一种阴极端头主旋转轴的拆装工具制造技术

本实用新型专利技术涉及物理气相沉积领域，尤其涉及一种阴极端头主旋转轴的拆装工具。所述拆装工具包括螺杆、第一固定板和第二固定板；所述第一固定板可拆卸地安装于所述螺杆上；所述第二固定板构造有用于与所述螺杆的外螺纹相配合的内螺纹，或者，所述第二固定板与所述螺杆一体成型。本实用新型专利技术所述阴极端头主旋转轴的拆装工具，结构简单，操作方便，使用同一种拆装工具可完成安装和拆卸两个过程。

A disassembly and assembly tool for the main rotating shaft of cathode end

The utility model relates to the field of physical vapor deposition, in particular to a disassembly tool for the main rotating shaft of the cathode end. The disassembly tool includes a screw, a first fixing plate and a second fixing plate; the first fixing plate can be disassembled and mounted on the screw; the second fixing plate is constructed with internal threads matching the external threads of the screw, or the second fixing plate is integrally formed with the screw. The disassembly and disassembly tool of the main rotating shaft of the cathode end of the utility model has simple structure and convenient operation, and can complete two processes of installation and disassembly by using the same disassembly and assembly tool.

【技术实现步骤摘要】
一种阴极端头主旋转轴的拆装工具
本技术涉及物理气相沉积领域，尤其涉及一种阴极端头主旋转轴的拆装工具。
技术介绍
阴极是PVD(物理气相沉积)设备的核心部件，阴极端头部分的主要功能是驱动靶管旋转，连通冷却水，传递电位关系以及密封真空等。端头内部的主旋转轴是一个空心轴，其上安装着同步带轮、轴承和密封装置。因为必须要密封真空，所以此轴与端头机壳紧密配合，直接安装与拆卸比较困难，必须借助于工装。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是提供一种阴极端头主旋转轴的拆装工具，其结构简单，操作方便，易于主旋转轴的拆装。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种阴极端头主旋转轴的拆装工具，其包括螺杆、第一固定板和第二固定板；所述第一固定板可拆卸地安装于所述螺杆上；所述第二固定板构造有用于与所述螺杆的外螺纹相配合的内螺纹，或者，所述第二固定板与所述螺杆一体成型。进一步地，所述第二固定板在所述螺杆上的移动行程大于等于主旋转轴在端头机壳内的移动行程。进一步地，所述螺杆包括第一螺纹段、第二螺纹段，以及将所述第一螺纹段和第二螺纹段分隔开的轴肩段；所述轴肩段的轴向两端均构造有轴肩；所述第一固定板通过与所述第一螺纹段配合的螺母固定于所述轴肩段的轴肩上，所述第二固定板设于所述第二螺纹段上。优选的，所述螺母为多个。使用时，螺母与对应的轴肩共同对第一固定板进行夹持，从而使得第一固定板固定于螺杆上。进一步地，所述第二螺纹段的长度大于所述第一螺纹段的长度。进一步地，所述第一固定板开设有用于供所述螺杆穿过的第一通孔。进一步地，所述第一固定板上开设有用于与所述待拆装主旋转轴连接的第一螺丝孔。进一步地，所述第一螺丝孔为多个，多个所述第一螺丝孔间隔均匀。进一步地，所述第二固定板上开设有用于供所述螺杆穿过的第二通孔，所述第二通孔为与所述螺杆的外螺纹相配合的螺纹孔。进一步地，所述第二固定板上开设有用于与端头机壳连接的光孔和/或第二螺丝孔。进一步地，所述光孔和第二螺丝孔间隔设置，且所述光孔和第二螺丝孔均为多个。进一步地，所述的阴极端头主旋转轴的拆装工具还包括夹具，所述螺杆的一端构造为扁平部，所述夹具通过夹持所述扁平部拧转所述螺杆。优选的，所述扁平部构造于所述螺杆中与所述第二固定板相邻的一端。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有以下有益效果：本技术所述阴极端头主旋转轴的拆装工具，结构简单，操作方便，使用同一种拆装工具可完成安装和拆卸两个过程。