输送设备制造技术

一种输送设备，包括：输送装置，其用以朝第一方向位移目标物；以及作用结构，其用以施予作用力于该目标物上，使该目标物朝第二方向形变，其中，该第一方向与第二方向为互不同向。该输送设备于其朝前方输送贴膜至目标位置上时，借由作用结构施予作用力于该贴膜上，使该贴膜朝左右方向扩张，以达到拉伸该贴膜的目的。

Conveying equipment

A conveying device includes: a conveying device for displacement of a target in the first direction; and an action structure for exerting a force on the target so as to deform the target in the second direction, where the first direction is different from the second direction. When the conveying equipment conveys the film to the target position in front, the force is exerted on the film by the action structure, so that the film expands in the left and right direction to achieve the purpose of stretching the film.

【技术实现步骤摘要】
输送设备
本申请关于一种输送设备，尤其关于一种可用于输送半导体晶圆工艺所用的贴膜的输送设备。
技术介绍
悉知半导体工艺中，晶圆于制造完成后，会进行薄化工艺、切单工艺、封装工艺等，其中，切单工艺的方式繁多，例如、激光切割、机械切割、劈裂分离等。悉知劈裂工艺中，如图1所示，先提供一治具1，该治具1于一铁环10中铺设一贴膜11而制成，再将一晶圆9粘贴于该治具1的贴膜11上以位于该铁环10的圆形开口100中，接着将该治具1设于劈裂机台的受台(图略)上，之后将该劈裂机台的劈刀(图略)对位于该晶圆9的沟槽(图略)的背面位置上，使该劈刀碰触该晶圆9，以令该晶圆9沿该沟槽裂开而分离成多个晶粒9a。然而，悉知劈裂工艺中，常因该贴膜11的扩张面积并非最佳化，而使该贴膜11于劈裂工艺后呈松弛状，即该贴膜11的应力分布不均，故所述晶粒9a于相互分离后无法位于该贴膜11的预定位置上，即部分晶粒9a之间形成一错误距离，因而于后续该晶粒9a的加工作业中，如所述晶粒9a转贴至预计载盘(图略)上进行后续预定工艺(于另一机台设备上进行)时，需将所有晶粒9a重新进行对位排设，进而影响整体芯片制作的效率。因此，如何克服上述现有技术的问题，实已成目前亟欲解决的课题。
技术实现思路
为解决上述现有技术的问题，本申请遂公开一种输送设备，以达到拉伸该贴膜的目的。本申请的输送设备，其包括：输送装置，其用以朝第一方向位移目标物；以及作用结构，其用以施予作用力于该目标物上，使该目标物朝第二方向形变，其中，该第一方向与第二方向互不同向。前述的输送设备中，该输送装置包含承载及位移该目标物的承载件，以当位移该目标物至目标位置时，使该作用结构于该目标位置上施予该作用力于该目标物上。进一步，该作用结构具有压制件，以与该承载件夹持该目标物。例如，该压制件为滚轮；或者，该作用结构还具有支撑件，以夹固该压制件。另一方面，该输送装置还具有连动该承载件的带动件，以往复位移该承载件。前述的输送设备中，该作用结构用以施予作用力于该目标物的边缘。前述的输送设备中，该输送装置上配置有承载及位移该目标物的承载件，使其作为该作用结构，以于该承载件输送该目标物时，该承载件借由自转而施予该作用力于该目标物上。例如，该承载件相对该第一方向倾斜设置。或者，该承载件为滚轮。本申请的输送设备中，主要借由该作用结构施予作用力于如为粘性片体的目标物上，以扩张该目标物的表面面积，故相较于现有技术，将本申请的输送设备所输送的目标物经裁切而得的贴膜贴置于铁环上，当进行劈裂工艺时，因该贴膜的扩张面积为最佳化，而使该贴膜于劈裂工艺后呈优选的撑开状，令晶粒于相互分离后能位于该贴膜的预定位置上。附图说明图1为悉知劈裂工艺的治具的俯视示意图。图2A为本申请的输送设备的第一实施例的前视示意图。图2B为图2A的局部俯视示意图。图3A为本申请的输送设备的第二实施例的局部前视示意图。图3B为图3A的局部俯视示意图。附图标记说明：1治具10铁环100开口11贴膜2,3输送设备20输送装置200、300承载件201带动件21触压装置210压制件211支撑件6转轴8目标物8a边缘9晶圆9a晶粒A第一方向B、C第二方向F作用力。具体实施方式以下借由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的优点及技术效果。