构，其特征在于，所述限位调节组件包括限位轴与环状的垫片，所述限位轴连接于所述调节杆的第二端，所述限位轴的直径大于所述调节杆的直径，所述垫片设于所述限位轴的端面与所述固定件之间，且所述垫片的中孔的直径与调节杆的直径匹配。5.根据权利要求3所述的运动台移动机构，其特征在于，所述限位调节组件包括螺母结构，所述调节杆的第二端设有与所述螺母结构匹配的螺纹结构。6.根据权利要求3至5任一项所述的运动台移动机构，其特征在于，至少之一所述弹簧套设...

【专利技术属性】
技术研发人员：管博然，李志龙，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31