A shape measuring device is provided to enable users to easily grasp the rough surface shape of the desired surface of the measuring object. Multiple designated points are assigned on the reference image RI. The light is radiated to a plurality of parts corresponding to the plurality of designated points of the measuring object. Calculate the deviation of several parts relative to the approximate plane. Deviation image is generated based on deviation. In the deviation image, the deviations of the parts corresponding to each of the designated points of the measuring object are displayed.
【技术实现步骤摘要】
形状测量装置
本专利技术涉及一种对测量对象的表面形状进行测量的形状测量装置。
技术介绍
使用形状测量装置来对测量对象的表面形状进行测量。例如,在JP-A-2010-43954(专利文献1)中描述的尺寸测量装置中,通过光学耦合器将白光源辐射的光分成测量光束和参考光束。测量光束由测量对象扫描光学系统扫描,照射在被测对象表面的任何测量点上。参考光束照射在参考光扫描光学系统上。基于被测对象反射的测量光束与参考光束的干涉来计算被测对象的测量点的表面高度。通过使用专利文献1中描述的尺寸测量装置,可测量出测量对象的期望部分的形状。在这种情况下,关于具有平坦接合表面的测量对象,可以通过测量接合表面上的多个部分的表面高度来计算接合表面的平坦度。可以基于计算的平坦度确定测量对象的通过/失败。对于这种接合表面,更详细地讲,期望的是不仅要掌握表面的平坦度,而且要掌握表面的不均匀状态。然而,即使形状测量装置的用户可知晓接合表面上的多个测量点的表面高度的值,也很难从所述多个值中掌握接合表面的粗糙表面形状。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种形状测量装置,使用户能够容易地掌握测量对象的期望表面的粗糙表面形状。(1)根据本专利技术的形状测量装置包括:图像获取部分,其被构造为获取包括测量对象的真实图像;位置获取部分,其被构造为获取通过图像获取部分获取的测量对象的真实图像上的多个指派的点的位置;发光部分,其被构造为发射光;偏转部分,其被构造为偏转从发光部分发射的光并将光辐射至测量对象上;光接收部分,其被构造为从测量对象接收光,并且输出指示接收到的光量的光接收信号;驱动控制部分,其被构造为控 ...
【技术保护点】
1.一种形状测量装置,包括:图像获取部分,其被构造为获取包括测量区域的图像;位置获取部分,其获取通过所述图像获取部分获取的图像上的多个位置作为多个指派的点;光发射器,其发射光;偏转器,其将从光发射器发射的光朝着与所述图像关联的测量区域中的点偏转;光接收器,其从与所述图像关联的测量区域接收光,并且产生对应于从所述测量区域接收到的光的光接收信号;驱动控制器,其控制所述偏转器偏转所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的多个部分上的光;坐标计算部分,其基于(a)所述偏转器的偏转方向或通过所述偏转器偏转的光在所述图像上的辐射位置和(b)通过所述光接收器产生的光接收信号,来计算所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的坐标;平面获取部分,其基于通过所述坐标计算部分计算的所述测量区域中的所述多个部分的坐标来确定近似平面;偏差计算部分,其基于所述多个部分的坐标来计算分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分相对于通过所述平面获取部分获取的近似平面的偏差;以及偏差图像产生部分,其产生偏差图像,所述偏差图像表示通过所述偏差计算部分计算的分别与所述多个指派的点对应的偏差。
【技术特征摘要】
2017.10.18 JP 2017-2020681.一种形状测量装置,包括:图像获取部分,其被构造为获取包括测量区域的图像;位置获取部分,其获取通过所述图像获取部分获取的图像上的多个位置作为多个指派的点;光发射器,其发射光;偏转器,其将从光发射器发射的光朝着与所述图像关联的测量区域中的点偏转;光接收器,其从与所述图像关联的测量区域接收光,并且产生对应于从所述测量区域接收到的光的光接收信号;驱动控制器,其控制所述偏转器偏转所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的多个部分上的光;坐标计算部分,其基于(a)所述偏转器的偏转方向或通过所述偏转器偏转的光在所述图像上的辐射位置和(b)通过所述光接收器产生的光接收信号,来计算所述测量区域中的分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分的坐标;平面获取部分,其基于通过所述坐标计算部分计算的所述测量区域中的所述多个部分的坐标来确定近似平面;偏差计算部分,其基于所述多个部分的坐标来计算分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分相对于通过所述平面获取部分获取的近似平面的偏差;以及偏差图像产生部分,其产生偏差图像,所述偏差图像表示通过所述偏差计算部分计算的分别与所述多个指派的点对应的偏差。2.根据权利要求1所述的形状测量装置,还包括显示形式设置部分,其设置偏差与颜色或密度之间的对应关系,其中,所述偏差图像产生部分基于通过所述显示形式设置部分设置的对应关系产生所述偏差图像,以使得按照与通过所述偏差计算部分计算的偏差对应的颜色或密度来显示所述多个部分。3.根据权利要求1或2所述的形状测量装置,其中,所述偏差计算部分通过对分别与所述多个指派的点对应的所述偏差计算部分计算的偏差进行插值,来计算除分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分以外的区域的偏差,并且所述偏差图像产生部分产生的偏差图像还表示通过所述偏差计算部分计算的除分别与所述多个指派的点对应的所述多个部分以外的区域的偏差。4.根据权利要求1或2所述的形状测量装置,还包括显示器,其显示通过所述偏差图像产生部分产生的、叠加在通过所述图像获取部分获取的图像上的偏差图像,所述偏差图像叠加在通过所述图像获取部分获取的图像上。5.根据权利要求4所述的形状测量装置,其中,所述显示器还在所述偏差图像上显示指示了分别与所述多个指派的点对应的位置的指示符。6.根据权利要求1或2所述的形状测量装置,其中,所述偏差计算部分还基于通过所述平面获取部分获取的近似平面和所述多个部分的偏差来计算与所述多个部分关联的平坦度。7.根据权利要求1或2所述的形状测量装置,其中,所述位置获取部分还获取通过所述图像获取部分获取...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。