用于抓取和运输基底的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于抓取和运输基底、尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的装置(1)，该装置具有抓取头(2)，抓取头具有形成用于放置到基底上的支承面(29)的至少一个运输带(16)，其中，运输带(16)在抓取头(2)的下侧上沿着滑动面(15)被引导，并且其中，抓取头(2)具有用于将基底吸附到支承面(29)上的抽吸装置。滑动面(15)构造成朝向下弯曲的。

Devices for Grabbing and Transporting Bases

The invention relates to a device (1) for grabbing and transporting a substrate, especially a wafer, solar cell, circuit board, etc. The device has a grabbing head (2), which has at least one conveyor belt (16) forming a support surface (29) for placing on the substrate, in which the conveyor belt (16) is guided along a sliding surface (15) on the lower side of the grabbing head (2), and in which the grabbing head (2) has a grabbing head (2) for use. A suction device for adsorbing a base to a supporting surface (29). The sliding surface (15) is constructed to bend downward.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于抓取和运输基底的装置
本专利技术涉及一种用于抓取(Greifen)和运输基底(Substrat)，尤其是晶片、太阳能电池、电路板等的装置，该装置具有抓取头，该抓取头具有形成用于放置到基底上的支承面的至少一个运输带，其中，运输带在抓取头的下侧上沿着运行轨道被引导，以及该抓取头具有用于将基底吸附到支承面上的抽吸装置。
技术介绍
本文开始所述类型的装置在现有技术已知。在加工基底，如晶片、太阳能电池、电路板等时，通常需要使基底例如从第一加工工位运动至第二加工工位。这可手动地进行，但是优选自动化地实施，以便尤其是还能够满足净化需求。为了使基底本身或布置在基底上的构件，例如电子/电气零件在运输期间不受到损坏，需要提供一种装置，该装置能够确保可靠且谨慎地运输基底，在此还须同时满足效率和生产率的要求。已经发现不再形状配合地或以机械方式抓取基底，而是通过负压或真空来保持或抓取和运输基底的装置是有利的实现方案。由此已知具有抓取头的装置，抓取头具有至少一个支承面用于放置到相应的基底上。因此，抓取头不是从下方或从侧面被引向基底，而是从上方放置到基底上，或使基底从下方被引至抓取头。此外，这种抓取头具有抽吸装置，该抽吸装置产生真空或负压，以将基底吸到支承面上，从而通过负压使基底被保持或抓取在该支承面上。如果抓取头还具有用于运输所吸取的基底的运输带，则重要的是，尤其是在运输时要维持负压。如果例如运输带与其至少部分地沿其运行的滑动面脱开，就会使失效空气(Fehlluft)侵入并使作用到基底上的负压减小。为了不使基底不期望地从抓取头上脱开，因此重要的是，要防止运输带从抓取头或从滑动面上脱开。这尤其是在运输带例如具有与抽吸装置共同作用的抽吸口、负压通过运输带本身作用到基底上时是重要的。最接近的解决方案是为运输带设置用于防止与滑动面脱开的预紧(Vorspannung)。在其他的
中也已知，设置用于实现预紧的、可运动的、例如加载有弹簧力的皮带张紧器。但是此处的缺点是，要将皮带拉紧到滑动面上并且随着皮带应力的增加使摩擦和磨损以及使运输带运动所需的能量增加。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的是，在这种装置中持久地确保运输带可靠地贴靠在滑动面上并且克服上述缺陷。本专利技术的目的通过具有权利要求1的特征的装置实现。该装置具有的优点是，皮带应力局部地与滑动面匹配并且不是通过单独的皮带张紧器施加到运输带上。由此降低了运输带本身的负荷以及运输带和滑动面上的磨损。由此也还可使用现有的驱动装置来使运输带运输或运动，因为在运输带和滑动面之间的摩擦仅造成微小提高的摩擦力矩。根据本专利技术，这通过以下方式实现，即，将沿着其引导运输带的滑动面构造成向下凸出地弯曲的。因此，滑动面的弯曲朝要抓取的基底的方向或朝重力的方向延伸。由此滑动面朝运输带由于尤其是其自重而被拉伸的方向凸出。该尤其是在运输带的运行方向上的弯曲防止了运输带由于其自重和/或由于吸附在运输带上的基底而与滑动面脱开，因为皮带通过弯曲局部地被相应地预紧。由于通过弯曲提供了向下的滑动面，在运输时不会在运输带和滑动面之间产生过高的摩擦力。由此通过简单且成本有利的技术措施实现了上述优点。根据本专利技术的优选的改进方案，弯曲部在整个滑动面上或沿着整个滑动面延伸。由此整个滑动面弯曲地构造并且最终在其纵向延伸上或在运输带的运行方向上具有弧形。通过使弯曲部在整个滑动面上延伸实现了，使运输带在滑动面的整个长度上相对于滑动面预紧，由此可靠地防止了运输带从滑动面上脱开并产生失效空气。特别优选地设置成，如此构造弯曲部，弯曲部使运输带在滑动面的整个长度上相对于滑动面预紧。因此如此选择曲率，即，使运输带沿着越过运输带在负荷下从直线的滑动面下垂的路段的一路段被引导。