The invention discloses a glass passivation mesa diode acid corrosion process, in which nitric acid, hydrofluoric acid, sulphuric acid and glacial acetic acid are mixed evenly to obtain corrosive liquid, which is cooled to room temperature and injected into the corrosive mould of the inserted core. The core is corroded for 2-4 times, after each corrosion, the core is flushed with a water spray gun; and the corrosive liquid is prepared with hydrogen peroxide water, phosphoric acid and deionized water in advance. Passivation liquid, the prepared passivation liquid is injected into the corrosive mould of the corroded pipe core, passivation is carried out, after passivation, the pipe core is flushed with water spray gun, then the corrosive plate is put into the ultrasonic cleaner for 5-10 minutes, and the pipe core is flushed with water spray gun, and then the combing material is coated with glass to form. The invention adopts the corrosion method of corrosive solution with short time and many times to corrode the core, controls the corrosion rate and temperature of the core, prevents a large number of platinum and copper ions from entering the corrosive solution, and thus obtains a diode with good electrical characteristics and clean mesa surface.
【技术实现步骤摘要】
一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺
本专利技术涉及一种台面二极管酸腐蚀工艺,尤其是一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺。
技术介绍
目前广泛用于玻璃钝化台面二极管芯柱腐蚀的方法是酸腐法。硅材料的传统酸腐是利用硝酸、氢氟酸与冰乙酸的混合液进行腐蚀。这种成熟的传统腐蚀法用于玻璃钝化台面二极管的柱腐蚀时,腐蚀效果的重复性较差。造成这种现象的主要原因是腐蚀液对相同复合电极的强烈腐蚀引起腐蚀液温度升高,造成腐蚀速率和腐蚀时间不宜控制所致。时间稍长,反应剧烈,在进行去离子水冲洗时很容易造成管芯台面氧化;时间稍短,又使得管芯台面腐蚀不充分、不均匀,达不到清洁台面的目的。这两种台面状况都会造成器件的低击穿和软特性。同时,由于钼铜复合电极与腐蚀液的剧烈反应,使得大量的铂、铜离子进入腐蚀液,对台面表面造成了新的沽污,这种金属离子吸附在台面表面会引起器件的高温动态特性不良。因此,在操作中为了控制腐蚀液的温升,避免复合电极的过量腐蚀并得到充分腐蚀的台面,在工艺中往往采用加大腐蚀液用量和冰镇腐蚀液等措施,这样又造成了操作麻烦,并增加了材料成本。
技术实现思路
本专利技术的目的是:提供一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺,它能有效控制管芯腐蚀的速率和温度,以得到电特性良好、台面表面清洁的二极管,而且加工成本低,生产操作方便,以克服现有技术的不足。本专利技术是这样实现的:玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺,将45~60份mol浓度为65~70%的硝酸,10~40份mol浓度为38~42%氢氟酸,8~15份mol浓度为96~98%的硫酸以及35~40份mol浓度为99.9%的冰乙酸混合均匀得到腐蚀液,待腐蚀 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺,其特征在于:将45~60份mol浓度为65~70%的硝酸,10~40份mol浓度为38~42%氢氟酸,8~15份mol浓度为96~98%的硫酸以及35~40份mol浓度为99.9%的冰乙酸混合均匀得到腐蚀液,待腐蚀液冷却至常温后注入到插好管芯的腐蚀模内,对管芯腐蚀2~4次,每次腐蚀60~120秒,每次腐蚀后均用喷水枪对管芯冲水30~180秒;并预先用10~20份双氧水,10~20份mol浓度为83~88%的磷酸以及70~80份去离子水配制得到钝化液,将配制好的钝化液注入到腐蚀好管芯的腐蚀模内,进行化学钝化1~2分钟,钝化结束后用喷水枪对管芯冲水30~180秒,然后将腐蚀模放入超声清洗器中超声5~10分钟,最后用喷水枪冲水将管芯冲洗干净,送入管芯保存箱中存放,待梳料后涂玻璃成型即可;所有份数均按体积份数计算。
【技术特征摘要】
1.一种玻璃钝化台面二极管酸腐蚀工艺,其特征在于:将45~60份mol浓度为65~70%的硝酸,10~40份mol浓度为38~42%氢氟酸,8~15份mol浓度为96~98%的硫酸以及35~40份mol浓度为99.9%的冰乙酸混合均匀得到腐蚀液,待腐蚀液冷却至常温后注入到插好管芯的腐蚀模内,对管芯腐蚀2~4次,每次腐蚀60~120秒,每次腐蚀后均用喷水枪对管芯冲水30~180秒;并预先用10~20份双氧水,10~20份mol浓度为83~88%的磷酸以及70~80份去离子水配制得到钝化液,将...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴强德,
申请(专利权)人:嘉兴柴薪科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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