超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该沉积法制造的发光显示装置制造方法及图纸

本申请涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该积法制的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、光热转换器、源部和光反射器。光热转换器容置在基底基板中并将光能转换成热能。源部设置在光热转换器上。光反射器包括具有侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以基于光反射器与基底基板之间的折射率差而反射输入到其的外部光并且将从源部发射的源引导至目标区域。

Ultra-fine pattern depositing equipment, ultra-fine pattern depositing method using it and luminescent display device manufactured by the depositing method

This application relates to a superfine pattern depositing device, a superfine pattern depositing method using the device, and a luminescent display device made by the product method. Ultra-fine pattern deposition equipment includes a substrate, a photothermal converter, a source and a light reflector. The photothermal converter is housed in a substrate and converts light energy into heat energy. The source part is arranged on the photothermal converter. The light reflector includes a lower part with lateral concave and an upper opening protruding from the lower part to reflect the external light input to the light reflector based on the refractive index difference between the light reflector and the substrate and guide the source emitted from the source to the target area.

【技术实现步骤摘要】
超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该沉积法制造的发光显示装置相关申请的交叉引用本申请要求于2017年10月31日提交的韩国专利申请第10-2017-0144257号的权益，该申请如同在此完全阐述一样通过引用并入本文用于所有目的。
本专利技术涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法以及通过超精细图案沉积法制造的发光显示装置。
技术介绍
随着信息技术的发展，作为用户与信息之间的连接媒介的显示装置市场正在增长。因此，越来越多地使用诸如有机发光显示器、液晶显示器、电泳显示器和量子点显示器的不同类型的显示装置。如上所述的显示装置包括显示面板、驱动显示面板的驱动器和控制驱动器的控制器。存在用于显示装置的不同类型的显示面板。然而，不同显示装置的类似之处在于需要基板和在基板上形成为薄膜的结构来形成显示面板。在显示装置中，通过使用激光等的图案转印设备形成薄膜形式的结构。常规地，已经提出(1)激光诱导热成像(LITI)图案化方法，(2)激光诱导图形化升华(LIPS)图案化方法等。LITI图案化方法和LIPS图案化方法通过使用形成在金属薄膜中的细孔的阴影掩模来图案化有机层。然而，在常规的LITI图案化方法中，产生了关于颗粒生成的问题，并且当执行分层时难以获得整齐的边缘。此外，当存在颗粒时，不形成图案。在常规的LIPS图案化方法中，图案转印期间需要图案源与背板之间的接触，这是麻烦的。因此，为了形成超精细(超精细间距)图案以增加显示面板的面积，期望不同于常规设备的沉积设备。
技术实现思路
一方面，本专利技术提供了一种超精细图案沉积设备，其包括基底基板、光热转换器和光反射器。光热转换器容置在基底基板中并将光能转换成热能。在沉积过程开始前将源部设置在光热转换器上。光反射器包括具有侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以基于光反射器与基底基板之间的折射率差而反射输入到光反射器的外部光并且将从源部发射的源引导至目标区域。另一方面，本专利技术提供了一种使用超精细图案沉积设备的超精细图案沉积法，所述超精细图案沉积设备包括：容置在基底基板中并将光能转换为热能的光热转换器、设置在光热转换器上的源部，以及光反射器，所述光反射器具有侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以基于光反射器与基底基板之间的折射率差而反射输入到其的外部光并且将从源部发射的源引导至目标区域。超精细图案沉积法包括：布置超精细图案沉积设备和目标基板并且使超精细图案沉积设备和目标基板对准；以及使激光束辐射到基底基板以沉积图案，使得源沉积在目标基板的子像素的发光区上。另一方面，本专利技术提供了一种通过超精细图案沉积法制造的发光二极管显示装置。又一个方面，本专利技术提供了一种超精细图案沉积设备，所述超精细图案沉积设备包括：基底基板，其包括朝向沉积目标的工作表面；光热转换器，其能够将光能转换为热能，设置在基底基板的工作表面上或至少部分地嵌入到基底基板中；光反射器，其配置成反射输入到其的光以阻碍光穿过工作表面到达超精细图案沉积设备的外部，其中光热转换器配置成在沉积过程期间将热提供至靠近工作表面设置的源部以形成朝向沉积目标的沉积材料流。在沉积过程期间，光热转换器将光转换成热以形成加热图案从而有效地加热位于光热转换器的预定区域内的源部。因此，方便通过适当地设定加热图案(热分布)和源的图案(分布)来控制源的沉积，以实现超精细图案沉积。超精细图案沉积可以通过布置在工作表面上的引导部的图案来进一步调整。光热转换器可以被配置成通过在沉积过程期间将输入到其的光进行转换来提供加热图案以加热与加热图案交叠的源部的图案，从而允许经加热的源部形成朝向沉积目标的沉积流。超精细图案沉积设备还可以包括设置在工作表面上的引导部以在沉积过程期间将从源部发射的源引导至目标区域。引导部可以与光反射器一体地形成。超精细图案沉积设备还可以包括以下中的一者或更多者：形成在光反射器上的涂层；设置在光反射器上方或下方或者埋置在基底基板的凹部中的用于补充反射功能的反射金属层；设置在基底基板的光所输入的表面上的抗反射层；设置在基底基板上的用于促进光的输入的光栅层；以及设置在光热转换器与源部之间用以改善导热性的功能层。还一方面，本专利技术提供了一种使用本专利技术的超精细图案沉积设备的超精细图案沉积法，所述超精细图案沉积法包括：提供已经应用有源的图案的超精细图案沉积设备，布置超精细图案沉积设备和目标基板并且将超精细图案沉积设备和目标基板对准；以及使光辐射到超精细图案沉积设备的基底基板以允许光热转换器形成加热图案从而加热源的图案，使得形成朝向目标基板的沉积流图案。在超精细图案沉积法中，可以在超精细图案沉积设备上设置有引导部的图案以将从源部发射的源引导至目标区域。在超精细图案沉积法中，可以通过控制加热图案、源图案和引导部图案中的一者或更多者在目标基板上形成沉积图案。附图说明附图被包括以提供对本专利技术的进一步理解，并且被并入本说明书且构成本说明书的一部分，其示出了本专利技术的实施方案，并且与描述一起用于解释本专利技术的原理。图1是用于示意性地描述使用根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备的图案沉积法的透视图。图2是示出图1的一部分的截面图。图3是用于描述根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备的激光辐射方法的图。图4是示意性示出根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备的截面图。图5是示出用于描述从源的预涂覆到图案沉积的工艺的工艺流程的图。图6是示出光反射器的结构的图。图7是示出根据本专利技术的第二实施方案的超精细图案沉积设备的图。图8是示出根据本专利技术的第三实施方案的超精细图案沉积设备的图。图9是示出根据本专利技术的第四实施方案的超精细图案沉积设备的图。图10和图11是示出根据本专利技术的第五实施方案的超精细图案沉积设备的图。图12是示出根据本专利技术的第六实施方案的超精细图案沉积设备的图。图13是示出根据本专利技术的第七实施方案的超精细图案沉积设备的图。具体实施方式现在将详细参照本专利技术的实施方案，其示例在附图中示出。在下文中，将参照附图描述本专利技术的具体实施方案。下面将描述的超精细(超精细间距)图案沉积设备可用于制造用于TV、视频播放器、个人计算机(PC)、家庭影院、智能手机、虚拟现实(VR)装置等的显示装置的显示面板。上述显示装置可以是有机发光显示器、液晶显示器、电泳显示器和量子点显示器。显示装置包括显示面板、驱动显示面板的驱动器和控制驱动器的控制器。存在用于显示装置的不同类型的显示面板。然而，显示装置的类似之处在于需要基板和在基板上形成为薄膜的结构来形成显示面板。因此，需要在基板上沉积薄膜，特别是有机薄膜(有机层)的方法的任何显示装置可以通过本专利技术中描述的超精细图案沉积设备来制造，并且本专利技术不是限于上述显示装置。此外，有机薄膜可以包括空穴传输层(HTL)、空穴注入层(HIL)、发光层(EML)、电子传输层(ETL)、电子注入层(EIL)、盖层(CPL)、电荷产生层(CGL)、电子阻挡层(EBL)、效率增强层(EEL)、RGB底层(primelayer)等。<第一实施方案>图1是示意性地描述使用根据本专利技术的第一实施方案的超精细图案沉积设备的图案沉积法的透视图，图2是示出图1的一部分的截面图，以及图3是用于描述根据本专利技术的第一实施方案的超精细图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超精细图案沉积设备，包括：基底基板；光热转换器，所述光热转换器容置在所述基底基板中并将光能转换为热能；以及光反射器，所述光反射器包括具有侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以基于所述光反射器与所述基底基板之间的折射率差而反射输入到所述光反射器的外部光。

