The utility model discloses a surface cleaning device for round tube ITO target, which comprises a base, a waste bin fixed at the center of the upper surface of the base, a support frame symmetrically welded at the edges of both sides of the upper surface of the base, a motor fixed on the outer wall of one side of the support frame, and the motor is connected with the anti-stripping drive through a bearing in the support frame through a rotating shaft, and the inner side of the anti-stripping block. A clamping column is welded, the top of the support frame is welded with a sliding rod, and the surface of the sliding rod is slidingly connected with a clamping ring. The upper surface of the clamping ring is welded with a transmission rod, and the inner surface of the clamping ring is provided with a pad. The lower surface of the clamping ring is connected with the installation plate through a connecting rod. The surface of the installation plate is symmetrically fixed with a spray pipe, and the lower surface of the installation plate is connected with a brush. In the utility model, the overall structure design of the device is simple and reasonable, the operation is flexible and convenient, the operation is safe and stable, and has strong practicability.
【技术实现步骤摘要】
一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置
本技术涉及ITO靶材生产加工
,尤其涉及一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置。
技术介绍
ITO靶材就是氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合后经过一系列的生产工艺加工成型,再高温气氛烧结(1600度,通氧气烧结)形成的黑灰色陶瓷半导体,ITO靶材用于生产ITO薄膜,ITO薄膜是利用ITO靶材作为原材料,通过磁控溅射把ITO靶气化溅渡到玻璃基板或柔性有机薄膜上形成的薄膜,ITO薄膜具有导电性和透光性,厚度一般30纳米-200纳米,在圆管ITO靶材的生产加工中,需要对其表面进行清理处理,以提高圆管靶材的整洁性。然而现有的圆管ITO靶材的表面清理装置在使用过程中存在着一些不足之处,在清理过程中容易对圆管靶材造成意外损坏现象,同时工作环境的整洁性不够完善,降低了装置的实用性。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置,包括底座,所述底座上表面中心处固定有废渣仓,所述底座上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架,所述支撑架一侧外表壁固定有电机,且电机通过转轴穿过支撑架内的轴承与防脱块传动连接,所述防脱块内侧焊接有卡接柱,所述支撑架顶部焊接有滑杆,且滑杆表面滑动连接有夹持环,所述夹持环上表面焊接有传动杆,所述夹持环内表面设置有垫块,所述夹持环下表面通过连接杆与安装板连接,所述安装板上表面两侧对称固定有喷气管,所述安装板下表面连接有毛刷。作为上述技术方案的进一步描述:所述卡接柱共安装有两个,且两个卡接柱均 ...
【技术保护点】
1.一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置,包括底座(4),其特征在于,所述底座(4)上表面中心处固定有废渣仓(5),所述底座(4)上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架(1),所述支撑架(1)一侧外表壁固定有电机(2),且电机(2)通过转轴(15)穿过支撑架(1)内的轴承(3)与防脱块(16)传动连接,所述防脱块(16)内侧焊接有卡接柱(6),所述支撑架(1)顶部焊接有滑杆(7),且滑杆(7)表面滑动连接有夹持环(8),所述夹持环(8)上表面焊接有传动杆(9),所述夹持环(8)内表面设置有垫块(14),所述夹持环(8)下表面通过连接杆(12)与安装板(10)连接,所述安装板(10)上表面两侧对称固定有喷气管(11),所述安装板(10)下表面连接有毛刷(13)。
【技术特征摘要】
1.一种用于圆管ITO靶材的表面清理装置,包括底座(4),其特征在于,所述底座(4)上表面中心处固定有废渣仓(5),所述底座(4)上表面两侧边缘处对称焊接有支撑架(1),所述支撑架(1)一侧外表壁固定有电机(2),且电机(2)通过转轴(15)穿过支撑架(1)内的轴承(3)与防脱块(16)传动连接,所述防脱块(16)内侧焊接有卡接柱(6),所述支撑架(1)顶部焊接有滑杆(7),且滑杆(7)表面滑动连接有夹持环(8),所述夹持环(8)上表面焊接有传动杆(9),所述夹持环(8)内表面设置有垫块(14),所述夹持环(8)下表面通过连接杆(12)与安装板(10)连接,所述安装板(10)上表面两侧对称固定有喷气管(...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘洪浩,
申请(专利权)人:江苏比昂电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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