一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构制造技术

本实用新型专利技术属于机械工程结构领域，涉及一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构。包括法兰盘、套筒、驱动机构、主动转子、主动转子皮带轮、被动转子、旋转轴和密封隔离件，法兰盘的一端固定在真空室外壁上，另一端与套筒固定，主动转子皮带轮通过连接部与主动转子连接，皮带轮的内壁与套筒的外壁为间隙配合，驱动机构与主动转子皮带轮连接，旋转轴的一端与真空室内的工件转架连接，另一端与被动转子连接；主、被动转子永磁体间通过密封隔离件隔离。工作时，主动转子通过永磁体产生的磁力驱动被动转子做旋转运动，从而带动工件转架一同旋转。解决了动密封传动的可靠性、泄漏和污染问题，确保真空溅射镀膜设备真空环境和镀膜的工艺稳定性。

A Kind of Dynamic Sealing Transmission Structure for Workpiece Rotary Frame of Sputtering Coating Equipment

The utility model belongs to the field of mechanical engineering structure, and relates to a dynamic seal transmission structure of a workpiece rotating frame of sputtering coating equipment. Including flange, sleeve, driving mechanism, active rotor, active rotor pulley, passive rotor, rotating shaft and sealing isolator. One end of flange is fixed on the outer wall of the vacuum chamber, the other end is fixed with sleeve. The active rotor pulley is connected with the active rotor through the connecting part. The inner wall of the pulley and the outer wall of the sleeve are in clearance coordination, and the driving mechanism is connected with the active rotor belt. Wheel connection, one end of the rotating shaft is connected with the workpiece revolving frame in the vacuum chamber, the other end is connected with the passive rotor, and the permanent magnets of the active and passive rotors are isolated by sealed isolators. When working, the active rotor drives the passive rotor to rotate through the magnetic force generated by the permanent magnet, thus driving the workpiece turntable to rotate together. The problems of reliability, leakage and pollution of dynamic seal transmission are solved, and the vacuum environment and process stability of vacuum sputtering coating equipment are ensured.

