一种多晶硅片清洗专用架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体、固定半筒和活动半筒，所述清洗筒总体由固定半筒和活动半筒组成，所述固定半筒的底面固设有第二立柱和第一立柱，所述第二立柱与第一立柱之间通过滑轨固定连接，所述活动半筒的底部穿过滑轨与固定半筒活动连接，所述固定半筒的顶端设有向外翻折的翻边。本实用新型专利技术采用立式结构，占地面积小，空间利用率高，可实现立体旋转，使得清洗筒与清洗液产生相对运动，利用清洗液的冲刷作用提高多晶硅片的清洗速度和清洗质量；上下相邻两个多晶硅片之间通过金属波纹网间隔，既对多晶硅片起到分隔作用，同时保证清洗液与多晶硅片两面的充分接触，无清洗四角。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅片清洗专用架
本技术涉及多晶硅片清洗设备
，具体为一种多晶硅片清洗专用架。
技术介绍
多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。随着大规模集成电路的发展,集成度的不断提高,线宽的不断减小,对硅片的质量要求也越来越高,特别是对硅片的表面质量要求越来越严。硅材料清洗过程中如果不能有效将混在硅料中的金属物、碳或其它杂质全部处理干净，多晶铸锭过程中使用了这些硅料，将会出现严重后果。硅料的物理性质将发生严重的破坏性，硅料参数严重不符合后续产品的需求，特别是“少子寿命”严重偏低。目前多晶硅清洗时为方便拿取多晶硅片一般采用水平方向延伸的托架，存在占地空间大，空间利用率低，无法旋转，只能静态清洗多晶硅片，存在清洗死角，进而导致硅片废品率高的问题，
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种多晶硅片清洗专用架，解决了现有多晶硅片占地空间大，空间利用率低，无法旋转，只能静态清洗多晶硅片，存在清洗死角，进而导致硅片废品率高的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体、固定半筒和活动半筒，所述清洗筒总体由固定半筒和活动半筒组成，所述固定半筒的底面固设有第二立柱和第一立柱，所述第二立柱与第一立柱之间通过滑轨固定连接，所述活动半筒的底部穿过滑轨与固定半筒活动连接，所述固定半筒的顶端设有向外翻折的翻边，且固定半筒的两侧分别设有第一外折边和第二外折边，所述活动半筒的两侧分别设有第一内折边和第二内折边，所述第二内折边与第二外折边的内翻折面衔接，所述第一内折边与第一外折边的外翻折面衔接，所述固定半筒的内壁上安装有两个安装片，两个所述安装片分别安装在固定半筒内壁的顶部和底部，且两个所述安装片之间安装有导轨，所述导轨上套设有若干个金属波纹网，所述金属波纹网的上方放置有多晶硅片，所述固定半筒底部的圆心处安装有轴承。优选的，所述固定半筒和活动半筒均采用304不锈钢材质制成，且固定半筒和活动半筒的筒体部分均布有网孔。优选的，所述导轨沿着固定半筒的圆周延伸，所述导轨的总长度小于等于固定半筒圆周长度的四分之三。优选的，所述翻边上安装有吊环，所述吊环共设有两个。优选的，所述第二内折边和第一内折边分别与第二外折边和第一外折边均通过螺栓固定在一起，所述螺栓的数量大于等于2。优选的，所述导轨上设有若干个缓冲弹簧，所述缓冲弹簧设置在上下相邻两个金属波纹网之间。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术(1)整体采用立式结构，占地面积小，空间利用率高，整体为圆筒体结构，底部设有与转轴接轨的轴承机构，可实现立体旋转，使得清洗筒与清洗液产生相对运动，利用清洗液的冲刷作用提高多晶硅片的清洗速度和清洗质量。(2)上下相邻两个多晶硅片之间通过金属波纹网间隔，金属波纹网为波纹网格型结构，既对多晶硅片起到分隔作用，同时保证清洗液与多晶硅片两面的充分接触，无清洗四角，降低多晶硅片的废品率。(3)活动半筒通过导轨相对于于固定半筒做旋转运动，便于放置和取出多晶硅片，降低劳动难度。附图说明图1为本技术整体的俯视图；图2为本技术整体的侧剖图；图3为本技术A处的结构放大图；图4为本技术整体的仰视图。图中：1-清洗筒总体、2-固定半筒、21-翻边、22-第一外折边、23-第二外折边、3-安装片、4-金属波纹网、5-活动半筒、51-第一内折边、52-第二内折边、6-吊环、7-第一立柱、8-滑轨、9-轴承、10-缓冲弹簧、11-多晶硅片、12-第二立柱、13-导轨。