在真空处理系统中非接触地传输装置的设备及方法制造方法及图纸

描述一种设备(100)，其用于在真空处理系统中非接触地传输装置(120)。该设备(100)包含：磁传输排布(125)，用以提供磁悬浮力(FL)以悬浮该装置(120)，该磁传输排布包括一或多个主动式磁单元(150)；感测器(140)，用以监测该装置(120)的运动，及控制器(580)，配置成用于基于感测器(140)提供的信号控制该一或多个主动式磁单元(150)。

Equipment and Method of Contactless Transmission Device in Vacuum Processing System

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】在真空处理系统中非接触地传输装置的设备及方法
本公开是有关于在真空处理系统中传输装置的设备及方法。特别是，本公开是有关于在用于处理基板(特别是薄平的基板)的真空处理系统中的非接触式传输(特别是藉由磁悬浮)的设备及方法。进一步来说，本公开是有关于传输真空处理系统中的装置的设备及方法，此真空处理系统是用于生产光电装置，像是有机发光二极管(organiclightemittingdiodes,OLEDs)。
技术介绍
已知一些用于沉积材料至基板上的方法。举例来说，可藉由利用蒸镀工艺使基板被涂布，蒸镀工艺像是物理气相沉积(PVD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺、溅射(sputtering)工艺、喷涂(spraying)工艺等等。此工艺可在沉积设备的处理腔室中执行，其中待涂布的基板定位在处理腔室中。沉积材料被提供至处理腔室中。多种材料，像是小分子、金属、氧化物、氮化物及碳化物，可被用于沉积在基板上。进一步来说，其他工艺像是蚀刻、成型、退火、或其他类似工艺，可在处理腔室中实行。被涂布的基板可被用于数种应用及数种
中。举例来说，一种在有机发光二极管(OLED)面板领域中的应用。其他应用包括绝缘板、微电子像是半导体器件、具有TFT的基板、彩色滤光片或其类似物。用于制造显示器的处理系统典型地包括用于基板载体、掩模载体及处理装置(例如是沉积源)的传输系统。举例来说，基板载体及/或掩模载体的传输系统可用于将各自的载体传输进和出处理腔室。此外，处理装置(例如是沉积源)的传输系统典型地用于沿着基板传输该处理装置，同时处理基板(例如是藉由发射待沉积的材料至基板上)。一个在用于处理基板的系统的持续的课题，是对于更高质量的处理结果的不断增长的需求。在这方面，于在处理系统中传输装置(例如是基板载体、掩模载体及处理装置)的处理系统中出现了许多挑战。考量到上述内容，需要一种设备、处理系统及方法，其可以提供改善用于处理基板的处理系统中所采用的装置的传输的控制。
技术实现思路
考量到上述内容，提供一种用于在真空处理系统中非接触地传输装置的设备、一种真空处理系统、及一种用于在真空处理系统中非接触地传输装置的方法。本公开的其他方面、优点及特征，由权利要求书、说明书及所附图式呈现。根据本公开的一方面，提供一种用于在真空处理系统中非接触地传输装置的设备。此设备包括磁传输排布，其用于提供磁悬浮力以悬浮该装置。磁传输排布包括一或多个主动式磁单元。设备还包括感测器，其用于监测装置的运动。此外，设备包括控制器，其配置成用于基于感测器提供的信号控制该一或多个主动式磁单元。根据本公开的另一方面，提供一种用于在真空处理系统中非接触地传输处理装置的设备。此设备包括用于处理装置的支撑件。此支撑件包括一或多个主动式磁单元。此设备还包括引导结构，其在处理装置的传输方向上延伸。该一或多个主动式磁单元及该引导结构被配置成用于提供磁悬浮力以悬浮该处理装置。进一步来说，此设备包括感测器，其用于监测处理装置的运动。此外，设备包括控制器，其连接至感测器。此控制器被配置成用于基于感测器提供的信号控制该一或多个主动式磁单元，使得装置由感测器侦测到的临界运动被减少。根据本公开的又一方面，提供一种用于在基板上沉积层的真空处理系统。此真空处理系统包括适于层的沉积的处理腔室。进一步来说，此系统包括根据此处所述的任何实施例的用于非接触传输的设备。根据本公开的再一方面，提供一种用于在真空处理系统中非接触传输装置的方法。此方法包括产生可调磁场以悬浮该装置。进一步来说，此方法包括利用感测器监测装置的运动。此外，此方法包括基于感测器提供的信号控制可调磁场。实施例还有关于用以执行所公开的方法的设备，且包括用以执行各所述的方法方面的设备部件。此些方法方面可藉由硬件元件、由合适软件程式化的电脑、两者的任何结合或任何其他方式执行。再者，根据本公开的实施例还有关于用以操作所述设备的方法。用以操作所述设备的此些方法包括用以执行设备的每一功能的方法方面。附图说明为了能够理解本公开上述特征的细节，可参照实施例，得到对于简单总括于上的本公开更详细的叙述。所附图式是关于本公开的实施例，并叙述如下：图1示出根据此处所述的实施例的用于非接触地传输装置的设备的前视示意图；图2示出根据此处所述的另外的实施例的用于传输装置的设备的侧视示意图；图3A及3B示出根据此处所述的又另外的实施例的用于非接触地传输装置的设备的前视示意图；图4示出根据此处所述的一些实施例的用于待被非接触式传输设备传输的装置的支撑件的示例性实施例的示意图；图5A及5B示出根据此处所述的另外的实施例的用于非接触式地传输装置的设备的侧视示意图；图6示出根据此处所述的实施例的真空处理系统的示意图；及图7示出绘示根据此处所述的实施例的用于在真空处理系统中非接触地传输装置的方法的流程图。