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构
本技术属于机械工程结构领域，具体涉及一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构。
技术介绍
真空溅射镀膜设备工件转架在镀膜过程中需要连续旋转,因此存在将旋转动力从真空室外部传入真空室内部的动密封传动问题。目前，大多数真空设备采用机械密封和磁流体密封结构，受密封装置工作原理的局限，存在动密封传动的可靠性不足和泄漏问题，污染镀膜环境，严重影响真空溅射镀膜设备镀膜质量和工艺稳定性。
技术实现思路
为了克服上述现有技术中的不足，本技术提供一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构，以解决现有技术中密封不可靠及泄漏问题，该结构可以明显降低镀膜环境污染问题，提高镀膜生产效率。为了实现以上目的，本技术技术方案如下：一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构，包括法兰盘、套筒、驱动机构、主动转子、主动转子皮带轮、被动转子、旋转轴和密封隔离件，其中，主动转子和被动转子为筒体结构，法兰盘的一端固定在溅射镀膜设备的真空室外壁上，另一端与套筒固定，主动转子皮带轮为空心壳体，沿壳体一端径向延伸出连接部，主动转子皮带轮通过连接部与主动转子连接，套筒套在主动转子皮带轮的中心孔中，主动转子皮带轮的内壁与套筒的外壁为间隙配合，驱动机构与主动转子皮带轮连接，主动转子通过轴承Ⅰ与套筒内壁连接，支撑件通过轴承Ⅱ与法兰盘内壁连接，旋转轴穿过支撑件，旋转轴的一端与真空室内的工件转架连接，另一端与被动转子连接；主动转子内侧设有主动转子永磁体，被动转子外侧设有被动转子永磁体；主动转子永磁体与被动转子永磁体之间通过密封隔离件隔离。进一步的，所述驱动机构包括驱动轮、同步带和驱动电机，所述主动转子皮带轮通过同步带与驱动轮连接。进一步的，所述被动转子为双层筒体结构，还包括内筒体、陶瓷块和空心轴，内筒体套在被动转子外筒体中，空心轴的外圆周面通过陶瓷块与内筒体连接，旋转轴套在空心轴的中心孔内。进一步的，所述的密封隔离件与真空室内壁为静密封结构。进一步的，所述旋转轴与工件转架契合或分离。契合时能稳固保持工件转架与被动转子同步旋转，分离时工件转架不再转动。工作时，主动转子通过永磁体产生的磁力驱动被动转子做旋转运动，从而带动工件转架一同旋转。有益效果本技术提供一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构，与传统技术相比的优点在于将驱动电机提供的驱动力通过无需直接接触的主动转子永磁体和被动转子永磁体传递，密封隔离件与真空室体形成静密封结构，有效防护真空室内镀膜环境。附图说明图1是本技术所述一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构示意图。图中：1-真空室；2-密封隔离件；3-驱动机构，31-驱动轮，32-同步带，33-驱动电机；4-主动转子；41-主动转子永磁体；5-被动转子，51-被动转子永磁体，52-内筒体，53-陶瓷块，54-空心轴；6-工件转架；7-旋转轴；8-轴承Ⅰ；9-轴承Ⅱ；10-动密封传动结构；11-法兰盘；12-套筒；13-主动转子皮带轮；具体实施方式下面结合实施例对本技术的方法做进一步详细说明。如图1所示，一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构10，包括法兰盘11、套筒12、驱动机构3、主动转子4、主动转子皮带轮13、被动转子5、旋转轴7和密封隔离件2，其中，主动转子4和被动转子5为筒体结构，法兰盘11的一端固定在溅射镀膜设备的真空室1外壁上，另一端与套筒12固定，主动转子皮带轮(13)为空心壳体，沿壳体一端径向延伸出连接部，主动转子皮带轮13通过连接部与主动转子4连接，套筒12套在主动转子皮带轮13的中心孔中，主动转子皮带轮13的内壁与套筒12的外壁为间隙配合，驱动机构3与主动转子皮带轮13连接，主动转子4通过轴承Ⅰ8与套筒12内壁连接，支撑件通过轴承Ⅱ9与法兰盘11内壁连接，旋转轴7穿过支撑件，旋转轴7的一端与真空室1内的工件转架6连接，另一端与被动转子5连接；主动转子4内侧设有主动转子永磁体41，被动转子5外侧设有被动转子永磁体51；主动转子永磁体41与被动转子永磁体51之间通过密封隔离件2隔离。所述驱动机构3包括驱动轮31、同步带32和驱动电机33，所述主动转子皮带轮13通过同步带32与驱动轮31连接。所述被动转子5为双层筒体结构，还包括内筒体52、陶瓷块53和空心轴54，内筒体52套在被动转子5外筒体中，空心轴的外圆周面通过陶瓷块53与内筒体52连接，旋转轴7套在空心轴54的中心孔内。所述的密封隔离件2与真空室内壁为静密封结构。所述旋转轴7与工件转架6契合或分离。契合时能稳固保持工件转架与被动转子同步旋转，分离时工件转架不再转动。驱动轮31的输出转速可调。在镀膜过程中，驱动电机33运转，进而驱动轮31转动，通过同步带32带动主动转子4旋转，通过主动转子永磁体41和被动转子永磁体42的相互作用，进而带动真空室内的被动转子5旋转，从而带动真空室1内工件转架6旋转。永磁体的材质根据工件转架力矩大小进行选取。实验表明，本技术提供的溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构，可以从根本上解决真空镀膜环境由转动引起的污染问题，且良好的保持工件转架持续转动性能。技术包括但不限于以上实施例，凡是在本技术的精神和原则之下进行的任何等同替换或局部改进，都将视为在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构，其特征在于：包括法兰盘(11)、套筒(12)、驱动机构(3)、主动转子(4)、主动转子皮带轮(13)、被动转子(5)、旋转轴(7)和密封隔离件(2)，其中，主动转子(4)和被动转子(5)为筒体结构，法兰盘(11)的一端固定在溅射镀膜设备的真空室(1)外壁上，另一端与套筒(12)固定，主动转子皮带轮(13)为空心壳体，沿壳体一端径向延伸出连接部，主动转子皮带轮(13)通过连接部与主动转子(4)连接，套筒(12)套在主动转子皮带轮(13)的中心孔中，主动转子皮带轮(13)的内壁与套筒(12)的外壁为间隙配合，驱动机构(3)与主动转子皮带轮(13)连接，主动转子(4)通过轴承Ⅰ(8)与套筒(12)内壁连接，支撑件通过轴承Ⅱ(9)与法兰盘(11)内壁连接，旋转轴(7)穿过支撑件，旋转轴(7)的一端与真空室(1)内的工件转架(6)连接，另一端与被动转子(5)连接；主动转子(4)内侧设有主动转子永磁体(41)，被动转子(5)外侧设有被动转子永磁体(51)；主动转子永磁体(41)与被动转子永磁体(51)之间通过密封隔离件(2)隔离。

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构，其特征在于：包括法兰盘(11)、套筒(12)、驱动机构(3)、主动转子(4)、主动转子皮带轮(13)、被动转子(5)、旋转轴(7)和密封隔离件(2)，其中，主动转子(4)和被动转子(5)为筒体结构，法兰盘(11)的一端固定在溅射镀膜设备的真空室(1)外壁上，另一端与套筒(12)固定，主动转子皮带轮(13)为空心壳体，沿壳体一端径向延伸出连接部，主动转子皮带轮(13)通过连接部与主动转子(4)连接，套筒(12)套在主动转子皮带轮(13)的中心孔中，主动转子皮带轮(13)的内壁与套筒(12)的外壁为间隙配合，驱动机构(3)与主动转子皮带轮(13)连接，主动转子(4)通过轴承Ⅰ(8)与套筒(12)内壁连接，支撑件通过轴承Ⅱ(9)与法兰盘(11)内壁连接，旋转轴(7)穿过支撑件，旋转轴(7)的一端与真空室(1)内的工件转架(6)连接，另一端与被动转子(5)连接；主动转子(4)内侧设有主动转子永磁体(41)，被动转子(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞鹏，夏成明，刘强，魏广，骆水连，洪明，秦丽丽，李亚丽，
申请(专利权)人：兰州空间技术物理研究所，
类型：新型
国别省市：甘肃,62