The utility model relates to a precise mobile platform, which comprises a base, a first guiding device, including a first linear motor on the base and a first air-floated guide rail corresponding to the first linear motor, the first air-floated guide rail driven by the first linear motor, and a second guiding device, including a second linear motor fixed to the first air-floated Guide rail and a pair of air-floated guides. The second air-floating guide corresponding to the second linear motor is driven by the second linear motor, and the carrier platform is fixed to the second air-floating guide. When the precise mobile platform works, it feeds gas into the first and second air-floated guideways, adjusts the air film clearance of the two air-floated guideways, realizes low friction linear motion driven by the first linear motor and the second linear motor, and improves the response and motion accuracy of the mobile platform.
【技术实现步骤摘要】
精密移动平台
本技术涉及移动平台
,特别是涉及一种精密移动平台。
技术介绍
移动平台通常包括载物台和用于驱动载物台沿不同方向移动的导向结构。例如,一种XY轴移动平台,它是由层叠在一起的既可各自独立运动、又可联动X轴传动机构和Y轴传动机构的组合体。它包括了位于底层的Y轴传动机构和层叠在Y轴传动机构上的X轴传动机构,X轴传动机构上固定有载物台。Y轴传动机构和X轴传动机构分别由Y轴直线电机和X轴直线电机作为驱动源。然而,由于直线电机的制造误差以及装配误差的综合影响,导致了现有的XY轴移动平台的精度通常较低。因此如何提供一种高精度的移动平台,是本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
基于此,有必要针对现有的移动平台精度较低问题,提供一种精密移动平台。一种精密移动平台,包括:底座;第一导向装置,包括设于所述底座上的第一直线电机和与所述第一直线电机对应的第一气浮导轨,所述第一气浮导轨由所述第一直线电机驱动;第二导向装置,包括固定连接于所述第一气浮导轨的第二直线电机和与所述第二直线电机对应的第二气浮导轨,所述第二气浮导轨由所述第二直线电机驱动;以及载物台,固定连接于所述第二气浮导轨。在其中一个实施例中,所述第一导向装置至少有两组,若干所述第一导向装置平行设置;所述第二直线电机与所述导向装置的气浮导轨均固定连接。在其中一个实施例中,所述第一导向装置的延伸方向和所述第二导向装置的延伸方向在所述底座的投影相互垂直。在其中一个实施例中,所述第一气浮导轨和/或所述第二气浮导轨在各自延伸方向的两侧分别设置有缓冲装置。在其中一个实施例中,所述缓冲装置包括两个缓冲件。在其中一个 ...
【技术保护点】
1.一种精密移动平台,其特征在于,包括:底座(100);第一导向装置(200),包括设于所述底座(100)上的第一直线电机(210)和与所述第一直线电机(210)对应的第一气浮导轨(220),所述第一气浮导轨(220)由所述第一直线电机(210)驱动;第二导向装置(300),包括固定连接于所述第一气浮导轨(220)的第二直线电机(310)和与所述第二直线电机(310)对应的第二气浮导轨(320),所述第二气浮导轨(320)由所述第二直线电机(310)驱动;以及载物台(400),固定连接于所述第二气浮导轨(320)。
【技术特征摘要】
1.一种精密移动平台,其特征在于,包括:底座(100);第一导向装置(200),包括设于所述底座(100)上的第一直线电机(210)和与所述第一直线电机(210)对应的第一气浮导轨(220),所述第一气浮导轨(220)由所述第一直线电机(210)驱动;第二导向装置(300),包括固定连接于所述第一气浮导轨(220)的第二直线电机(310)和与所述第二直线电机(310)对应的第二气浮导轨(320),所述第二气浮导轨(320)由所述第二直线电机(310)驱动;以及载物台(400),固定连接于所述第二气浮导轨(320)。2.根据权利要求1所述的精密移动平台,其特征在于,所述第一导向装置(200)至少有两组,若干所述第一导向装置(200)平行设置;所述第二直线电机(310)与若干所述第一导向装置(200)的第一气浮导轨(220)均固定连接。3.根据权利要求1所述的精密移动平台,其特征在于,所述第一导向装置(200)的延伸方向和所述第二导向装置(300)的延伸方向在所述底座(100)的投影相互垂直。4.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:赖林松,周志伟,杨璐鸿,马国东,尹建刚,吴排青,陈锐,高云峰,
申请(专利权)人:大族激光科技产业集团股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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