一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法技术

技术编号:20532002 阅读:60 留言:0更新日期:2019-03-09 03:45
本发明专利技术公开了一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法,该自动喷涂方法所采用的工艺调整需要预先对机器人程序的点位、速度、输出参数进行调整,并在喷涂控制系统内预先设置好下面所规定的参数后调用,自动喷涂设备运行后会按照预先设定的工艺参数运行,人员只要在设备运行前检查喷枪流量和雾形,运行间隔期间适当清洁喷枪,通过调整和新增步骤,增加多晶自动喷涂与铸锭需求的匹配程度,对通过调整喷枪与坩埚的距离,枪的间距,调整不同区域喷涂的气压,提高喷涂速度等措施,提高了喷枪设备稳定性,增强喷涂均匀性。

An Automatic Spraying Method for Reducing Viscous Pot Rate and Cost

The invention discloses an automatic spraying method for reducing sticky pot rate and cost. The process adjustment adopted by the automatic spraying method needs to adjust the point position, speed and output parameters of the robot program beforehand, and call after setting the following parameters in the spraying control system beforehand. The automatic spraying equipment will run according to the pre-set process parameters after running. As long as the spraying gun flow rate and fog shape are checked before the equipment is running, the spraying gun is cleaned properly during the running interval, and the matching degree between polycrystalline automatic spraying and ingot demand is increased by adjusting the distance between the spraying gun and crucible, the distance between the gun, the air pressure of spraying in different areas, and the spraying speed, the stability of the spraying gun equipment is improved and the spraying speed is enhanced. Uniformity of coating.

【技术实现步骤摘要】
一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法
本专利技术涉及一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法。
技术介绍
目前部分企业多晶喷涂由人工喷涂改为采用机器人自动喷涂,自动喷涂设备由机器人系统,喷涂控制系统,加热系统、涂料供给系统共同组成。现有自动喷涂方法包括以下步骤:(1)原料:氮化硅粉700~900g、硅溶胶200~450g;(2)将原料按粉水比1:2~3加入超纯水,在3~5升PP刻度量杯中配制为喷涂浆料,接入涂料供给系统中。坩埚放入坩埚加热系统中进行加热;(3)机器人系统的单个工位喷涂程序包括以下7个步骤:第1步:竖向喷涂坩埚左面,枪距24~30cm,枪数8~10枪,枪间距10~14cm,移点速度40~60%,喷涂速度420~460mm/s,输出参数1和3;第2步:竖向喷涂坩埚上面,枪距24~30cm,枪数7~9枪,枪间距10~14cm,移点速度40~60%,喷涂速度420~460mm/s,输出参数1和3;第3步:竖向喷涂坩埚右面,枪距24~30cm,枪数7~9枪,枪间距10~14cm,移点速度40~60%,喷涂速度420~460mm/s,输出参数1和3;第4步:清洁坩埚下面浮尘,枪距25~35cm,枪数1枪,移点速度40~60%,喷涂速度480~520mm/s,输出参数9;第5步:竖向喷涂坩埚下面,枪距24~30cm,枪数6~8枪,枪间距10~14cm,移点速度40~60%,喷涂速度430~470mm/s,输出参数4;第6步:竖向喷涂坩埚底面,枪距24~30cm,枪数6~8枪,枪间距10~14cm,移点速度40~60%,喷涂速度530~570mm/s,输出参数2;第7步:横向喷涂坩埚四个侧面,枪距24~30cm,枪数16~24枪,枪间距4~10cm,移点速度30~50%,喷涂速度580~620mm/s,输出参数5;一方面因硅晶体由坩埚下部向上生长、铸锭炉气流扰动、热场本身的不均匀性决定坩埚各处的涂层厚度要求不同,换种说法,就是自动喷涂工艺没有专门去匹配铸锭的需求;另一方面,随着自动喷涂的进行,在高温情况下,浆料更易在枪嘴堆积结垢,影响喷涂均匀性,喷枪稳定性下降,导致涂层厚薄不均匀。针对以上多晶自动喷涂与铸锭需求匹配性差,喷枪稳定性下降导致涂层厚薄不均匀问题,此专利技术专利就是为解决这些问题。
技术实现思路
本专利技术其目的就在于提供一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法,解决了现有多晶自动喷涂与铸锭需求匹配性差,喷枪稳定性下降导致涂层厚薄不均匀问题。为实现上述目的而采取的技术方案是,一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法,该自动喷涂方法包括以下步骤:(1)配置喷涂浆料,并将配制好的喷涂浆料接入涂料供给系统中,对加热中的坩埚进行喷涂;(2)横向喷涂坩埚四个侧面A,枪距20cm,枪数7~9枪,枪间距10~18cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5;(3)竖向喷涂坩埚左面,枪距18~23cm,枪数10~12枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;(4)竖向喷涂坩埚上面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;(5)竖向喷涂坩埚右面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;(6)清洁坩埚下面浮尘,枪距25~35cm,枪数1枪,移点速度40~60%,喷涂速度580~520mm/s,输出参数9;(7)竖向喷涂坩埚下面,枪距18~23cm,枪数8~10枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度630~680mm/s,输出参数4;(8)竖向喷涂坩埚上面右部,枪距18~23cm,枪数3~5枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数6;(9)竖向喷涂坩埚底面或横向喷涂坩埚底面,枪距18~23cm,枪数8~10枪,枪间距9~12cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数2;(10)竖向喷涂坩埚右面上部,枪距18~23cm,,枪数3~5枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数6;(11)横向喷涂坩埚四个侧面B,枪距18~23cm,枪数7~9枪,枪间距4~8cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5,完成喷涂。所述输出参数1为雾化压力2.6~3.0kgf/cm²,雾形压力2.3~2.7kgf/cm²,流量阀压力0.9~1.1kgf/cm²,开枪时间0.4~0.6s。所述输出参数2为雾化压力2.6~3.0kgf/cm²,雾形压力2.6~3.0kgf/cm²,流量阀压力1.1~1.3kgf/cm²,开枪时间0.9~1.1s。所述输出参数3为雾化压力2.6~3.0kgf/cm²,雾形压力2.2~2.6kgf/cm²,流量阀压力0.7~0.9kgf/cm²,开枪时间0.4~0.6s。所述输出参数4为雾化压力2.6~3.0kgf/cm²,雾形压力2.3~2.7kgf/cm²,流量阀压力0.9~1.1kgf/cm²,开枪时间0.4~0.6s。所述输出参数5为雾化压力2.6~3.0kgf/cm²,雾形压力2.4~2.8kgf/cm²,流量阀压力1.1~1.3kgf/cm²,开枪时间0.9~1.1s。所述输出参数6为雾化压力2.6~3.0kgf/cm²,雾形压力2.3~2.7kgf/cm²,流量阀压力0.9~1.1kgf/cm²,开枪时间0.2~0.4s。所述输出参数9为雾化压力2.5~3.5kgf/cm²,雾形压力2.5~3.5kgf/cm²,流量阀压力0kgf/cm²,开枪时间2~2.5s。有益效果与现有技术相比本专利技术具有以下优点。本专利技术的优点是,通过增加多晶自动喷涂与铸锭需求的匹配程度,对通过调整喷枪与坩埚的距离,枪的间距,调整不同区域喷涂的气压,提高喷涂速度等措施,提高了喷枪设备稳定性,增强了喷涂均匀性。附图说明以下结合附图对本专利技术作进一步详述。图1为本专利技术方法与原工艺浆料粘埚率对比图。具体实施方式一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法,该自动喷涂方法包括以下步骤:(1)配置喷涂浆料,并将配制好的喷涂浆料接入涂料供给系统中,对加热中的坩埚进行喷涂;(2)横向喷涂坩埚四个侧面A,枪距20cm,枪数7~9枪,枪间距10~18cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5;(3)竖向喷涂坩埚左面,枪距18~23cm,枪数10~12枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;(4)竖向喷涂坩埚上面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;(5)竖向喷涂坩埚右面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;(6)清洁坩埚下面浮尘,枪距25~35cm,枪数1枪,移点速度40~6本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法,其特征在于,该自动喷涂方法包括以下步骤:配置喷涂浆料,并将配制好的喷涂浆料接入涂料供给系统中,对加热中的坩埚进行喷涂;横向喷涂坩埚四个侧面A,枪距20cm,枪数7~9枪,枪间距10~18cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5;竖向喷涂坩埚左面,枪距18~23cm,枪数10~12枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;竖向喷涂坩埚上面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;竖向喷涂坩埚右面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;清洁坩埚下面浮尘,枪距25~35cm,枪数1枪,移点速度40~60%,喷涂速度580~520mm/s,输出参数9;竖向喷涂坩埚下面,枪距18~23cm,枪数8~10枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度630~680mm/s,输出参数4;竖向喷涂坩埚上面右部,枪距18~23cm,枪数3~5枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数6;竖向喷涂坩埚底面或横向喷涂坩埚底面,枪距18~23cm,枪数8~10枪,枪间距9~12cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数2;竖向喷涂坩埚右面上部,枪距18~23cm,,枪数3~5枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数6;横向喷涂坩埚四个侧面B,枪距18~23cm,枪数7~9枪,枪间距4~8cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5,完成喷涂。...