具体实施方式现在将对于本公开的各种实施例进行详细说明，其一或多个例子绘示于图中。在以下对于图式的叙述中，使用相同的元件符号来指示相同的元件。只会对于各个实施例的不同处进行叙述。各个例子的提供只是用以解释本公开，而非欲用以限制本公开。另外，作为一个实施例的一部分而被绘示或叙述的特征，可用于或结合其他实施例，以产生又一实施例。所述内容意欲包含这样的调整及变化。在更详细地描述本公开的各种实施例之前，解释关于此处使用的一些名词和表达的一些方面。在本公开中，“用于非接触式传输装置的设备”应理解为，配置成用于以非接触式传输在真空处理系统中使用的可移动装置的设备。举例来说，此装置可以是处理装置(例如是沉积源)、用于乘载基板的载体、用于乘载掩模的载体、或是任何其他在真空处理系统中使用的可移动装置。本公开中通篇使用的“非接触”一词可理解为装置的重量并非由机械接触或机械力保持，而是由磁力保持。特别是，使用磁力取代机械力以使此装置被保持在悬浮或漂浮状态。举例来说，此处所述的设备可能没有在传输期间支撑装置的重量的机械元件(像是机械轨道)。在一些实施方式中，在装置的移动期间，装置及设备的其余部分之间可以完全没有机械接触。根据此处所述的实施例的装置的非接触式传输是有利的，因为不会在装置的传输期间由于装置及设备部件(像是机械轨道)之间的机械接触而产生颗粒。因此，当利用非接触式传输时，颗粒的产生可以被最小化，使得可以实现更高质量的处理结果。在本公开中，“磁传输排布”应理解为一种排布结构，其配置成用于使用磁力传输装置。特别是，此磁传输排布可包括一或多个主动式磁单元，其被配置成用于产生磁悬浮力。“主动式磁单元”应理解为一种磁性单元，其适于产生磁场，特别是可调磁场，以提供作用在待悬浮及/或待传输的装置上的各自的磁悬浮力。举例来说，在非接触式传输的设备操作中，可调磁场可以是动态可调的。磁传输排布可包括另一磁性元件，其被配置且布置成使得可以提供可调磁场及该另一磁性元件的磁性之间的相互作用。据此，可提供装置的非接触式悬浮及/或传输，例如是藉由可调磁场及该另一磁性元件的磁性之间的相互作用。在本公开中，“用于监测运动的感测器”应理解为一种感测器，其被配置成用于监测可移动装置的运动。特别是，用于监测运动的感测器可以理解为，此感测器是配置成用于在可移动装置的一些或所有平移及/或旋转的自由度中，侦测可移动装置的运动。在本公开中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于在真空处理系统中非接触地传输装置(120)的设备(100)，所述设备包括：磁传输排布(125)，用于提供磁悬浮力(FL)以悬浮所述装置(120)，所述磁传输排布包括一或多个主动式磁单元(150)；感测器(140)，用于监测所述装置(120)的运动；及控制器(580)，配置成用于基于所述感测器(140)提供的信号，控制所述一或多个主动式磁单元(150)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于在真空处理系统中非接触地传输装置(120)的设备(100)，所述设备包括：磁传输排布(125)，用于提供磁悬浮力(FL)以悬浮所述装置(120)，所述磁传输排布包括一或多个主动式磁单元(150)；感测器(140)，用于监测所述装置(120)的运动；及控制器(580)，配置成用于基于所述感测器(140)提供的信号，控制所述一或多个主动式磁单元(150)。2.如权利要求1所述的设备(100)，其中所述感测器(140)是加速度感测器。3.如权利要求1或2所述的设备(100)，其中所述感测器(140)被固定至所述装置(120)和/或所述装置的支撑件(160)。4.如权利要求1至3中任一项所述的设备(100)，其中所述控制器(580)被配置成用于控制所述一或多个主动式磁单元(150)，使得所述装置(120)的临界运动被减少，特别是被遏制。5.如权利要求1至4中任一项所述的设备(100)，其中所述装置(120)是选自下列组成的群组的至少一装置：处理装置、沉积源组件、及载体组件。6.如权利要求1至5中任一项所述的设备，其中所述一或多个主动式磁单元(150)包括选自下列组成的群组的至少一元件：电磁装置；螺线管；线圈；超导磁铁；及其任何组合。7.如权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述一或多个主动式磁单元(150)被提供在所述磁传输排布的引导结构。8.如权利要求1至7中任一项所述的设备，其中所述一或多个主动式磁单元(150)被提供在所述装置，特别在所述装置的支撑件。9.如权利要求8所述的设备(100)，其中所述一或多个主动式磁单元(150)包括：第一主动式磁单元(741)，配置于所述装置的第一侧；及第二主动式磁单元(742)，配置于所述装置的第二侧，所述第二侧与支撑件的第一侧相对；其中所述第一主动式磁单元及所述第二主动式磁单元被配置成用于绕着所述装置的第一旋转轴(734)旋转所述装置。10.如权利要求9所述的设备(100)，其中所述一或多个主动式磁单元(150)还包括：第三主动式磁单元(747)，位于所述支撑件(160)的所述第一侧；及第四主动式磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿斯特·海宁，舒勒·乔格，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US