一种传感器调节装置及腔室制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的传感器调节装置及腔室，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，传感器与所述滑块连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。本实用新型专利技术提供一种调节方式简便，且传感器位置不会发生偏离的传感器调节装置及腔室。

A Sensor Regulating Device and Cavity

The sensor adjusting device and chamber provided by the utility model include: a base; a guide rail, which is horizontally arranged and fixed on the base; a slide block, which is connected with the guide rail and can slide along the guide rail, and a sensor is connected with the slide block; and a adjusting mechanism for driving the slide block to slide along the guide rail and reach the predetermined position. The position of the slider is locked when the slider is set. The utility model provides a sensor adjusting device and a chamber with simple adjusting mode and no deviation of sensor position.

【技术实现步骤摘要】
一种传感器调节装置及腔室
本技术涉及半导体加工
，具体涉及一种传感器调节装置及腔室。
技术介绍
很多半导体工艺通常是在真空环境下进行的。例如：物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)工艺一般是在密封腔室中进行的，腔室里具有用于支撑衬底的基座，该基座通常包括衬底支承，衬底支承具有布置在其中的电极以在工艺进行过程中将衬底静电吸附在衬底支承上。在某些特定的工艺中，例如靶材预烧工艺或者涂覆工艺，靶材材料通常会沉积在衬底支承上，这可能引起微粒的产生、衬底支承刮坏和处理性能的劣化，因此在进行这些特定工艺时，需要在衬底支承上设置遮蔽盘以防止靶材材料沉积在衬底支承上，而在进行正常工艺时，则将遮蔽盘旋转至一个空余位置，在该空余位置处遮蔽盘不会干扰室内的沉积工艺。在遮蔽盘的旋转过程中，需要利用多个传感器(通常使用四个反射传感器)检测遮蔽盘和用于承载遮蔽盘的托架的位置，以及检测遮蔽盘和托架在位于空余位置时，是否距离库壁太近或者已经发生碰撞。而且，考虑到不同腔室的差异性以及装配公差，还需要利用传感器调节装置调节各个传感器的位置。现有的传感器调节装置包括传感器固定件和传感器固定螺钉，其中，多个传感器通过传感器固定件安装在设置在腔室壁中的石英窗上，以能够透过石英窗向腔室内发出信号。并且，在传感器固定件上设置有安装孔，该安装孔为长圆孔，每个传感器通过螺钉安装在传感器固定件上，并且螺钉设置在长圆孔中，在旋松螺钉时，螺钉可以在长圆孔中滑动，从而带动传感器移动，当将传感器移动至相应位置后，再拧紧固定螺钉，即完成调节。但是，上述传感器调节装置在调节传感器的位置时，需要旋松或者旋紧螺钉，这种调节方式的操作繁琐，而且在位置确定后，旋紧螺钉时会导致传感器发生偏移，从而偏离预定位置。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中传感器调节装置调节方式繁琐，而且在位置确定后，旋紧螺钉时会导致传感器发生偏移，从而偏离预定位置的缺陷，从而提供一种调节方式简便，且传感器位置不会发生偏离的传感器调节装置及腔室。本技术提供一种传感器调节装置，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。所述调节机构包括螺钉，所述螺钉水平设置在所述底座上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在所述滑块中设置有螺纹孔，所述螺钉与所述螺纹孔相配合；通过顺时针或逆时针旋转所述螺钉，以使所述滑块相对于所述螺钉滑动。在所述底座中设置有安装孔，用于容纳所述螺钉的一部分，并限定所述螺钉的径向位置。所述导轨包括：与所述底座固定的固定部和可相对于所述固定部滑动的滑动部，所述滑动部与所述滑块连接。所述固定部为轨道，所述滑动部位于所述轨道的一侧，且能够沿所述轨道滑动；或者，所述固定部为柱状滑轨，所述滑动部为套设在所述柱状滑轨上的环体，所述环体能够沿所述柱状滑轨滑动，且与所述滑块连接。本技术提供的一种传感器调节装置还包括：弹簧，所述弹簧的轴线与所述导轨的延伸方向平行，且所述弹簧的一端与所述底座连接，所述弹簧的另一端与所述滑块连接；所述弹簧用于对所述滑块施加与所述滑块的运动方向相反的作用力。所述滑块用于连接至少一个所述传感器。一种腔室，包括反应腔、容纳腔、遮蔽盘、托架、传感器和传感器调节装置，其中，在所述反应腔中设置有基座，所述容纳腔与所述反应腔连通，所述托架用于承载所述遮蔽盘，并能够带动所述遮蔽盘旋转至覆盖所述基座的位置或者所述容纳腔中，所述传感器调节装置设置在靠近所述容纳腔的侧壁的位置处，用于调节所述传感器的水平位置，所述传感器调节装置采用上述的所述传感器调节装置。在所述容纳腔的底壁中设置有透光窗，所述传感器和传感器调节装置设置在所述容纳腔的下方，且与所述透光窗相对应的位置处。所述底座包括第一连接板和第二连接板，其中，所述第一连接板与所述容纳腔的底壁固定连接，且与所述底壁相互垂直；所述第二连接板与所述透光窗相互平行，且与所述第一连接板固定连接；所述导轨固定在所述第二连接板上。本技术技术方案，具有如下优点：本技术提供的传感器调节装置及腔室的技术方案中，传感器调节装置包括：底座；导轨，导轨水平设置，且固定在底座上；滑块，滑块与导轨连接，且能够沿导轨滑动，传感器与滑块连接；调节机构，用于驱动滑块沿导轨滑动，且在滑块到达预定位置时，锁定滑块的位置。在传感器需要调节时，使用调节机构驱动滑块沿导轨滑动，此时，滑块带动传感器沿导轨移动，在将传感器移动到预定位置时，使用调节机构锁定滑块的位置，从而锁定传感器的位置。通过使用上述调节机构对传感器位置进行调节，可以使调节方式更简便，而且在调节过程中传感器位置不会发生偏离，从而可以提高调节精度。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术提供的一种传感器调节装置的结构示意图；图2为图1所示的导轨的结构示意图；图3为图1所示的导轨的另一种实施方式的结构示意图；图4为本技术的弹簧的结构示意图；图5为本技术提供的一种腔室的结构示意图；附图标记说明：1-底座；111-第一安装孔；112-第二安装孔；113-通孔；2-导轨；21-固定部；22-滑动部；23-柱状滑轨；24-环体；3-滑块；31-螺纹孔；4-传感器；5-调节机构；6-弹簧；71-反应腔；72-容纳腔；73-遮蔽盘；74-托架；8-透光窗；9-透光窗安装件。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的传感器调节装置及腔室进行详细描述。如图1所示，本实施例提供的一种传感器调节装置，包括：底座1、导轨2、滑块3和调节机构5，其中，导轨2水平设置，且固定在底座1上。这里，导轨2水平设置，是指即导轨2的延伸方向与遮蔽盘73所在平面相互平行。滑块3与导轨2连接，且能够沿导轨2滑动，滑块3用于与传感器4连接。调节机构5用于驱动滑块3沿导轨2滑动，且在滑块3到达预定位置时，锁定滑块3的位置。在传感器4在水平方向上的位置(该水平方向平行于遮蔽盘73所在平面)需要调节时，使用调节机构5驱动滑块3沿导轨2滑动，此时，滑块3带动传感器4沿导轨2移动，在将传感器4移动到预定位置时，使用调节机构5锁定滑块3的位置，从而锁定传感器4的位置。通过使用上述调节机构5对传感器4位置进行调节，可以使调节方式更简便，而且在调节过程中传感器4位置不会发生偏离，从而可以提高调节精度。调节机构5包括螺钉，螺钉水平设置在底座1上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在滑块3中设置有螺纹孔31，螺钉与螺纹孔31相配合；通过顺时针或逆时针旋转螺钉，来使滑块3相对于螺钉滑动。在操作调节机构5时，顺时针或逆时针旋转螺钉，以使滑块3相对于螺钉滑动，当滑块3移动到预定位置时，停止对螺钉的旋转，通过螺钉与螺纹孔3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器调节装置，其特征在于，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。