【技术特征摘要】
1.一种降低粘埚率和成本的自动喷涂方法,其特征在于,该自动喷涂方法包括以下步骤:配置喷涂浆料,并将配制好的喷涂浆料接入涂料供给系统中,对加热中的坩埚进行喷涂;横向喷涂坩埚四个侧面A,枪距20cm,枪数7~9枪,枪间距10~18cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5;竖向喷涂坩埚左面,枪距18~23cm,枪数10~12枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;竖向喷涂坩埚上面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;竖向喷涂坩埚右面,枪距18~23cm,枪数9~11枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数1和输出参数3;清洁坩埚下面浮尘,枪距25~35cm,枪数1枪,移点速度40~60%,喷涂速度580~520mm/s,输出参数9;竖向喷涂坩埚下面,枪距18~23cm,枪数8~10枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度630~680mm/s,输出参数4;竖向喷涂坩埚上面右部,枪距18~23cm,枪数3~5枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数6;竖向喷涂坩埚底面或横向喷涂坩埚底面,枪距18~23cm,枪数8~10枪,枪间距9~12cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数2;竖向喷涂坩埚右面上部,枪距18~23cm,,枪数3~5枪,枪间距9~12cm,移点速度40~60%,喷涂速度680~720mm/s,输出参数6;横向喷涂坩埚四个侧面B,枪距18~23cm,枪数7~9枪,枪间距4~8cm,移点速度30~50%,喷涂速度830~870mm/s,输出参数5,完成...

【专利技术属性】
技术研发人员:严东曹军漆龙武张泽兴黄林杨平
申请(专利权)人:江西旭阳雷迪高科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:江西,36

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