The utility model discloses a semi-automatic 6025 mask side wall dirt removal device, which comprises a fixed base. The upper end of the fixed base is equipped with a fixed column, and the upper end of the fixed column is equipped with a fixed plate. The upper end of the fixed plate is equipped with a rotating shaft, and the upper end of the rotating shaft is equipped with a light mask platform. The upper end of the fixed plate is equipped with a first support guide rail on the left side, and the upper end of the first support guide rail is equipped with a light mask platform. There is a second support guide rail, a moving block is installed at the upper end of the second support guide rail, and a cotton swab support is installed at the right end of the moving block. The utility model has reasonable structure and novel design. By placing the cotton swab on the cotton swab bracket and moving the push rod, the side wall of the whole mask can be wiped clean, and the photomask platform can rotate 360 degrees without manual adjustment of the position of the photomask, which greatly reduces the risks of plate dropping, scratching and residual chromium chemicals when the side wall is wiped artificially, and has strong practicability and reliability. High.
【技术实现步骤摘要】
一种半自动6025掩模版侧壁脏污祛除装置
本技术涉及掩模版加工设备
,具体是一种半自动6025掩模版侧壁脏污祛除装置。
技术介绍
6025掩模版的侧壁在制造过程中会残留各种各样的脏污,比如基板生产过程中残留的光阻,掩模版铬面的光阻再清洗过程中流道侧壁,掩模版生产过程中残留的化学品、手指印等,在晶圆制造厂使用掩模版时,这种侧壁的脏污可能会使晶圆曝光机侦测不到掩模版,所以这种侧壁脏污的祛除也是光掩模生产中一项非常重要的质量标准。一般的掩模版生产过程中,要祛除这种侧壁脏污,主要使用的方式是清洗,对于掩模版的清洗,主要分为浸泡式的清洗和旋转式的清洗,其中浸泡式的清洗对于侧壁脏污的祛除非常有效。但旋转式清洗因为本身设计上喷嘴的覆盖范围主要针对铬面,对于侧壁的清洗存在一定的缺陷,所以在实际应用中往往需要设置特定工艺步骤,甚至是特定的硬件模块来应对侧壁的清洗,这就带来了生产周期的延长,产能的损失以及成本的提高。如果不使用清洗机器,可以使用人工擦拭的方法,但人工擦拭同样带来掉版、划伤、铬面化学品残留等问题的风险,实用性不强。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半自动6025掩模版侧壁脏污祛除装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种半自动6025掩模版侧壁脏污祛除装置,包括固定底座,所述固定底座上端安装有固定柱,固定柱上端安装有固定板,所述固定板上端右侧安装有转轴,转轴上端安装有光掩模载台,所述固定板上端左侧安装有第一支架导轨,第一支架导轨上端设有第二支架导轨,第二支架导轨上端安装有移动块,移动块右端安装有棉签支架。作为本技术进一 ...
【技术保护点】
1.一种半自动6025掩模版侧壁脏污祛除装置,包括固定底座(11),所述固定底座(11)上端安装有固定柱(10),固定柱(10)上端安装有固定板(12),其特征在于,所述固定板(12)上端右侧安装有转轴(2),转轴(2)上端安装有光掩模载台(1),所述固定板(12)上端左侧安装有第一支架导轨(7),第一支架导轨(7)上端设有第二支架导轨(6),第二支架导轨(6)上端安装有移动块(8),移动块(8)右端安装有棉签支架(5)。
【技术特征摘要】
1.一种半自动6025掩模版侧壁脏污祛除装置,包括固定底座(11),所述固定底座(11)上端安装有固定柱(10),固定柱(10)上端安装有固定板(12),其特征在于,所述固定板(12)上端右侧安装有转轴(2),转轴(2)上端安装有光掩模载台(1),所述固定板(12)上端左侧安装有第一支架导轨(7),第一支架导轨(7)上端设有第二支架导轨(6),第二支架导轨(6)上端安装有移动块(8),移动块(8)右端安装有棉签支架(5)。2.根据权利要求1所述的一种半自动6...
【专利技术属性】
技术研发人员:姜巍,王豪,胡平,成立炯,
申请(专利权)人:上海凸版光掩模有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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