超声波装置制造方法及图纸

一种超声波装置，能够抑制朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声所带来的影响。该超声波装置具备：超声波元件基板(16)，具有向第一方向(11)发送超声波的超声波元件阵列(6)以及设置于超声波元件阵列(6)的第一方向(11)侧的第一导电膜(17)；壳体部(13)，具有导电部件(21)，该导电部件(21)在超声波元件基板(16)的与第一方向(11)交叉的方向上一侧包围超声波元件基板(16)而设置；以及支承基板(14)，具有导电性并设置于超声波元件基板(16)的与第一方向(11)相反一侧、对超声波元件基板(16)进行支承。

Ultrasound device

The utility model relates to an ultrasonic device, which can suppress the influence of electromagnetic noise moving towards an array of ultrasonic elements. The ultrasonic device has: an ultrasonic component substrate (16), an ultrasonic component array (6) which transmits ultrasonic waves to the first direction (11) and a first conductive film (17) arranged on the first direction (11) side of the ultrasonic component array (6); a shell part (13) with a conductive component (21), which surrounds the conductive component (21) on the side of the ultrasonic component substrate (16) in the direction intersecting the first direction (11). The ultrasonic component base plate (16) is arranged, and the supporting base plate (14) is electrically conductive and arranged on the opposite side of the first direction (11) of the ultrasonic component base plate (16) to support the ultrasonic component base plate (16).

