长波通红外滤光片制造技术

技术编号:20426434 阅读:43 留言:0更新日期:2019-02-23 08:56
本实用新型专利技术公开了长波通红外滤光片,包括基板及分别位于所述基板的两侧面的第一镀膜层和第二镀膜层,所述第一镀膜层、第二镀膜层均包括从内向外依次交替设置的Ge膜层以及SiO膜层,所述第一镀膜层、第二镀膜层的最外层均为Ge膜层。本实用新型专利技术的有益效果:通过在基板上依次交替沉积多个高折射率膜层以及多个低折射率膜层的结构,实现了不同波长的光的选择性通过以及较高的透过率,并且所述滤光片的生产成本低、环境稳定性高。

【技术实现步骤摘要】
长波通红外滤光片
本技术涉及一种滤光片,具体来说涉及长波通红外滤光片。
技术介绍
随着空间技术和光学器件的迅速发展,红外光学系统的应用越来越受到重视,红外光学系统主要作用于近红外(NWIR,0.75-2.5μm)、中红外(MWIR,3-5μm)以及远红外(LWIR,8-14μm)。在实际应用中,红外光学系统大多数被用在复杂的侦测环境中,受到环境湿度、目标仪器的噪音、温度等因素的干扰,使得对目标信息的提取变得困难;而光信号必须经过滤光片、防护窗口、分光镜等进行时间和空间滤波,按照一定的比例要求完成背景和物像的分离,这就要求当光在这些元器件中传播时,其辐射通量须尽可能的以最大值传输给探测仪,即要求各光学元件具备尽可能低的吸收和散射,因此根据不同要求在光学元件上镀制满足要求的薄膜,对于改善其光学性能、提高系统性能起到了无可替代的作用。针对光学仪器对光学元件光谱性能的要求,长波通红外滤光片是其中一个重要的薄膜器件。而传统的滤光片由于其膜层结构设置的问题,比较难满足光谱性能的要求。
技术实现思路
针对相关技术中的问题,本技术提出长波通红外滤光片,成本低、环境稳定性高。为了实现上述技术目的,本技术的技术方案是这样的:长波通红外滤光片,包括基板及分别位于所述基板的两侧面的第一镀膜层和第二镀膜层,所述第一镀膜层、第二镀膜层均包括从内向外依次交替设置的Ge膜层以及SiO膜层,所述第一镀膜层、第二镀膜层的最外层均为Ge膜层。进一步的,所述基板为Ge基板。进一步的,所述第一镀膜层包括的膜层数为23层;第二镀膜层包括的膜层数为21层。本技术的有益效果:通过在基板上依次交替沉积多个高折射率膜层以及多个低折射率膜层的结构,实现了不同波长的光的选择性通过以及较高的透过率,并且所述滤光片的生产成本低、环境稳定性高。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是根据本技术实施例所述长波通红外滤光片的结构示意图。图中:1、基板;2、第一镀膜层;3、第二镀膜层;4、Ge膜层;5、SiO膜层。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。如图1所示,长波通红外滤光片,包括基板1及分别位于所述基板1的两侧面的第一镀膜层2和第二镀膜层3,所述第一镀膜层2、第二镀膜层3均包括从内向外依次交替设置的Ge膜层4以及SiO膜层5,所述第一镀膜层2、第二镀膜层3的最外层均为Ge膜层4。所述基板1为Ge基板。所述第一镀膜层2包括的膜层数为23层,从内到外的各膜层的厚度如下:0.12H/1.9L/1.8H/0.5L/1.5H/1.3L/0.6H/1.5L/1.2H/0.9L/1.3H/1.0L/1.0H/1.2L/0.7H/0.8L/0.9H/0.7L/1.5H/0.5L/1.1H/0.7L/0.2H;第二镀膜层3包括的膜层数为21层,从内到外各膜层的厚度分别为:0.5H/1.5L/0.9H/0.7L/0.8H/0.9L/0.5H/1.4L/0.8H/0.9L/0.7H/0.9L/1.0H/0.3L/0.6H/0.9L/0.7H/0.8L/0.6H/0.7L/0.8H;其中H和L分别代表Ge膜层4(高折射率材料层)和SiO膜层5(低折射率材料层)的一个1/4波长光学厚度。以上仅为本技术的较佳实施例而已,并不用以限制本技术,凡在本技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.长波通红外滤光片,其特征在于,包括基板(1)及分别位于所述基板(1)的两侧面的第一镀膜层(2)和第二镀膜层(3),所述第一镀膜层(2)、第二镀膜层(3)均包括从内向外依次交替设置的Ge膜层(4)以及SiO膜层(5),所述第一镀膜层(2)、第二镀膜层(3)的最外层均为Ge膜层(4)。

【技术特征摘要】
1.长波通红外滤光片,其特征在于,包括基板(1)及分别位于所述基板(1)的两侧面的第一镀膜层(2)和第二镀膜层(3),所述第一镀膜层(2)、第二镀膜层(3)均包括从内向外依次交替设置的Ge膜层(4)以及SiO膜层(5),所述第一镀膜层(2)、第二镀膜...

【专利技术属性】
技术研发人员:张瑞麟蔡林林李江波曹子玉孙丹芳汪平锋
申请(专利权)人:利基光电科技九江有限公司
类型:新型
国别省市:江西,36

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