【技术特征摘要】
2017.10.31 KR 10-2017-01442571.一种超精细图案沉积设备，包括：基底基板；光热转换器，所述光热转换器容置在所述基底基板中并将光能转换为热能；以及光反射器，所述光反射器包括具有侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以基于所述光反射器与所述基底基板之间的折射率差而反射输入到所述光反射器的外部光。2.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，还包括形成在所述光反射器上的涂层。3.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述光反射器由单层或至少两层形成。4.根据权利要求3所述的超精细图案沉积设备，其中所述光反射器的折射率与所述基底基板的折射率不同。5.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述开口还包括形成在所述侧向凹入的下部与所述基底基板的表面之间的空间，形成所述空间的侧壁和顶板具有直线、非直线、斜线、圆形、椭圆形或多边形形状。6.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述光反射器还包括用于补充其反射功能的反射金属层，所述反射金属层设置在所述光反射器之上或之下。7.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述光反射器还包括用于补充其反射功能的反射金属层，所述反射金属层埋置在所述基底基板的凹部中。8.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述基底基板还包括抗反射层，所述抗反射层设置在所述基底基板的光所输入的表面上。9.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述基底基板还包括用于促进光的输入的光栅层。10.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，其中所述光热转换器位于所述基底基板的一侧上或埋置在所述基底基板的凹部中。11.根据权利要求1所述的超精细图案沉积设备，还包括设置在所述光热转换器上的源部以将从所述源部发射的源引导至目标区域。12.根据权利要求11所述的超精细图案沉积设备，还包括设置在所述光热转换器与所述源部之间的功能层以改善导热性。13.根据权利要求9所述的超精细图案沉积设备，其中所述光栅层形成为在特定角度具有光路的结构、具有波形图案的结构和具有不同折射率的多层结构中的一者。14.一种使用超精细图案沉积设备的超精细图案沉积法，所述超精细图案沉积设备包括：光热转换器，其容置在基底基板中并将光能转换为热能；设置在所述光热转换器上的源部；以及光反射器，所述光反射器包括具有侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以基于所述光反射器与所述基底基板之间的折射率差而反射输入到所述光反射器的外部光并且将从所述源部发射的源引导至目标区域，所述超精细图案沉积法包括：布置所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：方炯锡，朴汉善，林亨俊，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR