金属溅镀机制造技术

本发明专利技术提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。

【技术实现步骤摘要】
金属溅镀机
本专利技术涉及镀膜领域，尤其涉及一种金属溅镀机。
技术介绍
在金属溅镀机中，基板放置在托盘上进行金属溅镀，不同规格的基板对应不同标准的托盘，因此在金属溅镀机工作过程中，往往需要进行托盘的更换。现有托盘更换方式为人工，效率低。即现有金属溅镀机存在缺陷，需要改进。
技术实现思路
本专利技术提供一种金属溅镀机，以缓解现有金属溅镀机无法实现托盘存储仓与溅镀机台之间托盘的全自动化传送及交换的技术问题。为解决上述问题，本专利技术提供的技术方案如下：本专利技术提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于在接收到更换指令时，控制所述运输台车更换托盘。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制器还用于根据所述更换指令携带的托盘标识，控制所述运输台车更换托盘。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车更换托盘。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述托盘存储仓将对应托盘提供给所述运输台车。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车选择所述托盘存储仓中对应托盘。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述控制器用于根据所述传感器检测的所述运输台车与所述封闭门之间的距离变化，控制所述封闭门的开关。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制装置包括传感器和控制器，所述传感器用于检测所述运输台车与所述封闭门之间的距离，所述控制器用于根据所述距离是否小于预设值，控制所述封闭门的开关。在本专利技术的金属溅镀机中，所述传感器设置在所述运输台车上。在本专利技术的金属溅镀机中，所述控制装置与所述运输台车无线连接。本专利技术的有益效果为：本专利技术提供一种金属溅镀机，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作；通过设置控制装置实现托盘以及封闭门的全自动化更换，减少了手动更换托盘和开关封闭门所需时间，提升设备综合效率，从而提升生产产能，同时也减少人员手动操作带来的安全隐患，减少人员进入带来的杂质，提升产品良率。附图说明为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的金属溅镀机的结构示意图；图2为本专利技术的金属溅镀机的工作流程示意图；图3为为本专利技术的金属溅镀机的托盘编号选择界面示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术的具体实施方案，对本专利技术实施方案和/或实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显而易见的，下面所描述的实施方案和/或实施例仅仅是本专利技术一部分实施方案和/或实施例，而不是全部的实施方案和/或实施例。基于本专利技术中的实施方案和/或实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前下所获得的所有其他实施方案和/或实施例，都属于本专利技术保护范围。本专利技术所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[左]、[右]、[前]、[后]、[内]、[外]、[侧]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明和理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或是暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。本专利技术提供一种金属溅镀机，以缓解现有金属溅镀机无法实现托盘存储仓与溅镀机台之间托盘的全自动化传送及交换的技术问题。如图1所示，为本专利技术实施例提供的金属溅镀机的结构示意图。所述金属溅镀机包括溅镀机台10、运输台车20、托盘存储仓30、以及设置在所述溅镀机台10和所述托盘存储仓30之间的封闭门40。所述溅镀机台10上放置有基板101，所述基板101在所述所述溅镀机台10上完成溅镀工序。在进行所述溅镀工序时，需要有对应的一个托盘承载所述基板101进行溅镀。所述托盘存储仓30用于存储托盘，以及回收更换下来的托盘。根据生产需求的不同，所述溅镀机台10上进行溅镀的基板型号也各有不同，每种型号的基板需要对应型号的托盘来承载，然后再在所述溅镀机台10上完成溅镀，因此所述托盘存储仓30中存储有各种与所述溅镀机台10上基板相对应的托盘。当所述基板101开始准备溅镀时，所述托盘存储仓30提供相应型号的托盘301，所述托盘301承载着所述基板101进行溅镀工序。当溅镀工序完成后，所述基板101进入下一工序，所述托盘301需回收至所述托盘存储仓30中。所述运输台车20用于运输托盘，由于所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10属于不同的工作区域，即所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10之间有一定的间距，因此当所述溅镀机台10上的所述基板101准备溅镀时，需要从所述托盘存储仓30中取出与所述基板101相对应的特定型号的所述托盘301，传送给所述溅镀机台10。当所述溅镀机台10上的所述基板101完成溅镀后，需要将承载该基板的所述托盘301更换掉，此时，所述运输台车20从所述溅镀机台10上取下所述托盘301，再传送给所述托盘存储仓30，所述基板101进入下一工序，所述运输台车20复位。之后，所述溅镀机台10需进行下一块基板的溅镀工作，即另一待溅镀基板进入所述溅镀机台10，准备溅镀工序，此时所述运输台车20需从所述托盘存储仓30中取出与所述待溅镀基板对应的托盘，再传送给所述溅镀机台10。所述金属溅镀机每完成一次溅镀工序，所述运输台车20重复一次更换托盘的操作。所述运输台车20还包括取料构件(图未示出)，用于将托盘从所述溅镀机台10上放上或取下，以及将托盘从所述托盘存储仓30里放进或取出。在所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10之间，也即所述所述运输台车20的运输路径之间，设置有运输导轨50，所述运输台车20通过所述运输导轨50在所述托盘存储仓30与所述溅镀机台10之间来回运输托盘，所述运输导轨50可以使所述运输台车20的运输路线更加精准。在所述溅镀机台10和所述托盘存储仓30之间设置有封闭门40，用于封闭所述溅镀机台10。由于溅镀工序需要一个密闭的环境，因此需要所述封闭门40来使溅镀工作区域与其他区域分隔开。当所述金属溅镀机需要更换托盘时，所述封闭门40开启，所述运输台车20载着托盘经过；当所述金属溅镀机没有更换托盘需求时，所述封闭门40处于关闭状态，所述运输台车20也处于复位状态。所述金属溅镀机还包括控制装置(图未示出)，用于控制所述封闭门40的开关，以及所述运输台车20工作。所述运输台车20的取料构件也可以由所述控制装置来控制自动取放托盘。由于现有的金属溅镀机中封闭门的开关及托盘的更换方式为人工，效率低，因此本专利技术设置控制装置，实现托盘以本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金属溅镀机，其特征在于，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作。

【技术特征摘要】
1.一种金属溅镀机，其特征在于，包括：溅镀机台，用于在基板上溅镀金属；托盘，放置在所述溅镀机台上，用于承载所述基板；托盘存储仓，用于存储托盘；运输台车，用于运输托盘；封闭门，用于封闭所述溅镀机台；控制装置，用于控制所述封闭门的开关，以及所述运输台车工作。2.如权利要求1所述的金属溅镀机，其特征在于，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于在接收到更换指令时，控制所述运输台车更换托盘。3.如权利要求2所述的金属溅镀机，其特征在于，所述控制器还用于根据所述更换指令携带的托盘标识，控制所述运输台车更换托盘。4.如权利要求1所述的金属溅镀机，其特征在于，所述控制装置包括控制器，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所述运输台车更换托盘。5.如权利要求4所述的金属溅镀机，其特征在于，所述控制器用于根据待溅镀基板参数，控制所...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈能辉，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44