三氯化硼纯化尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口，处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端，封盖中部设置通孔，通孔内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖上侧面，旋紧后将通孔密封，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔，导气管上部周侧连接尾气入口，疏通棒位于导气管内，本实用新型专利技术结构简单，设计合理，避免对环境造成影响。

Boron trichloride purification tail gas treatment unit

The utility model relates to a boron trichloride purified tail gas treatment device, which comprises a treatment tank, a discharge outlet is arranged at the lower end of the treatment tank, a sealing plate is closed at the discharge outlet of boric acid, a hydrochloric acid discharge outlet is arranged at the peripheral side of the treatment tank above the discharge outlet of boric acid, an elongated pipe is arranged at the upper end of the treatment tank, and an exhaust gas inlet and an elongated pipe are arranged at the peripheral side of the elongated pipe from top to bottom in turn. The top part is provided with a cover, the water adding nozzle is set at the upper end of the treatment tank, the middle part of the cover is provided with a through hole, the through hole is perforated with a dredging rod, the outer thread is arranged on the dredging rod, and the sealing nut matches with the thread is set on the top side of the cover, the sealing nut is set against the upper side of the seal, the through hole is sealed after tightening, the air guide pipe is set in the elongation pipe, the lower end of the air guide pipe is extended into the upper part of the treatment tank, and the air guide pipe is set up. The upper end is connected with through holes, and the upper side of the guide pipe is connected with the tail gas inlet. The dredging rod is located in the guide pipe. The utility model has simple structure, reasonable design and avoids environmental impact.

【技术实现步骤摘要】
三氯化硼纯化尾气处理装置
本技术涉及一种三氯化硼纯化尾气处理装置。
技术介绍
电子级高纯三氯化硼主要用作半导体硅的掺杂源，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展，电子级高纯三氯化硼市场非常广阔。在电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中,存在尾气排放问题，电子工业用高纯三氯化硼净化装置排出的尾气主要成分为三氯化硼，如果直接对外放空，三氯化硼与空气中的水分发生剧烈反应，可形成白色的腐蚀性浓厚烟雾，放出具有刺激性的氯化氢气体，对环境造成恶劣影响。
技术实现思路
本技术的目的是针对以上不足之处，提供了一种三氯化硼纯化尾气处理装置。本技术解决技术问题所采用的方案是：一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。进一步的，所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端面。进一步的，封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B,封盖B中部设置通孔B，通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封。进一步的，处理罐上端面上设置有压力表接口。进一步的，伸长管上端外周设置法兰A，法兰上设置有均布有螺栓孔A，封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B，螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置，封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接，封盖A与法兰A之间设置有密封圈。进一步的，处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计，玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。进一步的，卸料口外周设置法兰B，法兰B上设置有均布有螺栓孔C，板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D，螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置，封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接，封板与法兰B之间设置有密封圈。进一步的，处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口。与现有技术相比，本技术有以下有益效果：结构简单，设计合理，能对电子工业用高纯三氯化硼纯化过程中排出的尾气进行处理，避免对环境造成影响。附图说明下面结合附图对本技术专利进一步说明。图1是本装置的结构示意图；图2是图1的侧视图；图3是本装置的内部结构示意图。图中：1-疏通棒；2-密封螺母；3-封盖A；4-伸长管；5-加水口；6-压力表接口；7-处理罐；8-玻璃管液位计接口；9-盐酸排出口；10-玻璃观察窗口；11-硼酸卸料口；12-封板；13-尾气入口；14-废气出口；15-导气管；16-盐酸；17-固体硼酸。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本技术进一步说明。如图1-3所示，一种三氯化硼纯化尾气处理装置，包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口，盐酸排出口在硼酸卸料口之上，可防止被硼酸（固体）堵塞。在本实施例中，所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖A，加水口设置在处理罐上端面。在本实施例中，封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B,封盖B中部设置通孔B，通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封，在尾气处理过程中，导气管与水接触部位容易被硼酸（固体）堵塞，因此在处理装置顶部设有疏通棒，定期对导气管进行疏通。在本实施例中，处理罐上端面上设置有压力表接口。在本实施例中，伸长管上端外周设置法兰A，法兰上设置有均布有螺栓孔A，封盖A外周设置有与螺栓孔A相配的的螺栓孔B，螺栓孔A、螺栓孔B一一对应设置，封盖A与伸长管外周的法兰A经螺栓连接，封盖A与法兰A之间设置有密封圈，同理封盖B也通过一样的法兰结构与导气管上端经螺栓连接。在本实施例中，处理罐上部周侧设置有玻璃管液位计，可直接观察盐酸的液位情况，玻璃管液位计最下端不低于盐酸排出口。在本实施例中，卸料口外周设置法兰B，法兰B上设置有均布有螺栓孔C，板外周设置有与螺栓孔C相配的的螺栓孔D，螺栓孔C、螺栓孔D一一对应设置，封板与卸料口外周的法兰B经螺栓连接，封板与法兰B之间设置有密封圈。在本实施例中，处理罐下部周侧竖直设置有一玻璃观察窗口，以便及时对硼酸进行卸料，玻璃观察窗的最高点不高于盐酸排出口。在本实施例中，因三氯化硼分解后的盐酸有较强的腐蚀性，装置采用FRPP材料制作。本装置利用三氯化硼遇水分解成盐酸和硼酸的特性，采取将三氯化硼尾气排入水中的方法，使三氯化硼分解成盐酸和硼酸后再作处理。但是，硼酸在水中的溶解度较小，硼酸在水中饱和后以固态沉淀在容器底部，同时盐酸和硼酸在同一个容器内，必须分开回收利用。使用时，将三氯化硼尾气直接由尾气入口排入装有水的处理罐，使三氯化硼与水反应分解成盐酸和硼酸，在尾气处理过程中，硼酸（固体）沉入处理罐底部，硼酸（固体）之上为盐酸（液体），未被反应的少量三氯化硼和其它气体从伸长管上的废气出口排出，当盐酸浓度达到30%（市场需求浓度）时，从盐酸排出口排出回收，然后由加水口再加入自来水继续与三氯化硼尾气进行反应。随着尾气处理过程的继续，沉入处理罐底部的硼酸（固体）达到最高位置时（最高点超过玻璃观察窗口），首先从盐酸排出口排尽硼酸（固体）以上的盐酸，然后拆下封板，打开硼酸卸料口，将硼酸（固体）装袋回收。上列较佳实施例，对本技术的目的、技术方案和优点进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。

【技术特征摘要】
1.一种三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：包括处理罐，处理罐上部设置有尾气入口、废气出口、加水口、处理罐下端周侧设置有一卸料口，硼酸卸料口处经封板封闭，处理罐周侧于硼酸卸料口上方设置有盐酸排出口。2.根据权利要求1所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：所述处理罐上端面设置有伸长管，伸长管周侧由上至下依次设置尾气入口、废气出口，伸长管顶部设置有封盖，加水口设置在处理罐上端面。3.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理装置，其特征在于：封盖A中部设置通孔A，伸长管内设置导气管，导气管下端伸入处理罐内上部，导气管上端连接通孔并由通A孔穿出，导气管上部周侧连接尾气入口，导气管上端设置封盖B,封盖B中部设置通孔B,通孔B内穿设有疏通棒，疏通棒上设置有外螺纹，疏通棒上套设与其螺纹配合的密封螺母，密封螺母抵靠封盖B上侧面，旋紧后将通孔B密封。4.根据权利要求2所述的三氯化硼纯化尾气处理...

【专利技术属性】
技术研发人员：许少鹏，何经余，
申请(专利权)人：福建久策气体集团有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35