用于制备光学镜片的真空镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体底部的四角均固定连接有支撑柱，所述真空镀膜机本体的底部连通有沉降管，所述沉降管的底部固定连接有粉尘收集箱，所述粉尘收集箱的顶部与沉降管的底部相连通，所述沉降管内壁的顶部设置有自密封机构，所述沉降管右侧的底部连通有真空管。本发明专利技术通过自密封机构能够实时对沉降管进行密封，同时再通过烘干回收机构将粉尘收集箱内部的靶材粉尘进行烘干回收使用，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题，该用于制备光学镜片的真空镀膜机，具备靶材粉尘可回收的优点，缩减了生产成本，提高了节能生产效率。

Vacuum Coating Machine for Optical Lens

The invention discloses a vacuum coating machine for preparing optical lenses, which comprises a vacuum coating machine body. The four corners at the bottom of the vacuum coating machine body are fixedly connected with supporting pillars. The bottom of the vacuum coating machine body is connected with a settling pipe, and the bottom of the settling pipe is fixedly connected with a dust collecting box. The top of the dust collecting box is connected with the bottom of the settling pipe. A self-sealing mechanism is arranged at the top of the inner wall of the settlement pipe, and a vacuum tube is connected at the bottom of the right side of the settlement pipe. The self-sealing mechanism can seal the settling tube in real time, and at the same time, the target dust inside the dust collection box can be dried and recycled by the drying and recycling mechanism, thus solving the problem that the existing vacuum coating machine can not recycle dust. The vacuum coating machine used for preparing optical lenses has the advantages of target dust recyclability and reduces the production cost. It improves the efficiency of energy saving and production.