【技术实现步骤摘要】
超声波装置
本专利技术涉及超声波装置。
技术介绍
超声波探测器是向被检测体发送超声波并接收在被检测体的内部、表面反射的反射波的装置。并且，超声波探测器是将接收到的反射波转换为电信号的换能器。超声波探测器构成超声波装置的一部分，也称作超声波探头。超声波装置具备运算电路，超声波探测器输出的电信号被输入该运算电路。并且，运算电路运算被检测体的内部的剖面图像。该剖面图像称作超声波图像。超声波探测器具备多个超声波元件排列而成的超声波元件阵列。并且，各超声波元件发送超声波并接收反射波。超声波元件有在振动膜设置电极的CMUT(CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer：电容式微机械超声换能器)方式、应用了压电元件的PMUT(PiezoelectricMicromachinedUltrasonicTransducer：压电超声换能器)方式等。超声波元件阵列由超声波元件排列而成并通过布线连接。布线将各超声波元件连接而变得较长，因此容易接收电磁波噪声。CMUT方式的超声波探测器在专利文献1中公开。据该文献，超声波元件阵列向第一方向发送超声波。并且，在超声波元件阵列的第一方向侧设置有导电膜。进一步地，在超声波元件阵列的与第一方向正交的侧也设置有导电膜。这些导电膜与超声波装置的机壳接地(Chassisground)连接。由此，抑制由于朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声而在超声波元件阵列输出的电信号中加入噪声。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2008/114582号专利文献1的超声波探测器未在超声波元件阵列的第一方向相反侧设置导电膜。因此，不能抑制从与所述第一方向相反一侧朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声所带来的影响。这些电磁波噪声不仅在上述那样的超声波探测器中、在使用超声波测量被测量物的有无、测量距离等的超声波装置中也同样成为问题。因此，希望提供一种能够抑制朝向超声波元件阵列行进的电磁波噪声所带来的影响的超声波装置。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述技术问题而作出的，能够作为以下的形态或者应用例来实现。[应用例1]本应用例的超声波装置的特征在于，具备：超声波元件基板，具有向第一方向发送超声波的超声波元件阵列以及设置于所述超声波元件阵列的所述第一方向一侧的第一导电膜；壳体部，具有导电部件，所述导电部件在所述超声波元件基板的与所述第一方向交叉的方向上一侧包围所述超声波元件基板而设置；以及支承基板，具有导电性并设置于所述超声波元件基板的与所述第一方向相反一侧，对所述超声波元件基板进行支承。根据本应用例，超声波装置具备超声波元件基板、壳体部以及支承基板。在超声波元件基板设置有超声波元件阵列以及第一导电膜。超声波元件阵列向第一方向发送超声波。超声波元件阵列由超声波元件排列而成并通过布线连接。布线将各超声波元件连接而变得较长，因此容易接收电磁波噪声。并且，在超声波元件阵列的第一方向侧设置有第一导电膜。从第一方向侧朝向超声波元件阵列的电磁波噪声被第一导电膜反射而遮挡，或者被吸收而衰减。壳体部具有导电部件，导电部件设置为在超声波元件基板的与第一方向交叉的侧包围超声波元件基板。因此，从与第一方向交叉的方向侧朝向超声波元件阵列的电磁波噪声被导电部件反射而遮挡，或者被吸收而衰减。支承基板设置于超声波元件基板的与所述第一方向相反一侧，支承超声波元件基板。支承基板具有导电性。因此，从与第一方向相反的方向侧朝向超声波元件阵列的电磁波噪声被支承基板反射而遮挡，或者被吸收而衰减。因此，从所有方向朝向超声波元件阵列的电磁波噪声被第一导电膜、导电部件以及支承基板反射而遮挡，或者被吸收而衰减，因此能够降低朝向超声波元件阵列的电磁波噪声。[应用例2]在上述应用例的超声波装置中，其特征在于，所述壳体部的材质为树脂，所述导电部件为设置于所述壳体部的表面的薄膜，所述超声波装置在所述超声波元件基板的所述第一方向侧还具备保护部件，在所述保护部件的面向所述超声波元件基板的一侧设置有第二导电膜，所述第一导电膜、所述第二导电膜、所述导电部件和所述支承基板电连接，所述第二导电膜与所述导电部件通过导电性粘合剂而粘合。根据本应用例，由于壳体部的材质为树脂，因此与壳体部的材质为金属时相比，即使形状复杂也容易形成。并且，由于导电部件是设置于壳体部的表面的薄膜，因此能够使用蒸镀装置等的制膜装置容易地进行设置。在超声波元件基板的第一方向侧设置有保护部件。保护部件保护超声波元件基板。保护部件在面向超声波元件基板的一侧设置有第二导电膜。并且，第一导电膜、第二导电膜、导电部件和支承基板电连接。由此，能够对超声波元件阵列受到的电磁波噪声进行抑制。并且，第二导电膜与导电部件通过导电性粘合剂粘合。因此，能够容易地进行保护部件与壳体部的固定以及第二导电膜与导电部件的电连接。[应用例3]在上述应用例的超声波装置中，其特征在于，所述导电部件与所述壳体部为一体，所述第一导电膜、所述导电部件和所述支承基板电连接。根据本应用例，导电部件与壳体部为一体。换句话说，壳体部由导电性的材质构成。并且，第一导电膜、导电部件和支承基板电连接。在该结构中，由于超声波元件阵列被具有导电性的部件包围，因此能够抑制电磁波噪声到达超声波元件阵列。除此以外，由于省去了在壳体部设置导电膜的二次加工，因此能够生产性良好地制造超声波装置。[应用例4]在上述应用例的超声波装置中，其特征在于，所述第一导电膜的材质为铜。根据本应用例，第一导电膜的材质为铜。由于铜的电阻较小，因此能够高效地吸收电磁波噪声。[应用例5]在上述应用例的超声波装置中，其特征在于，在所述第一导电膜设置有多个孔。根据本应用例，在第一导电膜设置有多个孔。超声波元件阵列发送的超声波穿过多个孔从而能够降低衰减。因此，超声波装置能够高效地发送超声波。[应用例6]在上述应用例的超声波装置中，其特征在于，所述超声波装置还具备：扁平电缆，向所述超声波元件阵列传输电信号；以及编织屏蔽件，包围所述扁平电缆，所述支承基板与所述编织屏蔽件连接。根据本应用例，在超声波装置中设置有扁平电缆以及编织屏蔽件。由于在超声波元件阵列中设置有多个超声波元件，因此需要向各超声波元件发送信号的多个布线。由于该布线成为扁平电缆的形态，故成为较薄的结构。因此，与将布线捆成棒状时相比，能够使超声波装置较薄。编织屏蔽件设置为包围扁平电缆。并且，支承基板与编织屏蔽件连接。因此，由于编织屏蔽件也与支承基板连接，从而能够抑制电磁波噪声到达扁平电缆。[应用例7]本应用例的超声波装置的特征在于，具备：超声波元件基板，具有向第一方向发送超声波的超声波元件阵列；以及电波屏蔽部，位于所述超声波元件阵列的所述第一方向、与所述第一方向交叉的方向以及与所述第一方向相反的方向上。根据本应用例，超声波装置具备超声波元件基板以及电波屏蔽部。在超声波元件基板设置有超声波元件阵列。超声波元件阵列发送超声波。超声波元件阵列由超声波元件排列而成并通过布线连接。布线将各超声波元件连接而变得较长，因此容易接收电磁波噪声。并且，电波屏蔽部位于超声波元件阵列的第一方向、与第一方向交叉的方向以及与第一方向相反的方向。这样，电波屏蔽部设置为包围超声波元件阵列。因此，从所有方向朝向超声波元件阵列的电磁波噪声被电波屏蔽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波装置，其特征在于，具备：超声波元件基板，具有向第一方向发送超声波的超声波元件阵列以及设置于所述超声波元件阵列的所述第一方向一侧的第一导电膜；壳体部，具有导电部件，所述导电部件在所述超声波元件基板的与所述第一方向交叉的方向上一侧包围所述超声波元件基板而设置；以及支承基板，具有导电性并设置于所述超声波元件基板的与所述第一方向相反一侧，对所述超声波元件基板进行支承。

【技术特征摘要】
2017.08.03 JP 2017-1504751.一种超声波装置，其特征在于，具备：超声波元件基板，具有向第一方向发送超声波的超声波元件阵列以及设置于所述超声波元件阵列的所述第一方向一侧的第一导电膜；壳体部，具有导电部件，所述导电部件在所述超声波元件基板的与所述第一方向交叉的方向上一侧包围所述超声波元件基板而设置；以及支承基板，具有导电性并设置于所述超声波元件基板的与所述第一方向相反一侧，对所述超声波元件基板进行支承。2.根据权利要求1所述的超声波装置，其特征在于，所述壳体部的材质为树脂，所述导电部件为设置于所述壳体部的表面的薄膜，所述超声波装置在所述超声波元件基板的所述第一方向一侧还具备保护部件，在所述保护部件的面向所述超声波元件基板的一侧设置有第二导电膜，所述第一导电膜、所述第二导电膜、所述导电部件和所述支承基板电连接，所述第二导电膜与所述导电部件通过导电性粘合剂而粘合。3.根据权利要求1所述的超声波装置，其特征在于，所述导电部件与所述壳体部为一体，...

【专利技术属性】
技术研发人员：新井义雄，吉田一辉，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP