一种可微调间隙的石英舟固定载具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可微调间隙的石英舟固定载具，其包括：载舟底板、分别设于该载舟底板两端的舟座。所述舟座的内侧设横向设有两个微调固定块，每一微调固定块中设有横向滑槽，所述微调固定块上设有可以横向往复滑动的支撑装置。本实用新型专利技术在舟座内侧对称设有可以横向滑动以便调整间隔的两支撑装置，通过该可微调的支撑装置能够补偿零件的加工误差和装配误差，大幅度降低设备调试人员的操作难度和完善设备的功能性，降低设备调试难度，能很好的适用于扩散炉等设备。

A fixed carrier for quartz boat with adjustable clearance

The utility model discloses a fixed carrier for a quartz boat with adjustable clearance, which comprises a boat bottom plate and a boat seat arranged at both ends of the boat bottom plate. The inner side of the boat seat is provided with two transverse fine-tuning fixing blocks. Each fine-tuning fixing block is provided with a transverse sliding groove, and the fine-tuning fixing block is provided with a support device capable of transverse reciprocating sliding. The utility model is symmetrically equipped with two supporting devices which can slide laterally to adjust the interval. Through the adjustable supporting device, the processing error and assembly error of the parts can be compensated, the operation difficulty of the equipment debugger can be greatly reduced, the function of the equipment can be improved, and the debugging difficulty of the equipment can be reduced, and the device can be well applied to the diffusion furnace and other equipment.

【技术实现步骤摘要】
一种可微调间隙的石英舟固定载具
本技术涉及石英材料产品加工工具，尤其涉及一种用于太阳能硅片加工中放置石英舟转运的固定载具。
技术介绍
石英舟固定载具是扩散炉设备上用于存放石英舟转运的一套机械装置，通过将石英舟放在该固定载具上，利用相应的传动机构可以将石英舟快速从各个暂存区及各管的推舟机构SIC桨上传送到下一个工位上去。以此取代人工操作，从而大幅度提升了生产效率。通常传输操作为：机械手从暂存区或者SIC浆取出石英舟后，通过中间的上升下降机构，将石英舟放到下方传送带上的石英舟固定载具上运出。理论上每次机械手取到石英舟后可以将其放到石英舟固定载具上的理想位置。但是由于零件的加工误差以及机架变形误差等因素影响，机械手将石英舟放到固定载具上时，位置对应会有一定的偏差，导致放置石英舟出现倾斜或不到位的问题，以致影响石英舟传送到下一工位的生产效率。因此，如何克服现有石英舟出舟产生放置倾斜或放置不到位从而影响生产效率的缺陷是业界亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术为了解决现有石英舟出舟产生放置倾斜或放置不到位以致影响生产效率的技术问题，提出这一种可微调间隙的石英舟固定载具，从而克服石英舟出舟放置倾斜或放置不到位的缺陷，大幅度完善设备的功能性，降低设备调试难度，提高生产效率。本技术提出的一种可微调间隙的石英舟固定载具，其包括：载舟底板、分别设于该载舟底板两端的舟座。所述舟座的内侧横向设有两个微调固定块，每一微调固定块中设有横向滑槽，所述微调固定块上设有可以横向往复滑动的支撑装置。较优的，所述支撑装置包括支撑架、穿插于所述横向滑槽中的并与所述支撑架固定连接的螺杆、设于该支撑架顶部及外侧的石英轴、设于该石英轴外侧的石英挡板。较优的，所述横向滑槽中还可以设有将所述螺杆向外侧顶紧的弹簧。本技术在舟座内侧对称设有可以横向滑动以便调整间隔的两支撑装置，当石英舟两侧板放置于支撑装置上时，由于设备变形或零件加工误差或装配等因素，以致石英舟不能准确放置到位，那么石英舟的侧板就会推动支撑装置横向滑动，以便石英舟的侧板通过周角的卡点自动调整位置卡在支撑装置正确位置上。通过该可微调的支撑装置能够补偿零件的加工误差和装配误差，大幅度降低设备调试人员的操作难度和完善设备的功能性，降低设备调试难度，能很好的适用于扩散炉等设备。附图说明图1为本技术较佳实施例的立体示意图；图2为本技术较佳实施例的剖视图。具体实施方式下面结合实施例和附图对本技术作进一步的说明。如图1、图2所示，为本技术提出的较佳实施例，所述可微调间隙的石英舟固定载具，其包括：载舟底板1、分别设于该载舟底板1两端的舟座2。舟座的内侧横向设有两个微调固定块3，每一微调固定块中设有横向滑槽4，微调固定块3上设有可以横向往复滑动的支撑装置10。所述支撑装置10包括支撑架、穿插于所述横向滑槽4中的并与所述支撑架固定连接的螺杆6，该螺杆也可以在横向滑槽4中横向移动。还有设于该支撑架顶部及外侧的石英轴7、设于该石英轴7外侧的石英挡板5。舟座2的内侧面还设有用于支撑石英舟侧板9的石英管8。当石英舟两侧板9中间两倾斜卡边卡在支撑装置10外侧的石英轴7时，若由于设备变形或零件加工误差或装配等因素，以致石英舟不能准确放置到位，那么石英舟的侧板9的两倾斜卡边就会推动支撑装置10向中间滑动，以便石英舟的侧板自动调整支撑装置10的位置并正确卡在支撑装置上，同时拧紧螺杆6，可将支撑装置10固定于微调固定块3上。如图1、图2所示，还可以采用自动微调的结构。即在横向滑槽4中横向设置一弹簧（图中未示出），使得该弹簧将所述螺杆6向外侧顶紧，同时也是将上面的支撑装置10向两侧推移。当石英舟两侧板9放置于支撑装置10上的外侧的石英轴7时，石英舟的侧板9的中间两侧、倾斜卡边就会推动支撑装置10向中间滑动，以便石英舟的侧板自动调整支撑装置10的位置并正确卡在在支撑装置上。当卸去石英舟时，由于弹簧的复位作用，两支撑装置10又会向外移动。如此便可以实现自动微调。本技术在舟座内侧对称设有可以横向滑动以便调整间隔的两支撑装置，通过该可微调的支撑装置能够补偿零件的加工误差和装配误差，大幅度降低设备调试人员的操作难度和完善设备的功能性，降低设备调试难度，能很好的适用于扩散炉等设备。以上所述实施例主要是为了说明本技术的创作构思，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可微调间隙的石英舟固定载具，包括载舟底板、分别设于该载舟底板两端的舟座，其特征在于，所述舟座的内侧横向设有两个微调固定块，每一微调固定块中设有横向滑槽，所述微调固定块上设有可以横向往复滑动的支撑装置。

【技术特征摘要】
1.一种可微调间隙的石英舟固定载具，包括载舟底板、分别设于该载舟底板两端的舟座，其特征在于，所述舟座的内侧横向设有两个微调固定块，每一微调固定块中设有横向滑槽，所述微调固定块上设有可以横向往复滑动的支撑装置。2.如权利要求1所述的石英舟固定载具...

【专利技术属性】
技术研发人员：万大明，李时俊，张勇，伍波，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44