由此确保，运输带持久地在滑动面的长度上保持在滑动面上或被压到滑动面上以及密封在滑动面上并且因此避免了失效空气。根据本专利技术的有利的改进方案，滑动面在抓取头的支承结构的整个下侧上延伸。由此，使滑动面基本上在抓取头的整个纵向延伸上被引导并因此为需要运输的基底提供相应大的运动路程。此外，滑动面在支承结构的整个下侧上延伸时，简化了对运输带的引导，因为运输带在抓取头的端部上必须朝上侧返回且返回到上侧上。由此避免在支承结构和运输带之间的摩擦点，在摩擦点上可出现较高的磨损。此外优选地，运输带在至少两个转向滚轮上被引导，该至少两个转向滚轮分别对应滑动面的一个端部。因此，转向滚轮尤其分别对应抓取头的支承结构的一个端部，从而将运输带从滑动面引导至第一转向滚轮且从第一转向滚轮尤其是越过支承结构的上侧引导至第二滚轮，从此处将运输带再次输送给滑动面。由此得到特别简单的皮带传动，其具有很少的磨损点且因此能持久地确保运输带在滑动面上的可靠的贴靠接触。根据本专利技术的有利的改进方案，为其中至少一个转向滚轮配备驱动机构。借助驱动机构可驱动相应的转向滚轮或可加载扭矩，从而使运输带以期望的运动方向沿着滑动面输送。此外优选地设置成，支承结构具有至少一个真空腔，真空腔在流动技术上一端与至少一个文丘里喷嘴的抽吸接头连接并且另一端与为运输带分配的多个抽吸口连接。因此，在真空腔中借助文丘里喷嘴产生相应的负压时，待抓取的基底直接吸在相应的运输带上。借助文丘里喷嘴可快速地建立负压并且也可再次消除负压。因此尤其文丘里喷嘴在抽吸侧具有可操作的阀，阀可完全地打开以及完全地封闭文丘里喷嘴的抽吸侧的流动横截面。尤其阀构造成比例阀，比例阀也实现了中间状态，从而将真空腔中的负压调节到期望的值。存在于真空腔中的负压通过抽吸口作用到待吸取的基底上并且将其直接吸到支承面上，支承面由运输带形成。优选地，支承结构具有多个真空腔，其彼此分开并且分别为其分配自身的文丘里喷嘴，从而可在真空腔中设定不同的负压。由此例如可在滑动面的一端上吸取基底，而同时在滑动面的另一端上放下基底。吸取口例如紧挨运输带地构造或构造在两个彼此平行运行的运输带之间，从而在运输带之间形成真空腔，其将待运输的基底吸到运输带上。有利地，抽吸口构造在运输带上，其中，支承结构具有贯通孔，贯通孔从滑动面引至真空腔。通过使抽吸口直接构造在运输带中，运输带可与滑动面或支承结构中的贯通孔共同作用，从而根据运输带的位置使负压直接作用到运输带中的抽吸口上。由此可将基底直接吸到运输带上并且仅需要施加很小体积的负压。优选地，贯通孔通入滑动面中的纵向槽中，纵向槽位于运输带之下，其中，运输带的抽吸口构造在纵向槽的区域中。由此确保，可在整个滑动面上设定在运输带的抽吸口处的负压，从而可将基底无间断地从滑动面的一端运输直至滑动面的另一端。此外优选地设置成，运输机构具有至少两个、尤其刚好两个运输带，运输带彼此平行且彼此间隔开地布置在抓取头上。对此，运输带如前所述地构造并且保持在抓取头上。尤其两个运输带分别具有多个抽吸口，抽吸口与支承结构中的贯通孔和对应的真空腔共同作用。对此，相邻的运输带可分别与其中的一个或共同的真空腔共同作用。通过设置两个运输带，可以简单的方式使基底例如在其边缘区域上被抓取和运输。由此提高了在设计基底时的自由度并且简化了运输。尤其由此可对相应的基底对称地加载保持力，由此降低相应的基底在运输时的负荷。附图说明下面根据附图详细阐述本专利技术。对此示出：图1在简化的侧视图中示出了用于抓取和运输基底的装置；图2在俯本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于抓取和运输基底，尤其晶片、太阳能电池、电路板等的装置(1)，所述装置具有抓取头(2)，所述抓取头具有形成用于放置到基底上的支承面(29)的至少一个运输带(16)，其中，所述运输带(16)在所述抓取头(2)的下侧上沿着滑动面(15)被引导，以及其中，所述抓取头(2)具有用于将所述基底吸附到所述支承面(29)上的抽吸装置，其特征在于，所述滑动面(15)构造成向下弯曲的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.07.29 DE 102016214093.01.一种用于抓取和运输基底，尤其晶片、太阳能电池、电路板等的装置(1)，所述装置具有抓取头(2)，所述抓取头具有形成用于放置到基底上的支承面(29)的至少一个运输带(16)，其中，所述运输带(16)在所述抓取头(2)的下侧上沿着滑动面(15)被引导，以及其中，所述抓取头(2)具有用于将所述基底吸附到所述支承面(29)上的抽吸装置，其特征在于，所述滑动面(15)构造成向下弯曲的。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述弯曲在整个滑动面(15)上延伸。3.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，如此构造所述弯曲，所述弯曲使所述运输带(16)在所述滑动面(15)的整个长度上相对于所述滑动面(15)预紧。4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述滑动面(15)在所述抓取头(2)的支承结构(3)的整个下侧上延伸。5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述运输带(16)在至少两个转向滚轮(18、19)上被引导，所述至少两个转向滚轮分别对应所述滑动面(...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗洛里安·瓦姆斯勒，阿希姆·阿诺德，克劳斯·奥佩尔特，
申请(专利权)人：亚席斯自动化系统有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE