一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法，蚀刻装置包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽。本发明专利技术将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。

A Vertical Etching Device for FMM Metal Sheet and Its Etching Method

The invention discloses a vertical etching device for FMM metal sheet and an etching method thereof. The etching device comprises an etching container with etching liquid and a conveying mechanism for conveying FMM metal sheet. The etching container is provided with a feed slot and a discharge slot. The etching device of the whole FMM metal sheet is arranged vertically so as to facilitate the injection and discharge of etching liquid. At the same time, the spray mechanism is set on both sides of the FMM metal sheet arranged vertically, which can reduce the retention of etching liquid on both sides of the FMM metal sheet, thereby improving the uneven etching phenomenon caused by the retention of etching liquid, and is beneficial to improving the etching of both sides of the FMM metal sheet. Uniformity.

【技术实现步骤摘要】
一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法
本专利技术涉及FMM金属薄板
，具体是一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法。
技术介绍
目前高阶手机使用的AMOLED面板的主要生产方法是采用真空蒸镀，而真空蒸镀必须用到精细金属遮罩FMM金属薄板，FMM金属薄板的材料主要是一种低膨胀金属。一般FMM金属薄板使用因瓦金属(invar)制得，因瓦金属的成分主要为含36％镍的铁属合金，FMM金属薄板的厚度很薄，大约在20-30um。而很薄的因瓦金属生产困难、供应有限，一般都被国外企业限定只卖给特定公司，因此，在市场上只能买到厚度较厚的因瓦金属，为制得满足使用需求的、较薄的FMM金属薄板，急需一种可控的减薄装置与方法对较厚因瓦金属进行加工，以制得满足使用需求的FMM金属薄板。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置及其蚀刻方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构；所述蚀刻容器上开设有进料槽与出料槽；FMM金属薄板通过所述传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置，并在传送机构带动下垂直通过所述进料槽进入蚀刻容器内、在传送机构带动下垂直通过所述出料槽输出蚀刻容器；在蚀刻容器内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构。将FMM金属薄板的两端分别与传送机构固定连接、并使得FMM金属薄板在传送机构的带动下垂直通过进料槽进入蚀刻容器、经蚀刻后垂直通过出料槽输出蚀刻容器，实现对FMM金属薄板的平稳传送，确保FMM金属薄板蚀刻的均匀性，有效提高FMM金属薄板的蚀刻质量，满足使用需求。具体使用时，在蚀刻容器内灌装一定量的蚀刻液，使得FMM金属薄板缠绕于传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构。在蚀刻过程中，喷液机构以一定的角度、一定的压力以及一定的速度喷出蚀刻液，实现对蚀刻容器内蚀刻液的搅动、并使得蚀刻液通过搅动产生紊流，进而实现对FMM金属薄板两面的均匀蚀刻。设置在蚀刻容器内的喷液机构对称设置于FMM金属薄板呈竖直方向布置的两侧，且喷液机构可沿着竖直方向上下移动，喷液机构喷出的蚀刻液角度、压力以及速度均控制在一定范围内，并可根据具体使用需求进行调整，进一步确保对FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量；将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排布，便于蚀刻液的注入与排出，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，可减少蚀刻液在FMM金属薄板两面的滞留，进而改善蚀刻液滞留造成的蚀刻不均匀等现象，有利于改善FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性。作为本专利技术进一步的方案：所述喷液机构包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵与右喷洒矩阵，左喷洒矩阵与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。作为本专利技术进一步的方案：所述左喷洒矩阵与所述右喷洒矩阵均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架、沿着所述固定支架上下移动的移动支架、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴；所述移动支架与所述固定支架相互垂直。作为本专利技术进一步的方案：两相邻所述喷嘴之间的间距Δh与所述喷嘴和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系。作为本专利技术进一步的方案：所述喷嘴为可摇摆式喷嘴；所述喷嘴的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。作为本专利技术进一步的方案：当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈凹字形布置时，所述进料槽与所述出料槽对称开设于蚀刻容器的上表面；当FMM金属薄板在蚀刻容器内L形布置时，所述进料槽开设于蚀刻容器的上表面、所述出料槽开设于蚀刻容器的一侧面。作为本专利技术进一步的方案：当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈凹字形布置时，所述传送机构包括设置于进料槽上方的进料轮与进料支撑轮、设置于出料槽上方的出料轮与出料支撑轮、以及设置于蚀刻容器中的两中间轮，所述进料支撑轮与浸在蚀刻液中的其中一中间轮位于同一竖直线上、所述出料支撑轮与浸在蚀刻液中的另一中间轮位于同一竖直线上；当FMM金属薄板在蚀刻容器内呈L形布置时，所述传送机构包括设置于进料槽上方的进料轮与进料支撑轮、设置于出料槽外侧的出料轮与出料支撑轮、以及设置于蚀刻容器中的中间轮，所述中间轮与所述进料支撑轮位于同一竖直线上、且所述中间轮与所述出料支撑轮位于同一水平线上。本专利技术还提供了如下技术方案：一种FMM金属薄板竖直式蚀刻装置的蚀刻方法，包括如下步骤：(1)将FMM金属薄板通过传送机构在蚀刻容器内呈凹字形或L形布置、使得FMM金属薄板的下部浸入蚀刻容器的蚀刻液中；(2)开启竖直式蚀刻装置的传送机构，并将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内；(3)开启喷液机构，并控制喷液机构的喷嘴压力在1.5～2kg/cm2范围内。将FMM金属薄板的首端与设置于进料槽上方的进料轮相连、末端与设置于出料槽外侧的出料轮相连，并将FMM金属薄板的中间段依次缠绕于进料支撑轮、中间轮、以及出料支撑轮，使得FMM金属薄板在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置、并使得FMM金属薄板的下部浸入蚀刻容器的蚀刻液中。具体使用时，开启传送机构实现FMM金属薄板的匀速进料，并将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，在一定程度上消除因进料速度过大造成FMM金属薄板两面蚀刻的不充分，同时，避免因进料速度过小造成FMM金属薄板蚀刻的效率低下；在蚀刻过程中，将喷液机构的喷嘴压力控制在1.5～2kg/cm2范围内，避免因喷嘴压力过大造成的FMM金属薄板两面蚀刻过度，以及喷嘴压力过小造成的FMM金属薄板两面蚀刻不充分，进而确保FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量。作为本专利技术进一步的方案：所述步骤(1)中，蚀刻容器中的蚀刻液按重量包含氯化铁60％～80％、盐酸2％～10％、水20％～39％；所述蚀刻液体积V0与所述蚀刻容器总体积V之间存在0.8V≤V0≤0.9V的关系。作为本专利技术进一步的方案：所述步骤(2)中，将FMM金属薄板的进料速度控制在0.2～0.4m/s范围内，使得FMM金属薄板的料带张力为60～70N；所述步骤(3)中，喷液机构在使用前先用浓度为1％～30％的稀盐酸进行冲洗。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：(1)在蚀刻容器内灌装一定量的蚀刻液，使得FMM金属薄板缠绕于传送机构并在蚀刻容器的蚀刻液中呈凹字形或L形布置，同时，在呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设置喷液机构，通过喷液机构实现对蚀刻容器内蚀刻液的搅动、并使得蚀刻液通过搅动产生紊流，进而实现对FMM金属薄板两面的均匀蚀刻；(2)喷液机构对称设置于FMM金属薄板呈竖直方向布置的两侧，且喷液机构可沿着竖直方向上下移动，喷液机构喷出的蚀刻液角度、压力以及速度均控制在一定范围内，并可根据具体使用需求进行调整，进一步确保对FMM金属薄板两面蚀刻的均匀性，提高FMM金属薄板的蚀刻质量；(3)将整个FMM金属薄板的蚀刻装置呈竖直式排本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)；FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或L形布置，并在传送机构(2)带动下垂直通过所述进料槽(11)进入蚀刻容器(1)内、在传送机构(2)带动下垂直通过所述出料槽(12)输出蚀刻容器(1)；在蚀刻容器(1)内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构(3)。

【技术特征摘要】
1.一种FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，包括装有蚀刻液的蚀刻容器(1)、以及用以传送FMM金属薄板的传送机构(2)；其特征在于：所述蚀刻容器(1)上开设有进料槽(11)与出料槽(12)；FMM金属薄板通过所述传送机构(2)在蚀刻容器(1)内呈凹字形或L形布置，并在传送机构(2)带动下垂直通过所述进料槽(11)进入蚀刻容器(1)内、在传送机构(2)带动下垂直通过所述出料槽(12)输出蚀刻容器(1)；在蚀刻容器(1)内呈竖直方向布置的FMM金属薄板的两侧设有喷液机构(3)。2.根据权利要求1所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述喷液机构(3)包括关于呈竖直方向布置的FMM金属薄板对称设置的左喷洒矩阵(31)与右喷洒矩阵(32)，左喷洒矩阵(31)与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离、右喷洒矩阵(32)与蚀刻液中FMM金属薄板之间的水平距离均为X；所述距离X的取值范围为10cm≤X≤35cm。3.根据权利要求2所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述左喷洒矩阵(31)与所述右喷洒矩阵(32)均包括在蚀刻液中竖直布置的固定支架(301)、沿着所述固定支架上下移动的移动支架(302)、以及设置于移动支架左表面或右表面的喷嘴(303)；所述移动支架(302)与所述固定支架(301)相互垂直。4.根据权利要求3所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：两相邻所述喷嘴(303)之间的间距Δh与所述喷嘴(303)和FMM金属薄板之间的水平距离X之间存在Δh:X＝4:3的关系。5.根据权利要求3或4所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：所述喷嘴(303)为可摇摆式喷嘴；所述喷嘴(303)的摆动角度为α、且所述摆动角度α的取值范围为50°≤α≤130°。6.根据权利要求1所述FMM金属薄板的竖直式蚀刻装置，其特征在于：当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内呈凹字形布置时，所述进料槽(11)与所述出料槽(12)对称开设于蚀刻容器(1)的上表面；当FMM金属薄板在蚀刻容器(1)内L形布置时，所述进料槽(11)开设于蚀刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：简旭宏，黄俊铭，陈彦志，
申请(专利权)人：合肥永淇智材科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34