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体1、固定半筒2和活动半筒5，清洗筒总体1由固定半筒2和活动半筒5组成，活动半筒5的直径大于固定半筒2的直径，固定半筒2的底面固设有第二立柱12和第一立柱7，第二立柱12与第一立柱7之间通过滑轨8固定连接，活动半筒5的底部穿过滑轨8与固定半筒2活动连接，固定半筒2的顶端设有向外翻折的翻边21，且固定半筒2的两侧分别设有第一外折边22和第二外折边23，两个翻折边的翻折尺寸一致，便于制作，活动半筒5的两侧分别设有第一内折边51和第二内折边52，由于第一内折边51受到第一外折边22的阻挡，第二内折边52的内折长度为第一内折边51的两倍，第二内折边52与第二外折边23的内翻折面衔接，第一内折边51与第一外折边22的外翻折面衔接，当活动半筒5打开至最大时，第二内折边52的内折边与第一外折边22的内折边衔接，固定半筒2的内壁上安装有两个安装片3，安装片3呈“L”型结构，且安装片3通过螺栓固定在固定半筒2内壁上，两个安装片3分别安装在固定半筒2内壁的顶部和底部，且两个安装片3之间安装有导轨13，导轨13上套设有若干个金属波纹网4，金属波纹网4的上方放置有多晶硅片11，固定半筒2底部的圆心处安装有轴承9。固定半筒2和活动半筒5均采用304不锈钢材质制成，且固定半筒2和活动半筒5的筒体部分均布有网孔，便于清洗液进入筒体内部，同时分散清洗液对多晶硅片11的冲击力；导轨8沿着固定半筒2的圆周延伸，导轨8的总长度小于等于固定半筒2圆周长度的四分之三；翻边21上安装有吊环6，吊环6共设有两个，清洗结束后便于吊机将清洗筒总体1升起；第二内折边52和第一内折边51分别与第二外折边23和第一外折边22均通过螺栓固定在一起，螺栓的数量大于等于2；导轨13上设有若干个缓冲弹簧10，缓冲弹簧10设置在上下相邻两个金属波纹网4之间，金属波纹网4呈波纹弯折结构，且金属波纹网4为网格型结构，利用弯折结构分隔上下两个多晶硅片11。工作原理：在对多晶硅片进行清洗时，首先将多晶硅片11放置在金属波纹网4的上表面，最上方和最下方均为金属波纹网4，用于限制多晶硅片11的运动，逐个码放好，缓冲弹簧10抵消金属波纹网4上下颠簸产生的作用力，然后将活动半筒5通过滑轨8向第二外折边23方向滑动，直到第二内折边52与第二外折边23衔接，此时第一外折边22与第一内折边51衔接，两边均利用螺栓锁紧固定后，吊机利用吊环6将清洗筒总体1整体吊起，并放入清洗池中，清洗池中的转轴可与轴承9接轨，由动力设备带动清洗筒总体1转动，清洗筒总体1表面的网孔结构保证清洗液进入内部，同时分散清洗液对多晶硅片11的冲击力，多晶硅片11与清洗液做相对运动，提高清洗效率，在清洗结束后，同样由吊机利用吊环6将清洗筒总体1整体吊起，将折边处的螺栓取出，将活动半筒5沿导轨13向第一外折边22方向转动直至第二内折边52抵住第一外折边22，将清洗好的多晶硅片11取出即可。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体（1）、固定半筒（2）和活动半筒（5），其特征在于：所述清洗筒总体（1）由固定半筒（2）和活动半筒（5）组成，所述固定半筒（2）的底面固设有第二立柱（12）和第一立柱（7），所述第二立柱（12）与第一立柱（7）之间通过滑轨（8）固定连接，所述活动半筒（5）的底部穿过滑轨（8）与固定半筒（2）活动连接，所述固定半筒（2）的顶端设有向外翻折的翻边（21），且固定半筒（2）的两侧分别设有第一外折边（22）和第二外折边（23），所述活动半筒（5）的两侧分别设有第一内折边（51）和第二内折边（52），所述第二内折边（52）与第二外折边（23）的内翻折面衔接，所述第一内折边（51）与第一外折边（22）的外翻折面衔接，所述固定半筒（2）的内壁上安装有两个安装片（3），两个所述安装片（3）分别安装在固定半筒（2）内壁的顶部和底部，且两个所述安装片（3）之间安装有导轨（13），所述导轨（13）上套设有若干个金属波纹网（4），所述金属波纹网（4）的上方放置有多晶硅片（11），所述固定半筒（2）底部的圆心处安装有轴承（9）。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅片清洗专用架，包括清洗筒总体（1）、固定半筒（2）和活动半筒（5），其特征在于：所述清洗筒总体（1）由固定半筒（2）和活动半筒（5）组成，所述固定半筒（2）的底面固设有第二立柱（12）和第一立柱（7），所述第二立柱（12）与第一立柱（7）之间通过滑轨（8）固定连接，所述活动半筒（5）的底部穿过滑轨（8）与固定半筒（2）活动连接，所述固定半筒（2）的顶端设有向外翻折的翻边（21），且固定半筒（2）的两侧分别设有第一外折边（22）和第二外折边（23），所述活动半筒（5）的两侧分别设有第一内折边（51）和第二内折边（52），所述第二内折边（52）与第二外折边（23）的内翻折面衔接，所述第一内折边（51）与第一外折边（22）的外翻折面衔接，所述固定半筒（2）的内壁上安装有两个安装片（3），两个所述安装片（3）分别安装在固定半筒（2）内壁的顶部和底部，且两个所述安装片（3）之间安装有导轨（13），所述导轨（13）上套设有若干个金属波纹网（4），所述金属波纹网（4）的上方放置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪伟华，
申请(专利权)人：浙江羿阳太阳能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33