抽真空装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，包括：真空泵，真空泵的泵体与工艺腔室连接；以及在泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。本实用新型专利技术采用传热件和冷却管路调节泵体内的温度，根据工艺腔室内反应物的不同，使温度处于适当的范围内，使反应物保持为气态从而易于被真空管道排出，避免沉积。具体而言，通过传热件可给泵体内升温，以使泵体内的物质一直为气态，随着真空管道被抽出，有效的抑制了泵体内的物质因温度太低凝结成固态吸附于真空管道内壁上，避免了泵体的出口被堵塞；通过冷却管路可给泵体内降温，避免泵体内温度过高导致真空泵突然停机，工艺腔室真空环境受破坏，影响生产。

Vacuum pumping device

The utility model relates to a vacuum pumping device, which is used to vacuum a process chamber, including a vacuum pump, a connection between the pump body of the vacuum pump and the process chamber, and a heat transfer part and a cooling pipeline attached to the external surface of the pump to adjust the temperature of the pump body. The utility model adopts heat transfer parts and cooling pipes to adjust the temperature in the pump body, and according to the difference of reactants in the process chamber, the temperature is in an appropriate range, so that the reactants can be kept in a gaseous state and easily discharged by the vacuum pipeline, thus avoiding deposition. Specifically, through heat transfer parts, the pump body can be heated so that the substance in the pump body has been gaseous. With the vacuum pipeline being pumped out, the substance in the pump body can be effectively inhibited from condensation to solid adsorption on the inner wall of the vacuum pipeline due to too low temperature, thus avoiding the blockage of the outlet of the pump body. Cooling pipeline can cool the pump body and avoid the sudden outburst of the vacuum pump caused by too high temperature in the pump body. However, the vacuum environment of the process chamber is destroyed, which affects the production.

