显示面板、薄膜晶体管器件及其制造方法技术

一种显示面板、薄膜晶体管器件及其制造方法，所述制造方法包括：于一透明基板的顶面上形成一金属膜层；图案化所述金属膜层，以形成一栅极图案层；通过形成一图案化纳米平坦层的方式以对所述栅极图案层进行平坦化处理；以及于所述透明基板的顶面上形成栅极绝缘层、半导体层、源/漏电极层、钝化层及像素电极层。

【技术实现步骤摘要】
显示面板、薄膜晶体管器件及其制造方法
本专利技术涉及显示领域，特别是涉及一种显示面板、薄膜晶体管器件及其制造方法。
技术介绍
随着平面显示技术的发展，人们对平板尺寸、分辨率和画面刷新速率的追求越来越高，因此在面板制作工艺中采用铜取代铝作为导电金属材料。随着大尺寸面板的发展，需要将导电金属膜层加厚才能满足面板响应速度的需求。然而，铜(Cu)膜层越厚，其晶粒就会越大，导致表面粗糙度增大。例如，厚度的铜膜层，其表面粗糙度(Sa)达到5nm，其中铜的晶粒峰高出平均膜面超过在表面粗糙度大的铜膜层的表面沉积薄膜晶体管器件的栅极绝缘层及半导体层时，栅极绝缘层及半导体层的表面形貌仍然会和铜膜层表面保持一致，故粗糙度也会较大，尤其是半导体层本身的厚度较薄，如果半导体层的表面粗糙度较大时，会导致薄膜晶体管器件的特性变差。故，有必要提供一种显示面板、薄膜晶体管器件及其制造方法，以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
有鉴于现有技术的缺点，本专利技术的主要目的在于提供一种显示面板、薄膜晶体管器件及其制造方法，可以降低膜层表面粗糙度，使沉积在其上方的半导体层的表面粗糙度也随之降低，提升了薄膜晶体管器件特性。为达成本专利技术的前述目的，本专利技术提供一种薄膜晶体管器件的制造方法，其包括下列步骤：于一透明基板的顶面上形成一金属膜层；图案化所述金属膜层，以形成一栅极图案层；通过形成一图案化纳米平坦层的方式以对所述栅极图案层进行平坦化处理；以及于所述透明基板的顶面上形成栅极绝缘层、半导体层、源/漏电极层、钝化层及像素电极层。在本专利技术的一实施例中，所述平坦化处理包括下列步骤：沉积一光阻层于所述透明基板的顶面上以覆盖所述栅极图案层；以所述栅极图案层为光罩，在所述透明基板的背面进行曝光处理；对所述光阻层进行显影处理，以移除所述光阻层位在所述栅极图案层上的部分；于所述透明基板的顶面上形成一纳米平坦层，以覆盖所述栅极图案层与所述光阻层；移除所述光阻层的剩余部分及其所述纳米平坦层位在所述光阻层上的部份，形成对应所述栅极图案层的图案化纳米平坦层。在本专利技术的一实施例中，所述栅极图案层为一复合膜层，包括至少一阻挡层与一位于阻挡层上方的铜层。在本专利技术的一实施例中，所述阻挡层为钼层、钼钛合金层、钛层或钼铌合金层。在本专利技术的一实施例中，所述纳米平坦层是通过粒径小于10纳米的纳米填充材料均匀分散于有机溶剂中制得。本专利技术还提供一种薄膜晶体管器件，其包括：一透明基板；一栅极图案层，形成于所述透明基板上；一图案化纳米平坦层，对应覆盖所述栅极图案层的表面，其中所述图案化纳米平坦层的图案对应所述栅极图案层；以及一栅极绝缘层、半导体层、源极电极层、漏极电极层、钝化层及像素电极层，依序形成于所述透明基板上。在本专利技术的一实施例中，所述栅极图案层为一复合膜层，包括至少一阻挡层与一位于阻挡层上方的铜层。在本专利技术的一实施例中，所述阻挡层为钼层、钼钛合金层、钛层或钼铌合金层。在本专利技术的一实施例中，所述图案化纳米平坦层包含粒径小于10纳米的纳米填充材料。本专利技术另提供一种显示面板，其包括多个如上所述的薄膜晶体管器件。本专利技术主要是通过在栅极图案层上形成图案化纳米平坦层，藉此使得栅极电极层经过平坦化处理，故随后形成其上方的半导体层的粗糙度也会随之降低，提升了最后制成的薄膜晶体管器件特性。【附图说明】图1是本专利技术一实施例的薄膜晶体管器件的制造方法的流程图。图2是本专利技术一实施例的进行平坦化处理的流程图。图3A至图3G是本专利技术一实施例的薄膜晶体管器件的制造流程示意图。【具体实施方式】为让本专利技术上述目的、特征及优点更明显易懂，下文特举本专利技术较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。再者，本专利技术所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。请参考图1及图3A至图3G所示，图1是本专利技术一实施例的薄膜晶体管器件的制造方法的流程图；图3A至图3G是本专利技术一实施例的薄膜晶体管器件的制造流程示意图。如图1所示，所述薄膜晶体管器件的制造方法主要包括下列步骤S10至S13：步骤S10：于一透明基板1的顶面上形成一金属膜层2，如图3A所示；其中所述透明基板1可以是玻璃基板或塑胶基板或其他透明材质制成的基板。在一实施例中，所述金属膜层2的表面粗糙度(Sa)超过3纳米，晶粒峰高度超过30纳米。步骤S11：图案化所述金属膜层2，以形成一栅极图案层2’，如图3B所示。所述栅极图案层2’即作为薄膜晶体管器件的栅极。在一实施例中，所述栅极图案层2’可为一复合膜层，可包括至少一阻挡层20与一位于阻挡层上方的铜层21。所述阻挡层20具体可为钼层、钼钛合金层、钛层或钼铌合金层。在一实施例中，所述阻挡层20厚度介于所述铜层21厚度大于步骤S12：通过形成一图案化纳米平坦层41的方式以对所述栅极图案层2’进行平坦化处理，如图3F所示。步骤S13：于所述透明基板1的顶面上形成栅极绝缘层5、半导体层6、漏电极层70、源电极层71、钝化层8及像素电极层9，如图3G所示，其中所述栅极绝缘层5覆盖所述栅极图案层2’；所述半导体层6形成于所述栅极绝缘层5上且位置对应所述栅极图案层2’；所述漏电极层70和源电极层71形成于所述栅极绝缘层5上且位于所述半导体层6的两侧；所述钝化层8覆盖所述半导体层6、漏电极层70和源电极层71；所述像素电极层9形成于所述钝化层8上并通过通孔连接至所述漏电极层70。经过上述步骤后，即完成本专利技术所述的薄膜晶体管器件的制作。由于所述栅极图案层2’上设有图案化纳米平坦层41，使得栅极电极层2’的表面平坦化，故随后形成其上方的栅极绝缘层5和半导体层6的表面粗糙度也会随之降低，使薄膜晶体管器件的特性获得改善。请进一步参考图2，上述的通过形成一图案化纳米平坦层的方式以对所述栅极图案层2’进行平坦化处理具体可包括下列步骤S120至S124：步骤S120：沉积一光阻层3于所述透明基板1的顶面上以覆盖所述栅极图案层2’，如图3C所示；其中所述光阻层3包含位置对应所述栅极图案层2’的第一部分31与位置不对应所述栅极图案层2’的第二部分30。在本实施例中，所述光阻层3可为负型光阻。步骤S121：以所述栅极图案层2’为光罩，在所述透明基板1的背面进行曝光处理，如图3C所示，其中所述光阻层3的第一部分31在所述栅极图案层2’的遮蔽下没有受到曝光照射；仅所述光阻层3的第二部分30受到曝光照射。步骤S122：对所述光阻层3进行显影处理，以移除所述光阻层3位在所述栅极图案层2’上的部分，如图3D所示，即移除未受到曝光照射的所述光阻层3的第一部分31，使所述栅极图案层2’裸露，并留下受到曝光照射的所述光阻层3的第二部分30。步骤S123：于所述透明基板1的顶面上形成一纳米平坦层4，以覆盖所述栅极图案层2’与所述光阻层3，如图3E所示，其中所述纳米平坦层4包含位置对应所述栅极图案层2’的第一部分41与位置不对应所述栅极图案层2’的第二部分40。在一实施例中，所述纳米平坦层4可以是通过粒径小于10纳米的纳米填充材料均匀分散于有机溶剂中制得。所述纳米填充材料可为碳、金属或化合物。步骤S124：移除所述光阻层3的剩余部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜晶体管器件的制造方法，其特征在于包括下列步骤：于一透明基板的顶面上形成一金属膜层；图案化所述金属膜层，以形成一栅极图案层；通过形成一图案化纳米平坦层的方式以对所述栅极图案层进行平坦化处理；以及于所述透明基板的顶面上形成栅极绝缘层、半导体层、源/漏电极层、钝化层及像素电极层。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜晶体管器件的制造方法，其特征在于包括下列步骤：于一透明基板的顶面上形成一金属膜层；图案化所述金属膜层，以形成一栅极图案层；通过形成一图案化纳米平坦层的方式以对所述栅极图案层进行平坦化处理；以及于所述透明基板的顶面上形成栅极绝缘层、半导体层、源/漏电极层、钝化层及像素电极层。2.如权利要求1所述的薄膜晶体管器件的制造方法，其特征在于：所述平坦化处理包括下列步骤：沉积一光阻层于所述透明基板的顶面上以覆盖所述栅极图案层；以所述栅极图案层为光罩，在所述透明基板的背面进行曝光处理；对所述光阻层进行显影处理，以移除所述光阻层位在所述栅极图案层上的部分；于所述透明基板的顶面上形成一纳米平坦层，以覆盖所述栅极图案层与所述光阻层；移除所述光阻层的剩余部分及其所述纳米平坦层位在所述光阻层上的部份，形成对应所述栅极图案层的图案化纳米平坦层。3.如权利要求1所述的薄膜晶体管器件的制造方法，其特征在于：所述栅极图案层为一复合膜层，包括至少一阻挡层与一位于阻挡层上方的铜层。4.如权利要求3所述的薄膜晶体管...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小波，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44