【技术特征摘要】
1.一种传感器调节装置，其特征在于，包括：底座；导轨，所述导轨水平设置，且固定在所述底座上；滑块，所述滑块与所述导轨连接，且能够沿所述导轨滑动，所述滑块用于与传感器连接；调节机构，用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动，且在所述滑块到达预定位置时，锁定所述滑块的位置。2.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述调节机构包括螺钉，所述螺钉水平设置在所述底座上，且能够围绕其自身轴线旋转；并且，在所述滑块中设置有螺纹孔，所述螺钉与所述螺纹孔相配合；通过顺时针或逆时针旋转所述螺钉，以使所述滑块相对于所述螺钉滑动。3.根据权利要求2所述的传感器调节装置，其特征在于，在所述底座中设置有安装孔，用于容纳所述螺钉的一部分，并限定所述螺钉的径向位置。4.根据权利要求1所述的传感器调节装置，其特征在于，所述导轨包括：与所述底座固定的固定部和可相对于所述固定部滑动的滑动部，所述滑动部与所述滑块连接。5.根据权利要求4所述的传感器调节装置，其特征在于，所述固定部为轨道，所述滑动部位于所述轨道的一侧，且能够沿所述轨道滑动；或者，所述固定部为柱状滑轨，所述滑动部为套设在所述柱状滑轨上的环体，所述环体能够沿所述柱状滑轨滑动，且与所述滑块连接。6.根据权利要求1所述的传感器调节装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李冰，赵康宁，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11