【技术实现步骤摘要】
抽真空装置
本技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种抽真空装置。
技术介绍
涡轮泵的原理是靠高速运动的刚体表面传递动量给气体分子，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。常用的涡轮泵包括泵体以及设置于泵体中的叶片等抽气部件，可适用于在粗真空(roughvacuum)的基础上进一步提高真空度，其中，将涡轮泵的泵体通过一粗抽真空管道(roughingline)与用于获得粗真空的真空泵例如干泵连接。目前涡轮泵在半导体制造中也得到了广泛应用。但是，专利技术人研究发现，由于某些半导体制程会生成一些不稳定的物质，例如某些含氟工艺中的氟与电离后的钨(W)反应后会产生不稳定的氟化钨，这些不稳定物质在适当的温度下容易沉积与涡轮泵的泵体连接的粗抽真空管道内壁，长时间积累后容易造成管道堵塞，进而导致涡轮泵故障，影响生产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种抽真空装置，以改善现有技术中真空泵泵体内的反应物质因温度的变化凝结成固态吸附于与真空泵连接的管道内壁上，导致设备故障的问题。为了达到上述目的，本技术提供了一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，包括：真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。可选的，在所述抽真空装置中，所述传热件为环形结构，以环覆于所述泵体的外表面。可选的，在所述抽真空装置中，所述冷却管路与一水冷系统连接，所述冷却管路包括进水口和出水口，所述抽真空装置还包括设置于所述冷却管路与所述水冷系统之间的一进水管和一出水管，所述进水口与所述进水管连接，所述出水口与所述出水管连接。可选的，在所述抽真空装置中，在所述出水管上设置有一温度显示器，以显示所述泵体内的温度。可选的，在所述抽真空装置中，所述抽真空装置还包括一与所述传热件连接的控制器，以控制所述传热件加热所述泵体。可选的，在所述抽真空装置中，所述控制器还与所述冷却管路连接，以控制所述冷却管路冷却所述泵体。可选的，在所述抽真空装置中，所述泵体内的温度范围为18℃～50℃。可选的，在所述抽真空装置中，所述真空泵为涡轮泵，所述抽真空装置还包括与所述泵体连接的一粗抽真空管道。可选的，在所述抽真空装置中，在所述粗抽真空管道外壁上设置一厚度传感器，用于获得所述粗抽真空管道内壁的沉积物厚度。可选的，在所述抽真空装置中，所述厚度传感器为超声波传感器。本技术提供的抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，包括：真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。本技术采用传热件和冷却管路调节泵体内的温度，从而可以根据工艺腔室内反应物的不同，调节泵体内的温度处于一适当的范围内，在该适当的范围内，反应物保持为气态从而易于被真空管道排出，避免沉积。具体而言，通过所述传热件可给所述泵体内升温，以使所述泵体内的物质一直为气态，随着真空管道被抽出，有效的抑制了所述泵体内的物质因温度太低凝结成固态吸附于所述真空管道内壁上，避免了所述泵体的出口被堵塞；通过冷却管路可给所述泵体内降温，避免泵体内温度过高导致真空泵突然停机，工艺腔室真空环境受破坏，影响生产。进一步的，本专利技术的抽真空装置还包括与所述泵体连接的一粗抽真空管道，在所述粗抽真空管道外壁上设置有厚度传感器，用于获得所述粗抽真空管道内壁的沉积物厚度，有利于及时了解管道是否被堵塞，以及被堵塞的程度，避免真空泵故障。附图说明图1为本技术的一个实施例提供的抽真空装置的示意图。其中，11-泵体；12-干泵；13-粗抽真空管道；21-传热件；31-冷却管路；32-温度显示器；33-水冷系统；34-进水管；35-出水管；41-控制器；51-厚度传感器；61-工艺腔室；62-进气管。具体实施方式下面将结合示意图对本技术的抽真空装置的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本技术中抽真空装置的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图1，图1为本技术的一个实施例提供的抽真空装置的示意图。如图1所示，本技术提供了一种抽真空装置，用于对一工艺腔室61抽真空，包括：真空泵，所述真空泵的泵体11与所述工艺腔室61连接；以及在所述泵体11外表面分区域贴附设置的传热件21和冷却管路31，用于调节所述泵体11内的温度。本技术采用传热件21和冷却管路31调节泵体11内的温度，从而可以根据工艺腔室61内反应物的不同，调节泵体11内的温度处于一适当的范围内，在该适当的范围内，反应物保持为气态从而易于被真空管道排出，避免沉积。具体而言，通过所述传热件21可给所述泵体11内升温，以使所述泵体11内的物质一直为气态，随着真空管道被抽出，有效的抑制了所述泵体11内的物质因温度太低凝结成固态吸附于所述真空管道内壁上，避免了所述泵体11的出口被堵塞；通过冷却管路31可给所述泵体11内降温，避免泵体11内温度过高导致真空泵突然停机，工艺腔室61真空环境受破坏，影响生产。进一步的，所述传热件21为环形结构，以环覆于所述泵体11的外表面，如图1所示。使所述泵体11内四周的温度得到提升，避免出现局部温度过高或局部温度过低的情况，有效的抑制了所述泵体11内的物质因温度太低凝结成固态吸附在与所述泵体11连接的真空管道内壁上，避免了所述泵体11的出口被堵塞。在本技术所提供的抽真空装置中，所述冷却管路31可以包括一冷却模块，所述冷却管路31可以设置于所述工艺腔室61的底部，也可以设置于所述泵体11的顶部。所述冷却管路31与一水冷系统33连接，所述冷却管路31包括进水口和出水口，所述抽真空装置还包括设置于所述冷却管路31与所述水冷系统33之间的一进水管34和一出水管35，所述进水口与所述进水管34连接，所述出水口与所述出水管35连接，以实现对泵体11的冷却效果。所述水冷系统33与所述冷却管路31通过所述进水管34和所述出水管35连通，在所述出水管35上设置有一温度显示器32，以显示所述泵体11内的温度。在一个实施例中(未示出)，所述抽真空装置还包括一控制器41，所述控制器41与所述传热件21和所述冷却管路31连接。所述控制器41通过控制所述传热件21和所述冷却管路31，使所述泵体11内部温度处于设定范围内。在另一实施例中(未示出)，所述抽真空装置还包括一控制器41，所述控制器41与所述传热件21连接，所述控制器41通过控制所述传热件21使泵体11内部升温，所述冷却管路31获取温度显示器32的数据，以使泵体11内部降温，综上，本实施例通过分别控制所述传热件21和所述冷却管路31以控制所述泵体11的温度，使所述泵体11内部温度处于设定范围内。故本实施例中该降温操作是实时的，若出现当前温度高于预设的目标温度范围，则可以直接进行降温，无需控制器41控制。采用本实施例中的所述温度控制的优点在于：(1)加热装置安装简单，温度可控，风险小；(2)有效减少不必要的停机情况，提高产能，增加收益；(3)延长所述抽真空装置的寿命。进一步的，所述泵体11与工艺腔室61连通。在本技术中，所述抽真空装置中的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，其特征在于，包括：真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。

【技术特征摘要】
1.一种抽真空装置，用于对一工艺腔室抽真空，其特征在于，包括：真空泵，所述真空泵的泵体与所述工艺腔室连接；以及在所述泵体外表面分区域贴附设置的传热件和冷却管路，用于调节所述泵体内的温度。2.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述传热件为环形结构，以环覆于所述泵体的外表面。3.如权利要求1所述的抽真空装置，其特征在于，所述冷却管路与一水冷系统连接，所述冷却管路包括进水口和出水口，所述抽真空装置还包括设置于所述冷却管路与所述水冷系统之间的一进水管和一出水管，所述进水口与所述进水管连接，所述出水口与所述出水管连接。4.如权利要求3所述的抽真空装置，其特征在于，在所述出水管上设置有一温度显示器，以显示所述泵体内的温度。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘凯，洪纪伦，吴宗祐，林宗贤，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32