The utility model relates to a high-temperature film-plated driving fork mechanism of a vacuum furnace. A groove is arranged in the middle of the fork pulling seat for placing the motor spindle. The fork pulling seat and the motor spindle are connected by screws. The driving pins are respectively installed on both sides of the fork pulling seat. The upper part of the driving pin is provided with a positioning ring, and the outer part of the driving pin is provided with a high-temperature spring. The high-temperature film-plating driving fork mechanism of the vacuum furnace of the utility model can achieve the purpose of transmission without accurate alignment; it has simple structure, no alignment, convenient installation and simple alignment; no precise positioning of sensors; it reduces the requirement for the spindle motor, no counting of servo motors and other functions, and ordinary motors can be used.
【技术实现步骤摘要】
一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构
本技术涉及真空镀膜设备领域,尤其涉及真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机炉内的转架要求在高温500℃左右通过主轴驱动齿轮传动给多个齿轮轴自转,从而使工件缓慢匀速转动,使镀膜工件达到均匀溅射镀膜的目的。转架要求经常拆卸,每一炉都需要装卸一次转架,安装电机的主轴安装在真空室内下方需要密封固定;主轴要求与真空室密封,有循环冷却等,所以主轴是不可以经常拆卸的。这就要求转架与主轴之间连接必须精确,无误,对位准确,否则就不能满足生产需要。现有的真空镀膜机炉内传动机构,传动电机与转架主轴定位不准确,角度存在偏差;对转架的传动轴的位置、方向定位不准确;传动力矩受限,较重的工件传动有安全隐患。
技术实现思路
为了解决现有的真空炉高温镀膜传动机构存在的上述问题,本技术提供了一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构。本技术为实现上述目的所采用的技术方案是:一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构,拔叉座中部设有用于放置电机主轴的凹槽,拔叉座和电机主轴通过螺钉连接,拔叉座两侧分别安装传动销,传动销上部设有定位环,传动销上部外侧设有高温弹簧。所述传动销上部与定位环之间设有定位套。所述拔叉座上部位于电机主轴外侧设有垫圈,垫圈通过螺栓固定于拔叉座上。本技术的真空炉高温镀膜传动拨叉机构,不需要准确对位也能达到传动的目的;结构简单,无需对位等,安装对位方便简单;无需传感器精确定位;降低了对主轴电机的要求,无需伺服电机计数等功能,普通的电机即可。附图说明图1是本技术真空炉高温镀膜传动拨叉机构俯视结构图。图2是图1的D-D剖面结构图。图中:1、拔叉座,2、定位环,3、传动销,4、定位套,5、 ...
【技术保护点】
1.一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构,其特征在于:拔叉座(1)中部设有用于放置电机主轴(9)的凹槽,拔叉座(1)和电机主轴(9)通过螺钉(8)连接,拔叉座(1)两侧分别安装传动销(3),传动销(3)上部设有定位环(2),传动销(3)上部外侧设有高温弹簧(5)。
【技术特征摘要】
1.一种真空炉高温镀膜传动拨叉机构,其特征在于:拔叉座(1)中部设有用于放置电机主轴(9)的凹槽,拔叉座(1)和电机主轴(9)通过螺钉(8)连接,拔叉座(1)两侧分别安装传动销(3),传动销(3)上部设有定位环(2),传动销(3)上部外侧设有高温弹簧(5)。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:李秀艳,刘洋,
申请(专利权)人:大连维钛克科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁,21
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