【技术实现步骤摘要】
用于制备光学镜片的真空镀膜机
本专利技术涉及真空镀膜机设备
，具体为用于制备光学镜片的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。目前真空镀膜机在镀膜过程中，蒸发室中会残留有较多的粉尘，粉尘在负压的作用下被真空泵抽走，该粉尘不但影响真空泵正常作业，严重时甚至会损坏真空泵，而且不易清理，同时现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收，增大了靶材的消耗量和生产成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供用于制备光学镜片的真空镀膜机，具备靶材粉尘可回收的优点，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体底部的四角均固定连接有支撑柱，所述真空镀膜机本体的底部连通有沉降管，所述沉降管的底部固定连接有粉尘收集箱，所述粉尘收集箱的顶部与沉降管的底部相连通，所述沉降管内壁的顶部设置有自密封机构，所述沉降管右侧的底部连通有真空管，所述真空镀膜机本体底部的右侧设置有安装座，所述安装座的顶部固定连接有真空泵，所述真空泵的输出端与真空管的右侧相连通，所述粉尘收集箱的内部设置有烘干回收机构，所述真空管内部的左侧固定连接有防尘棉，所述防尘棉的左侧设置有过滤网，所述过滤网的表面与真空管的内壁固定连接，所述真空镀膜机本体的底部固定连接有水箱，所述水箱的底部连通有水管，所述水管远离水箱的一端贯穿沉降管并延伸至沉降管的内部连通有喷淋管，所述喷淋管的左侧连通有喷雾头。优选的，所述自密封机构包括限位环，所述限位环的顶部设置有密封球，所述密封球的外侧固定连接有挡板，所述沉降管内壁的顶部固定连接有与密封球配合使用的密封板，所述挡板底部的两侧均固定连接有弹簧，所述弹簧的底端与限位环的顶部固定连接。优选的，所述烘干回收机构包括加热丝，所述粉尘收集箱的内部设置有粉尘收集盒，所述粉尘收集盒的表面与加热丝的表面接触，所述粉尘收集盒的正面固定连接有把手，所述粉尘收集盒正面的左侧设置有观察窗。优选的，所述真空管内壁的左侧固定连接有固定块，所述固定块的内部固定连接有滤网板，所述滤网板呈上下错开状固定，所述固定块和滤网板的数量均设置有八个，且八个固定块和滤网板的规格相同。优选的，所述挡板的表面开设有第一通孔，所述限位环的表面开设有第二通孔。优选的，所述挡板的两侧均固定连接有限位滑块，所述沉降管内壁的顶部均开设有与限位滑块滑动连接的滑动槽。优选的，所述喷雾头的数量不少与五个，且多个喷雾头呈等距离设置，所述沉降管内壁的右侧固定连接有位于喷淋管顶部的斜挡块。优选的，所述水箱与外设的水泵相连通，所述粉尘收集盒为导热材质制成。与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：1、本专利技术通过自密封机构能够实时对沉降管进行密封，同时再通过烘干回收机构将粉尘收集箱内部的靶材粉尘进行烘干回收使用，解决了现有真空镀膜机不能够进行粉尘回收的问题，该用于制备光学镜片的真空镀膜机，具备靶材粉尘可回收的优点，缩减了生产成本，提高了节能生产效率。2、本专利技术因自密封机构包括限位环，限位环的顶部设置有密封球，密封球的外侧固定连接有挡板，沉降管内壁的顶部固定连接有与密封球配合使用的密封板，挡板底部的两侧均固定连接有弹簧，弹簧的底端与限位环的顶部固定连接，该设计通过限位环、密封球、挡板、密封板和弹簧的设置，相比专利号CN201720897345.0的密封性更加稳定，上下密封时通过挡板的设置使其不会左右晃动，不会错位，同时弹簧的弹力与真空镀膜机本体的额定真空压力相同，当真空泵启动时将密封球向下吸落，与密封板分离后可使其粉尘下落，密封球向下带动挡板向下移动，挡板向下使弹簧的顶端向下移动受力压缩，当真空泵关闭时弹簧弹力复位向上弹动，与密封板进行接触密封，从而达到自密封效果。3、本专利技术因烘干回收机构包括加热丝，粉尘收集箱的内部设置有粉尘收集盒，粉尘收集盒的表面与加热丝的表面接触，粉尘收集盒的正面固定连接有把手，粉尘收集盒正面的左侧设置有观察窗，该设计通过加热丝、粉尘收集盒、把手和观察窗的设置，相比现有市面常见的真空镀膜机该真空镀膜机本体可通过加热将被水雾喷淋而下的靶材粉尘进行烘干，同时再通过粉尘收集盒将其烘干的靶材粉尘进行收集，使用者再通过把手将其粉尘收集盒向正面抽出，同时观察窗的设置能够便于使用者观察其粉尘收集盒内部的粉尘量，能够及时观察粉尘的烘干程度。4、本专利技术因真空管内壁的左侧固定连接有固定块，固定块的内部固定连接有滤网板，滤网板呈上下错开状固定，固定块和滤网板的数量均设置有八个，且八个固定块和滤网板的规格相同，该设计通过固定块和滤网板的设置，便于使用者通过固定块将其滤网板进行固定，同时多组滤网板能够通过上下错开状的设置使其过滤效率较高，同时能够通过错开状使其任意一个滤网板堵塞后依然不会影响真空泵运作，但现有的真空镀膜机本体的滤网堵塞将直接影响真空泵正常运作。5、本专利技术因挡板的表面开设有第一通孔，限位环的表面开设有第二通孔，该设计通过第一通孔使其沉降管内的靶材粉尘能够便于下落，不易堆积堵塞，同时第二通孔能够使其限位环上掉落的靶材粉尘快速掉落。6、本专利技术因挡板的两侧均固定连接有限位滑块，沉降管内壁的顶部均开设有与限位滑块滑动连接的滑动槽，该设计通过限位滑块和滑动槽的设置，便于使用者通过限位滑块与滑动槽的滑动连接使其挡板的上下移动被限位，防止挡板上下滑动不稳定，同时提高密封球的密封稳定性。7、本专利技术因喷雾头的数量不少与五个，且多个喷雾头呈等距离设置，沉降管内壁的右侧固定连接有位于喷淋管顶部的斜挡块，该设计通过多个喷雾头的设置使其靶材粉尘能够通过水雾向下喷淋使其顺应沉降管掉落至粉尘收集盒的内部进行收集，同时在通过斜挡块的设置使其粉尘不会堆积在喷雾头的顶部，同时不会使其粉尘堵塞喷雾头。8、本专利技术因水箱与外设的水泵相连通，粉尘收集盒为导热材质制成，该设计通过水箱与外设的水泵相连通，使其水箱内的水具有水压，通过其水压使其水箱内的水通过喷雾头进行强力的喷淋，同时导热材质的粉尘收集盒便于发热丝导热，使其粉尘收集盒内部的粉尘进行快速烘干。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术沉降管的俯视剖面图；图3为本专利技术挡板的俯视剖面图；图4为本专利技术粉尘收集箱的放大结构示意图；图5为本专利技术A处的放大图；图6为本专利技术B处的放大图；图7为本专利技术粉尘收集盒的立体结构示意图。图中：1真空镀膜机本体、2支撑柱、3沉降管、4粉尘收集箱、5自密封机构、51限位环、52密封球、53挡板、54密封板、55弹簧、6真空管、7安装座、8真空泵、9烘干回收机构、91加热丝、92粉尘收集盒、93把手、94观察窗、10防尘棉、11过滤网、12水箱、13水管、14喷淋管、15喷雾头、16固定块、17滤网板、18第一通孔、19第二通孔、20限位滑块、21滑动槽、22斜挡块。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(2)，所述真空镀膜机本体(1)的底部连通有沉降管(3)，所述沉降管(3)的底部固定连接有粉尘收集箱(4)，所述粉尘收集箱(4)的顶部与沉降管(3)的底部相连通，所述沉降管(3)内壁的顶部设置有自密封机构(5)，所述沉降管(3)右侧的底部连通有真空管(6)，所述真空镀膜机本体(1)底部的右侧设置有安装座(7)，所述安装座(7)的顶部固定连接有真空泵(8)，所述真空泵(8)的输出端与真空管(6)的右侧相连通，所述粉尘收集箱(4)的内部设置有烘干回收机构(9)，所述真空管(6)内部的左侧固定连接有防尘棉(10)，所述防尘棉(10)的左侧设置有过滤网(11)，所述过滤网(11)的表面与真空管(6)的内壁固定连接，所述真空镀膜机本体(1)的底部固定连接有水箱(12)，所述水箱(12)的底部连通有水管(13)，所述水管(13)远离水箱(12)的一端贯穿沉降管(3)并延伸至沉降管(3)的内部连通有喷淋管(14)，所述喷淋管(14)的左侧连通有喷雾头(15)。

