一种蓝宝石抛光液过滤装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种蓝宝石抛光液过滤装置包括管壳式容器、一级过滤器、泵、二级过滤器以及三级过滤器。其中，管壳式容器包括外腔和内腔，外腔用于流通冷却介质，内腔为可封闭结构，内腔内设有一级过滤器，内腔的底部出口设有第一放料管并连接至泵的入口，泵的出口连接至二级过滤器的入口，二级过滤器的出口连接至三级过滤器的入口，三级过滤器的出口设有第二放料管并连接至内腔的顶部入口。本实用新型专利技术的蓝宝石抛光液过滤装置为全封闭结构，可有效避免外界杂质的引入，并采用逐级过滤的方式，使得杂质去除更加彻底，过滤更加充分，且缩短了过滤时间，延长了滤芯的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种蓝宝石抛光液过滤装置
本技术属于化工领域，特别涉及一种蓝宝石抛光液过滤装置。
技术介绍
蓝宝石是一种单晶形式的ɑ-Al2O3(刚玉)，具有许多特殊的性质，如硬度高、热稳定性好、化学惰性强以及良好的透明性，广泛应用于光学、电子以及温度传感器等领域。对于这些光电领域的应用，蓝宝石表面形貌是影响其性能的一个重要指标，在蓝宝石加工制造过程中，80％以上的成本都花费在表面精密加工上。可见，蓝宝石的平坦化加工是至关重要的。然而，蓝宝石固有的特性使其在加工方面具有很大挑战。现有技术中，化学机械抛光(CMP)依靠其较低的成本、较快的抛光去除速率以及能够实现较高的表面质量，已经成为公认的平坦化技术。在蓝宝石的化学机械抛光过程中，抛光液是极其重要的耗材之一，抛光液的质量好坏将直接影响蓝宝石的抛光去除速率和表面质量。抛光液中大颗粒杂质会对蓝宝石表面产生划伤，大大降低蓝宝石表面质量，因此去除掉抛光液中大颗粒杂质显的尤为必要。现有的蓝宝石抛光液过滤技术是在敞开的环境下，通过一级过滤将大颗粒杂质去掉。然而，这种方法在过滤过程中，空气中的杂质会进入到抛光液中，而且一级过滤也并不能完全地去除掉大颗粒杂质，还容易造成过滤器的堵塞。
技术实现思路
有鉴于现有技术的上述缺陷，本技术的目的在于提供一种蓝宝石抛光液过滤装置，其可以有效避免空气中的杂质进入到抛光液中，杂质去除更加彻底，过滤更加充分，且缩短了过滤时间，并有利于延长滤芯的使用寿命。本技术的蓝宝石抛光液过滤装置包括管壳式容器、一级过滤器、泵、二级过滤器以及三级过滤器。其中，管壳式容器包括外腔和内腔，外腔用于流通冷却介质，内腔为可封闭结构，内腔内设有一级过滤器，内腔的底部出口设有第一放料管并连接至泵的入口，泵的出口连接至二级过滤器的入口，二级过滤器的出口连接至三级过滤器的入口，三级过滤器的出口设有第二放料管并连接至内腔的顶部入口。进一步地，外腔内流通的冷却介质为冷却水，冷却介质从外腔下部的冷却介质入口流入，从外腔上部的冷却介质出口流出，以带走内腔的热量。进一步地，一级过滤器为滤袋，其滤孔规格为5μm；二级过滤器为滤芯，其滤孔规格为3μm；三级过滤器为滤芯，其滤孔规格为1μm。这种逐级过滤的方式过滤更加充分，杂质去除更加彻底，且有利于延长滤芯的使用寿命，缩短过滤时间。进一步地，管壳式容器具有顶盖，顶盖可将内腔与外界环境隔绝，以避免空气中的杂质进入到抛光液中。顶盖上设有两个顶部入口和排气管，其中一个顶部入口连接至三级过滤器的出口，可将三级过滤器排出的抛光液再循环至一级过滤器中；另一个顶部入口连接至泵出口，可将一级过滤器排出的抛光液再循环至一级过滤器中。排气管上设有排气阀，打开排气阀可将内腔与外界环境联通，关闭排气阀可将内腔与外界环境隔绝。进一步地，内腔的底部设有取样管，取样管上设有取样阀，以收集一级过滤器排出的抛光液进行取样分析。进一步地，第一放料管可将一级过滤器排出的抛光液(即一级过滤后的抛光液)不经二级和三级过滤直接引入后续工段；第二放料管可将三级过滤器排出的抛光液(即三级过滤后的抛光液)引入后续工段。这样的设置增加了过滤装置的灵活性，当对抛光液质量要求不高时，可直接使用一级过滤后的抛光液；当对抛光液质量要求很高时，则可以使用三级过滤后的抛光液。进一步地，二级过滤器的入口、三级过滤器的入口和出口处设有压力表，以实时监控管道中抛光液的压力。本技术的蓝宝石抛光液过滤装置为全封闭结构，可有效避免外界杂质的引入，并采用逐级过滤的方式，使得杂质去除更加彻底，过滤更加充分，且缩短了过滤时间，延长了滤芯的使用寿命。附图说明图1是本技术一个较佳实施例的蓝宝石抛光液过滤装置示意图。