须知，本说明书说明书附图所示出的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所公开的内容，以供熟悉此技艺的人士了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的技术效果及所能实现的目之下，均应仍落在本申请所公开的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”及“一”等的用语，仅为便于叙述的明了，而非用以限定本申请可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当视为本申请可实施的范围。图2A至图2B为本申请的输送设备2的第一实施例的示意图。如图2A所示，所述的输送设备2包括：一机台本体(图略)、一设于该机台本体下侧的输送装置20、以及一设于该机台本体上侧的触压装置21。所述的输送装置20用以朝第一方向A位移一目标物8，其中，该第一方向A为向前或向后的直线方向，如图2B所示。于本实施例中，该目标物8为粘性片体，例如，离形胶片(releasetape)、紫外线胶带(UVtape)或热分离胶带(thermaltape)等，其上表面为粘着面，而下表面为非粘着面(如光滑面)。此外，该输送装置20具有一承载及位移该目标物8的承载件200及一连动该承载件的带动件201。具体地，该带动件201为管体，其沿预定路径往复运动(如借由弹簧作用的直线位移)，且该承载件200为滑块，其具有凹凸表面以接触该目标物8的下表面(非粘着面)，使该承载件200带动该目标物8向前方或向后方(即该第一方向A)移动，借此达到位移该目标物8的目的。应可理解地，有关该输送装置20的结构种类繁多，并不限于上述。所述的触压装置21作为作用结构，以施予作用力F于该目标物8上，使该目标物8朝第二方向B形变，其中，该第一方向A与第二方向B为互不同向，例如，该第二方向B为左右方向，如图2B所示。于本实施例中，该触压装置21用以施予作用力F于该目标物8的边缘8a，如左、右侧边。此外，该触压装置21具有一配置于该承载件200上方的压制件210，以接触轻压该目标物8，使该承载件200与该压制件210夹持该目标物8。例如，该压制件210于该机台本体的预定终点位置的表面上以垂直该第一方向A的方式横摆设置(如图2B所示)，令该目标物8可夹设于该承载件200与该压制件210之间(如图2A所示)。具体地，该压制件210为被动滚轮，以利于用最小面积接触轻压该目标物8，且借由支撑件211夹固该压制件210的相对两端面，以于下压该目标物8时，避免该压制件210转动。应可理解地，有关该触压装置21的结构种类繁多，并不限于上述。因此，于输送该目标物8的过程中，当该承载件200向前输送该目标物8至目标位置(如预定终点位置)时，该目标物8呈松弛状，此时令该压制件210向下移动以触压该目标物8，使该目标物8的边缘8a受来自上方的作用力F，以产生来自该承载件200与该压制件210的夹持作用，而使该带动件201带动该承载件200一同朝该第二方向B位移(此时该压制件210不会朝该第二方向B位移)，以致于该目标物8会向外扩张，即朝该第二方向B形变，故借此方式可拉伸该目标物8而撑开该目标物8，因而能确保该目标物8的扩张面积的最佳化。待撑开该目标物8后，于该预定终点位置上进行裁切该目标物8，以获取所需的膜体(如图1所示的贴膜11)，再将该压制件210向上移动，以解除夹持作用，使该带动件201带动该承载件200一同回复至原位(即朝该第二方向B的反方向位移)，并将该目标物8的剩余材料从该承载件200上移除。图3A至图3B为本申请的输送设备3的第二实施例的示意图。本实施例与第一实施例的差异在于作用结构的设计，故以下仅说明相异处，而不再赘述相同处，特此述明。如图3A及图3B所示，于该输送装置20中，该承载件300作为作用结构，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送设备，其特征在于，包括：输送装置，其用以朝第一方向位移目标物；以及作用结构，其用以施予作用力于该目标物上，使该目标物朝第二方向形变，其中，该第一方向与第二方向为互不同向。

【技术特征摘要】
1.一种输送设备，其特征在于，包括：输送装置，其用以朝第一方向位移目标物；以及作用结构，其用以施予作用力于该目标物上，使该目标物朝第二方向形变，其中，该第一方向与第二方向为互不同向。2.根据权利要求1所述的输送设备，其特征在于，该输送装置包含承载及位移该目标物的承载件，以当位移该目标物至目标位置时，使该作用结构于该目标位置上施予该作用力于该目标物上。3.根据权利要求2所述的输送设备，其特征在于，该作用结构具有压制件，以与该承载件夹持该目标物。4.根据权利要求3所述的输送设备，其特征在于，该压制件为滚轮。5.根据权利要求4所述的输送设备，其特征在于，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈孟端，
申请(专利权)人：正恩科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71