【技术特征摘要】
1.用于制备光学镜片的真空镀膜机，包括真空镀膜机本体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机本体(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(2)，所述真空镀膜机本体(1)的底部连通有沉降管(3)，所述沉降管(3)的底部固定连接有粉尘收集箱(4)，所述粉尘收集箱(4)的顶部与沉降管(3)的底部相连通，所述沉降管(3)内壁的顶部设置有自密封机构(5)，所述沉降管(3)右侧的底部连通有真空管(6)，所述真空镀膜机本体(1)底部的右侧设置有安装座(7)，所述安装座(7)的顶部固定连接有真空泵(8)，所述真空泵(8)的输出端与真空管(6)的右侧相连通，所述粉尘收集箱(4)的内部设置有烘干回收机构(9)，所述真空管(6)内部的左侧固定连接有防尘棉(10)，所述防尘棉(10)的左侧设置有过滤网(11)，所述过滤网(11)的表面与真空管(6)的内壁固定连接，所述真空镀膜机本体(1)的底部固定连接有水箱(12)，所述水箱(12)的底部连通有水管(13)，所述水管(13)远离水箱(12)的一端贯穿沉降管(3)并延伸至沉降管(3)的内部连通有喷淋管(14)，所述喷淋管(14)的左侧连通有喷雾头(15)。2.根据权利要求1所述的用于制备光学镜片的真空镀膜机，其特征在于：所述自密封机构(5)包括限位环(51)，所述限位环(51)的顶部设置有密封球(52)，所述密封球(52)的外侧固定连接有挡板(53)，所述沉降管(3)内壁的顶部固定连接有与密封球(52)配合使用的密封板(54)，所述挡板(53)底部的两侧均固定连接有弹簧(55)，所述弹簧(55)的底端与限位环(51)...

【专利技术属性】
技术研发人员：骆得胜，
申请(专利权)人：武汉力诚光学仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42