操作过程中，第一固定板作为与待拆装主旋转轴相连接的拉板，并在螺杆的带动下拉动主旋转轴进行拆卸和安装行程；第二固定板与螺杆螺纹连接，且可与端头机壳连接，从而为螺杆的轴向移动提供着力点，可使拆卸和安装行程缓慢行进，到位准确，使螺杆的顶升作用施力均匀，确保了操作过程中主旋转轴的移动稳定性。另外，由于螺杆构造了轴肩，使得受力点集中在了轴肩部位，从而大大减轻了主旋转轴的受力和损伤。附图说明图1为本技术实施例1所述阴极端头主旋转轴的拆装工具在拆卸操作时的结构示意图(图中箭头示出拆卸方向)；图2为本技术实施例1所述阴极端头主旋转轴的拆装工具在安装操作时的结构示意图(图中箭头示出安装方向)；图3为本技术实施例2所述阴极端头主旋转轴的拆装工具在安装操作时的结构示意图(图中箭头示出安装方向)；其中，1、螺杆；2、螺母；3、第一固定板；4、主旋转轴；5、端头机壳；6、第二固定板；7、扁平部；8、螺钉；9、第一螺纹段；10、第二螺纹段；11、轴肩段。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“前”、“后”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例1如图1～图2所示，本实施例提供了一种阴极端头主旋转轴的拆装工具，其包括螺杆1、第一固定板3和第二固定板6；第一固定板3可拆卸地安装于螺杆1上；第二固定板6构造有用于与螺杆1的外螺纹相配合的内螺纹。具体而言：第二固定板6在螺杆1上的移动行程大于等于主旋转轴在端头机壳内的移动行程，从而确保螺杆1能够移动足够的行程，以便于主旋转轴4能够完全从端头机壳5内旋进或旋出。螺杆1具体包括第一螺纹段9、第二螺纹段10，以及将第一螺纹段9和第二螺纹段10分隔开的轴肩段11；轴肩段11的轴向两端均构造有轴肩；第一固定板3可通过与第一螺纹段9配合的螺母2固定于轴肩段11的左边轴肩上，第二固定板6设于第二螺纹段10上。使用时，螺母2与左边轴肩共同对第一固定板3进行夹持，从而使得第一固定板3固定于螺杆1上。螺母2可为多个，以增强第一固定板3的牢固性，本实施例的螺母2优选为两个。为确保第二固定板6在螺杆1上的移动行程大于等于主旋转轴4在端头机壳5内的移动行程，如图1和图2所示，本实施例中第二螺纹段10的长度大于第一螺纹段9的长度。第一固定板3开设有用于供螺杆1穿过的第一通孔，以及用于与主旋转轴4连接的第一螺丝孔。第一螺丝孔为多个，多个第一螺丝孔间隔均匀。第二固定板6上开设有用于供螺杆1穿过的第二通孔，第二通孔为与螺杆1的外螺纹相配合的螺纹孔，用于将第二固定板6与螺杆1螺纹连接。第二固定板6上还开设有用于与端头机壳5连接的第二螺丝孔或光孔，第二螺丝孔或光孔可为多个，且多个第二螺丝孔或光孔间隔均匀。为便于螺杆1的旋转，本实施例的拆装工具还包括夹具(图中未示出)，螺杆1的一端构造为扁平部7，夹具通过夹持扁平部7拧转螺杆1。扁平部7构造于螺杆1中与第二固定板6相邻的一端(即第二螺纹段10的端部)。夹具可以为本领域能够使螺杆1旋转的任何部件，本实施例的夹具优选为扳子。本拆装工具的使用方法如下：参见图1，拆卸主旋转轴4时，先将螺杆1的第二螺纹段通过螺纹配合与第二固定板6旋转连接，将螺杆1自端头机壳5的右端穿过端头机壳5，使用螺钉8将第二固定板6安装在端头机壳5上。旋转螺杆1，使螺杆1左部轴肩与主旋转轴4左端面基本平齐。之后使螺杆1穿过第一固定板3，将第一固定板3通过螺钉8和第一螺丝孔安装在主旋转轴4的端面上。此时可以旋转螺杆1进行调整，使螺杆1位置适合，第一固定板3安装牢固，再将两个螺母2上好拧紧。最后使用夹具(例如扳子)捏住螺杆1的第二螺纹段10尾部(即螺杆1右端)，旋转螺杆1，使螺杆1沿着第二固定板6的内螺纹轴向向左移动，从而带动第一固定板3向左移动，第一固定板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种阴极端头主旋转轴的拆装工具，其特征在于，包括螺杆、第一固定板和第二固定板；所述第一固定板可拆卸地安装于所述螺杆上；所述第二固定板构造有用于与所述螺杆的外螺纹相配合的内螺纹，或者，所述第二固定板与所述螺杆一体成型。

【技术特征摘要】
1.一种阴极端头主旋转轴的拆装工具，其特征在于，包括螺杆、第一固定板和第二固定板；所述第一固定板可拆卸地安装于所述螺杆上；所述第二固定板构造有用于与所述螺杆的外螺纹相配合的内螺纹，或者，所述第二固定板与所述螺杆一体成型。2.根据权利要求1所述的阴极端头主旋转轴的拆装工具，其特征在于，所述第二固定板在所述螺杆上的移动行程大于等于主旋转轴在端头机壳内的移动行程。3.根据权利要求2所述的阴极端头主旋转轴的拆装工具，其特征在于，所述螺杆包括第一螺纹段、第二螺纹段，以及将所述第一螺纹段和第二螺纹段分隔开的轴肩段；所述轴肩段的轴向两端均构造有轴肩；所述第一固定板通过与所述第一螺纹段配合的螺母固定于所述轴肩段的轴肩上，所述第二固定板设于所述第二螺纹段上。4.根据权利要求3所述的阴极端头主旋转轴的拆装工具，其特征在于，所述第二螺纹段的长度大于所述第一螺纹段的长度。5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙洁，刘成林，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11