具体实施方式下面对本技术的实施例作详细说明，下述的实施例在以本技术技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于下述的实施例。在一个较佳实施例中，如图1所示，本技术的蓝宝石抛光液过滤装置包括管壳式容器1、一级过滤器2、泵6、二级过滤器7以及三级过滤器8。其中，管壳式容器1包括外腔4和内腔5，外腔4用于流通冷却介质，内腔5为可封闭结构，内腔5内设有一级过滤器2，内腔5的底部出口设有第一放料管13，并连接至泵6的入口，泵6的出口连接至二级过滤器7的入口，二级过滤器7的出口连接至三级过滤器8的入口，三级过滤器8的出口设有第二放料管16，并连接至内腔5的顶部入口。在一个较佳实施例中，外腔4内流通的冷却介质为冷却水，冷却水从冷却介质入口14流入，从冷却介质出口15流出，以带走内腔5的热量。在一个较佳实施例中，一级过滤器2为滤袋，其滤孔规格为5μm；二级过滤器7为滤芯，其滤孔规格为3μm；三级过滤器8为滤芯，其滤孔规格为1μm。这种逐级过滤的方式有利于延长滤芯的使用寿命，缩短过滤时间，且杂质去除更加彻底，过滤更加充分。在一个较佳实施例中，管壳式容器1具有顶盖17，顶盖17可将内腔5与外界环境隔绝，以避免空气中的杂质进入到抛光液中。顶盖17上设有两个顶部入口和排气管3，其中一个顶部入口连接至三级过滤器8的出口，以将三级过滤器8排出的抛光液再循环至一级过滤器2中；另一个顶部入口连接至泵6出口，以将一级过滤器2排出的抛光液再循环至一级过滤器2中。排气管3上设有排气阀，打开排气阀可将内腔5与外界环境联通，关闭排气阀可将内腔5与外界环境隔绝。在一个较佳实施例中，内腔5的底部设有取样管12，取样管12上设有取样阀，以收集一级过滤器2排出的抛光液进行取样分析。在一个较佳实施例中，第一放料管13可将一级过滤器2排出的抛光液(即一级过滤后的抛光液)不经二级和三级过滤直接引入后续工段；第二放料管16可将三级过滤器8排出的抛光液(即三级过滤后的抛光液)引入后续工段。这样的设置增加了过滤装置的灵活性，当对抛光液质量要求不高时，可直接使用一级过滤后的抛光液；当对抛光液质量要求很高时，则可使用三级过滤后的抛光液。在一个较佳实施例中，二级过滤器7的入口、三级过滤器8的入口和出口处设有压力表，以实时监控管道中抛光液的压力。以上详细描述了本技术的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术无需创造性劳动就可以根据本技术的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本
中技术人员依本技术的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的试验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蓝宝石抛光液过滤装置，其特征在于，所述蓝宝石抛光液过滤装置包括管壳式容器、一级过滤器、泵、二级过滤器以及三级过滤器；其中，所述管壳式容器包括外腔和内腔，所述外腔用于流通冷却介质，所述内腔为可封闭结构，所述内腔内设有所述一级过滤器，所述内腔的底部出口设有第一放料管并连接至所述泵的入口，所述泵的出口连接至所述二级过滤器的入口，所述二级过滤器的出口连接至所述三级过滤器的入口，所述三级过滤器的出口设有第二放料管并连接至所述内腔的顶部入口。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石抛光液过滤装置，其特征在于，所述蓝宝石抛光液过滤装置包括管壳式容器、一级过滤器、泵、二级过滤器以及三级过滤器；其中，所述管壳式容器包括外腔和内腔，所述外腔用于流通冷却介质，所述内腔为可封闭结构，所述内腔内设有所述一级过滤器，所述内腔的底部出口设有第一放料管并连接至所述泵的入口，所述泵的出口连接至所述二级过滤器的入口，所述二级过滤器的出口连接至所述三级过滤器的入口，所述三级过滤器的出口设有第二放料管并连接至所述内腔的顶部入口。2.如权利要求1所述的蓝宝石抛光液过滤装置，其特征在于，所述冷却介质从所述外腔下部的冷却介质入口流入，从所述外腔上部的冷却介质出口流出。3.如权利要求2所述的蓝宝石抛光液过滤装置，其特征在于，所述冷却介质为冷却水。4.如权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：涂洛，林方，
申请(专利权)人：无锡易洁工业介质有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32